环状屏蔽部件、其构成零件和基板载置台制造技术

本发明专利技术提供一种防止在环状屏蔽部件的构成零件和基板载置台之间产生间隙并能够防止构成零件破损的环状屏蔽部件。屏蔽环(15)由四个环构成零件(41)～(44)构成，在各环构成零件(41)～(44)的长度方向上的固定端设置有全方向移动限制部(45)，单方向移动容许部(46)与全方向移动限制部(45)离开地设置，例如以一个环构成零件(41)的固定端(41a)的端面与相邻的另一环构成零件(43)的自由端(43b)的侧面抵接，一个环构成零件(41)的自由端(41b)的侧面与相邻的又一环构成零件(44)的固定端(44a)的端面抵接的方式，组合各环构成零件(41)～(44)。

【技术实现步骤摘要】
环状屏蔽部件、其构成零件和基板载置台本申请是2012年8月24日提出的申请号为201210306041.4的同名申请的分案申请。
本专利技术涉及适用于在处理室内载置基板的基板载置台的环状屏蔽部件、其构成零件和具有环状屏蔽部件的基板载置台。
技术介绍
在以液晶显示装置(LCD)为首的FPD(FlatPanelDisplay：平板显示器)制造工序中，已知有对玻璃基板等的各种基板实施等离子体处理的基板处理装置。这种基板处理装置具有：在处理室(以下称为‘腔室’)内载置基板的基板载置台；和隔着处理空间与该基板载置台相对配置的上部电极，基板载置台被供给有等离子体生成用的高频电力(RF)，该基板载置台作为下部电极发挥功能，利用被导入至腔室内的处理空间的处理气体生成等离子体，利用生成的等离子体对载置于基板载置台的基板实施规定的等离子体处理。通常，基板载置台的基板载置面呈矩形，在其外周部配置有作为环状屏蔽部件的屏蔽环，以提高等离子体的聚焦性以及确保电绝缘性。屏蔽环由氧化铝(Al2O3)等的绝缘性的陶瓷构成，通过螺栓(bolt)被固定在基板载置台的基材。由于屏蔽环是将矩形的基板载置面的周围包围的矩形的环状体，另外伴随近年来产业界的要求，处理基板正在大型化，因此一体成形较为困难，所以屏蔽环通常由多个构成零件(部件)组合形成。图13是表示现有的屏蔽环结构的平面图。在图13中，以包围下部电极(基板载置台)100的矩形的基板载置面106的周围的方式配置有屏蔽环105。屏蔽环105为在平面图上大致呈L字状的四个环构成零件101～104的组合体。各环构成零件101～104各自在L字状的角部的附近和与该角部连设的长尺寸部的顶端部附近的两个位置具有螺栓孔107，各环构成零件101～104通过安装于螺栓孔107的固定螺栓，被固定于构成下部电极100的基板载置面106的周围的凸缘部。然而，屏蔽环105，根据不同的处理目的，通过来自被加热的下部电极100的传热以及等离子体的连续照射等被加热，产生热膨胀。此时，在相邻的环构成零件相互的抵接面中，一个环构成零件在空心箭头所表示的方向上挤压另一环构成零件。此时，另一环构成零件在空心箭头所表示的方向上仅仅位移螺栓孔107与固定螺栓(未图示)的间隙量，因此，在屏蔽环105和基板处理面106之间会产生间隙。当屏蔽环105和下部电极100之间产生间隙时，等离子体进入该间隙，例如下部电极100的陶瓷喷镀被削减而露出基材，成为在下部电极100产生异常放电(电弧放电)或腐蚀(侵蚀)的原因。为了防止产生屏蔽环105和下部电极100之间的间隙，提案设置有以吸引相邻的环构成零件的方式加力的加力部件的环构成零件、或设置有使各环构成零件朝向下部电极的中心部加力的加力部件的屏蔽环(例如：参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2008-311298号公报
技术实现思路
专利技术想解决的问题然而，对构成屏蔽环105的各环构成零件101～104组合施加在特定的方向起作用的作用力的加力部件，未必容易。另一方，为了防止由于热膨胀引起的变形、移动，而将各环构成零件101～104固定于下部电极的基材100的固定螺栓的连结力加大时，存在对下部电极100的基材的连结时或热膨胀时，环构成零件101～104容易破损的问题。本专利技术的目的在于：提供防止在环状屏蔽部件的构成零件和基板载置台之间产生间隙、并能够防止构成零件的破损的环状屏蔽部件、其构成零件和具备环状屏蔽部件的基板载置台。用于解决问题的方法为了达到上述目的，在技术方案1记载的环状屏蔽部件的构成零件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置上述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，上述环状屏蔽部件的构成零件的特征在于，包括沿上述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件(长形状部件)，具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制上述构成零件的全方向(全方位)上的移动；第二移动限制部，在上述长度方向上与上述第一移动限制部离开地设置，限制上述构成零件的(在)上述长度方向以外的移动；和将上述构成零件连结到上述基板载置台的至少一个连结部。在技术方案2记载的环状屏蔽部件的构成零件，其特征在于，在技术方案1记载的环状屏蔽部件的构成零件中，上述第一移动限制部具有：圆筒状的第一垫圈；第一垫圈孔，其与该第一垫圈动配合，在与动配合的该第一垫圈的中心轴垂直的面上具有圆形的截面；和第一螺栓，其将动配合到该第一垫圈孔中的上述第一垫圈向上述基板载置台按压，上述第一垫圈的侧面和上述第一垫圈孔的侧面的间隙被设置得小，以限制上述构成零件的全方向上的移动，上述第二移动限制部具有：圆筒状的第二垫圈；第二垫圈孔，其与该第二垫圈动配合，在与动配合的该第二垫圈的中心轴垂直的面上具有椭圆形的截面；和第二螺栓，其将动配合到该第二垫圈孔中的上述第二垫圈向上述基板载置台按压，上述第二垫圈孔的上述椭圆形的截面的长径沿上述长度方向。在技术方案3记载的环状屏蔽部件的构成零件，其特征在于，在技术方案1记载的环状屏蔽部件的构成零件中，上述第一移动限制部具有：长方体状的第一导向件，其设置为相对于上述基板载置台不能移动；和第一导向件孔，其为与该第一导向件动配合的长方体状的凹部，上述第一导向件的各个侧面和上述第一导向件孔的各个侧面的间隙设定得小，以限制上述构成零件的全方向上的移动，上述第二移动限制部具有：长方体状的第二导向件，其设置为相对于上述基板载置台不能移动；和第二导向件孔，其为与该第二导向件动配合的长方体状的凹部，上述第二导向件孔的上述长度方向上的长度设定为比上述第二导向件的上述长度方向上的长度大。在技术方案4记载的环状屏蔽部件的构成零件，其特征在于，在技术方案1至3中任一项记载的环状屏蔽部件的构成零件中，上述长尺寸状物件沿上述长度方向被分割为第一长尺寸部和第二长尺寸部，上述第一移动限制部设置在上述第一长尺寸部的上述长度方向上的一端，上述第二移动限制部设置在上述第二长尺寸部，上述第一长尺寸部的上述长度方向上的另一端与上述第二长尺寸部的上述长度方向上的一端抵接，上述第一长尺寸部和上述第二长尺寸部各自具有上述连结部。在技术方案5记载的环状屏蔽部件，其特征在于，在权利要求4记载的环状屏蔽部件的构成零件中，上述第一长尺寸部和上述第二长尺寸部相互接合，在上述第一长尺寸部和上述第二长尺寸部的联结部具有位置偏离防止机构，该位置偏离防止机构防止上述第一长尺寸部和上述第二长尺寸部的相对位置偏离。为了达到上述目的，在技术方案6记载的环状屏蔽部件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置上述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式配置，上述环状屏蔽部件的特征在于，包括如权利要求1至5中任一项上述的环状屏蔽部件的构成零件的组合体，各个上述构成零件以一个上述构成零件的上述长度方向上的一端的端面与相邻的另一上述构成零件的上述长度方向上的另一端的侧面抵接，且上述一个上述构成零件的上述长度方向上的另一端的侧面，与不同于相邻的上述另一上述构成零件不同的、相邻的又一上述构成零件的上述长度方向上的一端的端面抵接的方式组合。在技术方案7记载的环状屏蔽部件，其特征在于，在在权利要求6记载的环状屏蔽部件中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环状屏蔽部件的构成零件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，所述环状屏蔽部件的构成零件的特征在于：包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制所述构成零件的全方向上的移动；和第二移动限制部，其在所述长度方向上与所述第一移动限制部离开地设置，限制所述构成零件的所述长度方向以外的移动，所述第一移动限制部具有：第一导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第一导向件孔，其为与该第一导向件动配合的凹部，所述第一导向件的各个侧面和所述第一导向件孔的各个侧面的间隙设定得小，以限制所述构成零件的全方向上的移动，所述第二移动限制部具有：第二导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第二导向件孔，其为与该第二导向件动配合的凹部，所述第二导向件孔的所述长度方向上的长度设定为比所述第二导向件的所述长度方向上的长度大。

【技术特征摘要】
2011.08.26 JP 2011-1845101.一种环状屏蔽部件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，所述环状屏蔽部件的特征在于：所述环状屏蔽部件包括环状屏蔽部件的构成零件的组合体，所述构成零件包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，所述构成零件具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制所述构成零件的全方向上的移动；和第二移动限制部，其在所述长度方向上与所述第一移动限制部离开地设置，限制所述构成零件的所述长度方向以外的移动，所述第一移动限制部具有：第一导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第一导向件孔，其为与该第一导向件动配合的凹部，所述第一导向件的各个侧面和所述第一导向件孔的各个侧面的间隙设定得小，以限制所述构成零件的全方向上的移动，所述第二移动限制部具有：第二导向件，其设置为相对于所述基板载置台不能移动；和第二导向件孔，其为与该第二导向件动配合的凹部，所述第二导向件孔的所述长度方向上的长度设定为比所述第二导向件的所述长度方向上的长度大，在所述环状屏蔽部件中，各个所述构成零件以一个所述构成零件的所述长度方向上的一端的端面...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木芳彦，南雅人，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP