振镜式激光扫描系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学工程
，特别是涉及一种振镜式激光扫描系统。
技术介绍
激光扫描技术是一种能够精确控制激光束指向的技术，现已广泛的应用于现已广 泛的应用于光电医疗、激光加工、空间激光通信、激光雷达、遥感与测量、自适应光学等领 域。在激光加工和激光达标领域，一直采用振镜式激光扫描技术。为了保证激光加工精度， 激光在到达加工面之前需要经过聚焦以保证在工作面上有良好的聚焦特性，根据聚焦系统 摆放的位置，可以分为振镜前聚焦和振镜后聚焦两种聚焦方式。 现有技术中专利200320116330. 4公开了一种振镜式前聚焦的激光扫描系统，包 括激光器、聚焦模块、X轴扫描头和Y轴扫描头。激光束通过三块组合镜片构成的聚焦模 块，经X轴扫描头和Y轴扫描头到达焦点工作平面，所述X轴扫描头和Y轴扫描头均由全数 字交流伺服电机和附在其转轴上的镜片组成，全数字交流伺服电机的转轴上设置有限位装 置；控制系统通过二个全数字交流伺服电机的控制器分别控制镜片在X轴和Y轴上移动，实 现二维扫描。增设动态聚焦模块后，可以保证扫描面上良好的聚焦特性。但是这一扫描系 统采用三块镜片实现动态...
【技术保护点】
一种振镜式激光扫描系统，其特征在于，所述系统沿轴线依次包括：激光器、调焦镜头、第一振镜、第二振镜和扫描面，所述调焦镜头包括平凹镜和凸透镜，所述平凹镜包括相对设置的平面和凹面，所述凸透镜包括相对设置的第一凸面和第二凸面，所述凸透镜固定设置，所述平凹镜固定安装于可沿轴线的平行线水平移动的位移台上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈巍，陈四海，徐越，罗栋，张骁，苏凯斌，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44
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