片材的制造方法和片材制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供片材的制造方法和片材制造装置，片材的制造方法包括：成膜工序，在该成膜工序中，按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；以及后处理工序，在该后处理工序中，对单片片材实施第1后处理。将第1后处理所需的第1后处理时间设定得长于成膜处理所需的成膜时间，在后处理工序中，对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第1后处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及片材的制造方法和片材制造装置、详细而言涉及用于制造在电子元件的密封中使用的片材的制造方法和在该制造方法中使用的片材制造装置。
技术介绍
在电子元件中使用的片材、例如用于将光半导体元件密封的密封片材是通过如下方式制造成的:将作为片材的原料的液状组成物涂覆在基材上，针对每I张片材(单片片材)进行成膜，接着，通过对该片材实施加热等后处理，从而使其成为半固化状态或固化状??τ O并且，作为在工业上连续地进行加热处理来产生片材的方式，可列举出例如利用带式输送机输送通过成膜而形成的单片片材并使单片片材通过加热烘箱内部的带式输送机方式。但是，在该带式输送机方式中，为了充分地加热单片片材，需要使烘箱和带式输送机这两者的距离较长，从而产生使整个装置大型化这样的不良情况。另一方面，除了带式输送机方式之外，例如，还提出一种加热装置，其包括设于加热室的内部的加热板和以与加热室相邻的方式设置的冷却板，其中，通过从设于加热板和冷却板的喷出孔喷出气体，从而使基板在加热板与冷却板之间移动(例如，参照专利文献1 ) O专利文献1:日本特开2007 - 184429号公报
技术实现思路
_7] 专利技术要解决的问题然而，在片材的制造方法中，存在加热处理时间长于成膜处理时间的情况。在这样的情况下，在使用专利文献I的加热装置来连续地生产单片片材时，对于通过成膜而形成的某一单片片材，不能对其实施加热处理，而不得不待机，直至刚在该某一单片片材之前进行了成膜并正在进行加热处理的单片片材的加热处理结束为止。因而，产生生产效率较差这样的不良情况。本专利技术的目的在于，提供一种能够高效地制造片材的片材的制造方法和片材制造 目.ο用于解决问题的方案本专利技术提供一种片材的制造方法，其特征在于，该片材的制造方法包括:成膜工序，在该成膜工序中，按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；以及后处理工序，在该后处理工序中，对所述单片片材实施第I后处理，将所述第I后处理所需的第I后处理时间设定得长于所述成膜处理所需的成膜时间，在所述后处理工序中，对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第I后处理。采用该制造方法，能够对在成膜工序中通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地进行第I后处理。因此，能够对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，而无需直到刚在其之前通过成膜而形成的单片片材的第I后处理结束为止待机。其结果，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够高效地制造单片片材。另外，在本专利技术的片材的制造方法中，优选的是，在所述后处理工序中，按照批次在不同的静止区域实施所述第I后处理。采用该制造方法，由于能够按照批次在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，因此能够在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地实施第I后处理。因此，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够尚效地制造单片片材。另外，由于能够针对各个不同的静止区域设定处理条件，因此能够按照批次以不同的条件对单片片材实施第I后处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材。另外，在本专利技术的片材的制造方法中，优选的是，所述第I后处理是对所述单片片材进行加热的加热处理。采用该制造方法，能够制造出被加热处理后的单片片材。另外，在本专利技术的片材的制造方法中，优选的是，在所述后处理工序中，实施所述第I后处理，之后，对所述单片片材进行冷却。采用该制造方法，由于在第I后处理后对被加热处理后的单片片材进行冷却，因此能够对单片片材赋予适当的热历程。另外，在本专利技术的片材的制造方法中，优选的是，在所述后处理工序中，在进行第I后处理之前，对所述单片片材进行消泡。采用该制造方法，由于在第I后处理之前对单片片材进行消泡，因此能够制造抑制了因第I后处理而产生的表面粗糙的单片片材。另外，本专利技术提供一种片材制造装置，其特征在于，该片材制造装置包括:成膜部，其用于按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；后处理部，其用于对所述单片片材实施第I后处理；以及控制部件，其用于控制所述成膜部和所述后处理部，所述控制部件将对所述单片片材实施所述第I后处理的第I后处理时间设定为长于对所述片材组合物进行成膜而形成所述单片片材的成膜时间，所述后处理部以能对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第I后处理的方式构成。采用该制造装置，在后处理部中，能够对在成膜部中通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地实施第I后处理。因此，能够对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，而无需直到刚在其之前通过成膜而形成的单片片材的第I后处理结束为止待机。其结果，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够高效地制造单片片材。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，在所述后处理部中具有多个第I后处理区域，该第I后处理区域是按照批次在不同的静止区域实施所述第I后处理的区域。采用该制造装置，由于能够按照批次在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材实施第I后处理，因此能够在不同的静止区域对通过成膜而形成的单片片材和刚在其之前通过成膜而形成的单片片材同时并行地进行第I后处理。因此，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够尚效地制造单片片材O另外，由于能够针对各个不同的静止区域设定处理条件，因此能够按照批次以不同的条件对单片片材实施第I后处理。因此，能够按照批次制造不同种类的单片片材。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述成膜部与所述各第I后处理区域直列配置。采用该制造装置，能够使单片片材从成膜部沿着直列方向顺畅地移动至第I后处理区域。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述第I后处理区域包括加热部件。采用该制造装置，能够制造出被加热处理后的单片片材。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述加热部件是加热板。采用该制造装置，能够可靠且高效地加热单片片材。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述加热部件是烘箱。采用该制造装置，能够易于设计制造装置，从而能够以低成本来制造片材。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述后处理部在相对于最后的第I后处理区域而言与所述成膜部相反的那一侧包括用于对所述单片片材进行冷却的冷却区域。采用该制造装置，由于在第I后处理后对被加热处理后的单片片材进行冷却，因此能够对单片片材赋予适当的热历程。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述后处理部在所述成膜部与最初的第I后处理区域之间包括用于对所述单片片材进行消泡的消泡区域。采用该制造装置，由于对单片片材进行消泡，因此能够制造抑制了因第I后处理而产生的表面粗糙的单片片材。另外，在本专利技术的制造装置中，优选的是，所述后处理部包括η个第I后处理区域，所述控制部件将对η个批次实施所述第I后处理的处理作为I个周期，以前一周期的最初批次的所述第I后处理的结束时刻为基准来设定当前周期的开始时刻。在完成对前一周期的最初批次进行的第I后处理之后，能够毫无迟延地开始对当前周期的最初批次进行第I后处理。因此，能够高效地制造单片片材。专利技术的效果采用本专利技术的制造方法和制造装置，能够缩短单片片材的制造时间，从而能够高效地制造单片片材。【附图说明】图1是本专利技术的片材制造装置的一实施方式的立体图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片材的制造方法，其特征在于，该片材的制造方法包括：成膜工序，在该成膜工序中，按照批次实施对片材组合物进行成膜而形成单片片材的成膜处理；以及后处理工序，在该后处理工序中，对所述单片片材实施第1后处理，将所述第1后处理所需的第1后处理时间设定得长于所述成膜处理所需的成膜时间，在所述后处理工序中，对多个批次的单片片材同时并行地实施所述第1后处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：塚原大祐，西胁谦一郎，长滨利一，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP