平板显示器生产装置的传送室制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种平板显示器生产装置的传送室，具体涉及一种具有传送室和负载固定室组合功能的平板显示器生产装置传送室，所述传送室在其中央位置旁设置有一个机械手，所述传送室中还设置有一个驱动时不妨碍机械手的缓冲器以及一个用于调整装设于缓冲器上的基板的位置的校准器。为了实现上述目的，提供一种平板显示器生产装置的传送室，其在传送室中央位置的旁边设置机械手。此外，为了驱动机械手，还设有一个用于密封传送室预定位置处所形成孔的密封件、一个用于调节传送室内的基板位置的校准器以及一个装设基板的缓冲器。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种平板显示器生产装置的传送室，具体涉及一种具有将传送室与负载固定室的功能相结合的、用于平板显示器生产装置的传送室，在该传送室中于传送室中央位置旁设置有一个机械手，传送室中还设置有一个驱动时不受机械手干扰的缓冲器以及一个调节安装于缓冲器上的基板位置的校准器。
技术介绍
通常，使用三室型平板显示器生产装置。所述三室型平板显示器生产装置具有三个室一个负载固定室(load-lock chamber)、一个传送室(transfer chamber)以及一个处理室(process chamber)。随着基板尺寸的增大，这些室的尺寸也相应成比例地增大。由于这些室的尺寸的增大有一定的限制，近来提出了一种二室型平板显示器生产装置。在二室型平板显示器生产装置中，负载固定室与传送室结合成一个单一的传送室。因此，二室型平板显示器生产装置具有传送室和处理室。因而，该二室型平板显示器生产装置的体积得以减小。相应地，安装平板显示器生产装置的无尘室的体积也可得以减小。与三室型平板显示器生产装置的传送室相同，二室型平板显示器生产装置中的传送室内设有一个机械手。该机械手具有将待处理的基板携至处理室并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板显示器生产装置的传送室，包括一个具有机械手轴、机械手臂部和机械手手部的机械手，其特征在于，机械手设于所述传送室中央位置的旁边。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：许光虎，崔浚泳，李哲源，李相伯，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]