并行传送系统和方法技术方案

本发明专利技术提供了一种能够安全传送和高效处理基片的并行传送系统和方法，如玻璃基片或半导体装置。其包括含有多个空气喷嘴的旋转式传送器，多个空气喷嘴无须接触基片即可注入空气使空气喷嘴上面的基片移动。旋转式传送器上至少需要两个单独的处理单元可操作地结合在一起。其优越性在于，由于可以同时处理多个基片，效率更高，适应性更强。因为在空气喷嘴结构和基片之间无须物理接触即可移动基片，所以传送安全、干净、且有效。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，更具体地涉及一种用于处理玻璃基片的。
技术介绍
通常，传送系统通过将传送物置于传送器上，并且利用连接有电动机的滚轮带动传送器来移动传送物。传统的传送系统使用电动机作为动力来带动物体和链条、齿轮、或皮带，以达到动力传送的目的。在一个实例中，传送系统能够用于在液晶显示器(LCD)生产中传送玻璃基片。液晶显示器(LCD)是最流行的平板显示器之一，其包括两个面板和置于两个面板之间的液晶层，两个面板配置两个电极可产生电场。液晶显示器通过控制光的传输来显示图象，而光传输的控制则是通过将电压作用于电极以产生电场从而改变了液晶的分子排列来完成的。为了制成液晶显示器(LCD)，要将其中的两个面板通过传送系统传送到各个生产工序当中的处理装置。传统的方法是，使用盒子、加料器、和分度器将多个玻璃基片传送到各个生产工序中的处理装置。也就是说，用于液晶显示器生产工序中的传送系统将多个玻璃基片接纳到盒子中，将它们存进加料器中，并使用机械分度器将它们送入、送出各个生产工序的处理装置。然而，随着玻璃基片型号的加大，使用盒子、加料器、和分度器的传送系统变得越来越难以使用，因为典型的盒子、加料器、或分度器要传送多个玻璃基片，而目前的盒子、加料器、或分度器为了传送大型的基片必须制造得越来越大。此外，用于大型玻璃基片的典型传送系统还会产生很多缺陷，如由于破碎和污染所导致的低效率、低产量，以及缺乏灵活适应性。因此，在本
很需要一种高效率和灵活适应性的用于处理基片的系统和方法。
技术实现思路
本专利技术提供了一种先进的系统和方法用于传送和处理易碎物体，如用于生产液晶显示器(LCD)的玻璃基片，它的清洁和安全传送都受到高度重视。一种使用多个空气喷嘴的旋转式传送器在空气喷嘴结构和基片之间没有直接接触的情况下即可传送基片，从而保证了干净、安全地传送基片。至少有两个单独的处理单元或至少两个单独的检验装置结合在旋转式传送器上。根据本专利技术的一个实施例，提供了一种并行(inline)传送系统，其包括含有面板的旋转式传送器和可操作地结合在面板上的多个空气喷嘴。多个空气喷嘴注入空气，在喷嘴不接触基片的情况下移动喷嘴上面的基片。至少两个单独的处理单元可操作地结合在旋转式传送器上，这至少两个处理单元彼此独立操作，提供了操作的灵活性和高效率。根据本专利技术的另一实施例，提供了另一种并行传送系统，包括旋转式传送器和至少两个可操作地结合在传送器上的检验装置，这至少两个检验装置彼此独立操作。一个用于将被检验的基片进行分级的基片分级器可操作地结合在旋转式传送器上。根据本专利技术的另一实施例，提供了一种并行传送方法，包括提供了可操作地结合在一套处理单元和另一套处理单元上的旋转式传送器，还提供了另一个可操作地结合在第一套处理单元和第二套处理单元上的旋转式传送器。第二旋转式传送器通过升降机可操作地结合在第一旋转式传送器上。这种方法还包括提供了在第一旋转式传送器上的基片，用来在第一套处理单元中的一个单元和第二处理单元中的一个单元进行处理。确定基片是否可以在第一套处理单元中的一个进行处理，并且在可以时在第一套处理单元当中一个单元对基片进行处理。通过第一旋转式传送器或第二旋转式传送器，基片被传送至第二套处理单元当中的一个单元。确定基片是否可以在第二套处理单元中的一个进行处理，并且在可以时在第二套处理单元当中一个单元对基片进行处理。本专利技术的优点在于，可以对玻璃基片和其它易碎物体进行安全而又洁净的传送和处理，由破损和污染的减少因而导致更高的产量。本专利技术还有一个优点是，提供了灵活性和高效性以便可以同时进行处理而且在一条线有故障时不会耽误操作。附图说明本专利技术的上述及其它特征和优点将通过参考附图详细地描述其典型实施例而变得更加显而易见，其中图1为根据本专利技术的一实施例的并行传送系统的示意图；图2为根据本专利技术的一实施例的并行传送系统的布局图； 图3示出了传送器的具体结构；图4是沿图3的IV-IV′线的截面图；图5是根据本专利技术的一实施例的并行传送系统的局部立体图；图6是描述根据本专利技术的一实施例的并行传送系统控制过程的流程图；以及图7是根据本专利技术另一实施例的并行传送系统示意图。在不同的附图中使用的相同附图标号表示相同或相似部件。需进一步说明的是，上述附图可能没有按比例绘制。具体实施例方式本专利技术涉及一种，它通过依次控制和传送玻璃基片进行处理而减少了传送时间。为了使本领域技术人员能够实施本专利技术，现参照附图详细说明本专利技术的优选实施例。但是，本专利技术可表现为不同形式，它不局限于在此说明的实施例。在图中为了明确表现各层及区域，扩大其厚度来表示，在全篇说明书中对类似部分附上相同图的符号，当提到层、膜、区域、板等部分在别的部分“之上”时，它是指“直接”位于别的部分之上，也包括其间夹有别的部分之情况，反之说某个部分“直接”位于别的部分之上时，指其间并无别的部分。现将根据本专利技术的实施例的并行传送系统结合附图，进行以下详细的描述。图1为根据本专利技术的一实施例的并行传送系统的示意图，图2为根据本专利技术的一实施例的并行传送系统的布局图，而图3示出了传送器的具体结构。参照图1-3，根据本专利技术的实施例的并行传送系统包括多个处理装置100和200和多个旋转式传送器300和400，设置在多个处理装置100和200之间。优选使用两个或两个以上的旋转式传送器。假设N是正整数，而且液晶显示器的制造工艺为(N+3)个工序，多个第N个处理装置和多个第(N+1)个处理装置被安排在第一层上，多个第(N+2)个处理装置和多个第(N+3)个处理装置被安排在第二层上。例如，化学汽相沉淀(CVD)过程和光刻过程作为第一和第二过程分别完成于第一层，溅射过程和蚀刻过程作为第三和第四过程分别完成于第二层。第一层间升降机101安装在第一和第二层之间，其用来将第一层上的多个基片30传送到第二层，如在第一层上完成CVD过程和光刻过程作为第一和第二过程的玻璃基片。第二层间升降机也被安装在第一和第二层之间，其用来将第二层上的多个基片30传送到第一层。为了便于描述起见，图1第二层的处理装置参照第一处理装置100和第二处理装置200。如图1所示，多个第一处理装置110、120、130、140和150，以及多个第二处理装置210、220、230、240和250，分别相对应地安装。第一旋转式传送器300形似一个旋转轨道，安装在多个第一处理装置110、120、130、140和150以及多个第二组处理装置210、220、230、240和250之间。第一旋转式传送器300与每个第一处理装置的入口110a、120a、130a、140a和150a以及出口110b、120b、130b、140b和150b相连，还与每个第二处理装置的入口210a、220a、230a、240a和250a以及出口210b、220b、230b、240b和250b相连，并依次传送多个基片30。第一并行缓冲器510安装在第一旋转式传送器300和每个第一处理装置的入口110a、120a、130a、140a和150a之间，第一传送物升降机610安装在第一旋转式传送器300和每个第一处理装置的出口110b、120b、130b、140b和150b之间。第一传送物升降机610也与第二旋转式传送器400相连。这样，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种并行传送系统，包括：旋转式传送器，含有面板和多个可结合在所述面板上的空气喷嘴，在其中多个空气喷嘴中注入空气以移动在空气喷嘴上的基片，而无须多个空气喷嘴与所述基片相接触；以及至少两个处理单元，可操作性地结合在所述旋转式传送 器上，其中所述至少有两个处理单元彼此独立操作。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张元基，尹起天，安根洙，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[]