【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种无尘级输送装置的构造改良,尤指一种针对其若干输送轮轴的轴承组改良,具有轴承润滑功能,并可保持轴承组外部洁净,使该输送装置可适用于无尘室内使用。常见的输送装置更由于应用场合的差异,而区分为独立机组或附加于加工机具内等形式。其中,尤以半导体制程、液晶面板、电路板加工、处理过程等要求洁净品质的场合,更常见到将输送装置整合于加工、清洗、蚀刻、电镀等设备中,甚至将输送轮轴的轴承组安装于区隔处理区域与洁净区域之侧壁(隔墙)上。以下以图示说明适用于无尘室的输送装置请参阅第1图,系为现有输送装置的局部构造示意图。如图所示若干平行排列的输送轮轴1上皆设有复数个输送轮11,利用复数个输送轮11构成平面供承载处理工件2(如电路板、液晶面板等),并通过控制各输送轮11转动而可达到输送处理工件21的目的。其中,各输送轮轴1的两端各轴接一轴承组12,二轴承组12则分别设置于区隔处理区域(图示右侧)与洁净区域(图示左侧)的侧壁2上,各输送轮轴1末端并轴接一螺旋齿轮13,可通过一主传动螺旋齿轮14予以驱转。另,轴承组12系包含由同轴组接的固定座121及轴承座122所构成,其轴 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王泊可,
申请(专利权)人:睿明科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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