【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及MEMS传感器
，具体是一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水 听器。
技术介绍
随着水声技术的不断发展，在低频，小角度变化中获得空间增益，以及精确的给出 水下目标的方位信息，矢量水听器成为一种必然的选择。如专利号为200910073993. 4的中 国专利技术专利公开的"微机电矢量水听器"，仿鱼类侧线系统的MEMS矢量水听器将声-电转换 结构封装在聚氨酯透声帽（仿感觉顶）内，并在透声帽中灌满硅油（仿组织液）。这种封装 方式基本解决了声信号从水中传递到探测芯片的纤毛上的难题，虽然在原则上尽量保证透 声帽、硅油与水的特性阻抗匹配，但由于透声帽本身存在一个共振峰，位于5Ηζ-1ΚΗζ目标 频带范围内，导致水听器频响失真，影响水听器的工作频带。 对于仿生纤毛式MEMS矢量水听器，尚无理想适用的封装方式，亟需研究和改 进。另一方面，Parylene薄膜在传感器封装中有应用潜力，然而，针对振动式微传感器的 Parylene薄膜封装应用研究很少，需深入探究。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了提供一种全新封装结构的水听器，具体是一种仿海豹胡...
【技术保护点】
一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器，包括内置信号处理电路板（1）的不锈钢电路管壳（2），不锈钢电路管壳（2）顶部延设有内置导线（3）的缩颈管壳（4）、底部管口插接有连接电缆（5）的堵头（6），缩颈管壳（4）内的导线与不锈钢电路管壳（2）内的信号处理电路板（1）的输入端连接，同时信号处理电路板（1）的输出端通过导线（3）与堵头（6）上的电缆（5）连接；缩颈管壳（4）的顶部固接有开设中心通孔的固定圆盘（7），固定圆盘（7）上开设有安装槽（8），安装槽（8）内通过聚氨酯无缝隙地粘接安装有绝缘环形托盘（9），绝缘环形托盘（9）上设有凸台（10），绝缘环形托盘（9）上靠近边缘的...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王任鑫，徐伟，刘源，白冰，刘梦然，王丽娟，张国军，薛晨阳，刘俊，张斌珍，张文栋，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14
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