液浸部件及曝光装置制造方法及图纸

液浸部件在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间。液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液浸部件及曝光装置
本专利技术涉及液浸部件、曝光装置、曝光方法、器件制造方法、程序及记录介质。本申请基于2012年12月27日提出申请的美国临时专利申请第61/746,497号主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
在光刻工序中所使用的曝光装置中，已知例如下述专利文献1所公开那样的、经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光的液浸曝光装置。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利第7864292号
技术实现思路
在液浸曝光装置中，若例如液体从规定的空间流出或残留在衬底等物体上，则有可能产生曝光不良。其结果为，有可能产生不良器件。本专利技术方式的目的在于提供一种能够抑制产生曝光不良的液浸部件、曝光装置、及曝光方法。另外，本专利技术方式的目的还在于提供一种能够抑制产生不良器件的器件制造方法、程序、及记录介质。根据本专利技术的第1方式，提供一种液浸部件，其在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，该液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。根据本专利技术的第2方式，提供一种液浸部件，其在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，该液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于光学部件的光轴而言的放射方向而配置在第1液体回收部的外侧且能够与物体的表面相对的第1气体供给部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。根据本专利技术的第3方式，提供一种液浸部件，其在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，该液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于光学部件的光轴而言的放射方向而配置在光路与第1液体回收部之间且能够与物体的表面相对的第2液体供给部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。根据本专利技术的第4方式，提供一种液浸部件，其在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，该液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部；第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动；和第2液体回收部，其配置在第1部件上，能够回收从物体上流入到第1部件与第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。根据本专利技术的第5方式，提供一种液浸部件，其在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，该液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部；第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动；和第2液体回收部，其能够回收从物体上流入到第1部件与第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分，第1部件与第2部件之间的间隙包含第1尺寸的第1间隙部分、和相对于光学部件的光轴配置在第1间隙部分的外侧且比第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，第2液体回收部能够从第1间隙部分回收液体。根据本专利技术的第6方式，提供一种曝光装置，其经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，该曝光装置具有第1～第5中任一方式的液浸部件。根据本专利技术的第7方式，提供一种曝光装置，其经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，该曝光装置具有：光学部件，其具有射出曝光用光的射出面；液浸部件，其能够在能在光学部件的下方移动的物体上形成液体的液浸空间，具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件配置在曝光用光的光路周围的至少一部分上，该第2部件的至少一部分以能够在第1部件的下方与物体相对的方式配置，且该第2部件能够相对于第1部件移动；和气体供给部，其向液浸空间的周围的至少一部分供给气体。根据本专利技术的第8方式，提供一种器件制造方法，该方法包含以下步骤：使用第6或第7方式的曝光装置对衬底进行曝光、和对曝光后的衬底进行显影。根据本专利技术的第9方式，提供一种曝光方法，其经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对衬底进行曝光，该曝光方法包含以下步骤：使用液浸部件在衬底的表面上形成液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与衬底的表面相对的第1液体供给部，该第2部件具有能够与衬底的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动；经由液浸空间的液体并以从射出面射出的曝光用光对衬底进行曝光；和在衬底的曝光的至少一部分中，相对于第1部件移动第2部件。根据本专利技术的第10方式，提供一种曝光方法，其经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对衬底进行曝光，该曝光方法包含以下步骤：使用液浸部件在衬底的表面上形成液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部、以及关于相对于光学部件的光轴而言的放射方向而配置在第1液体回收部的外侧且能够与物体的表面相对的第1气体供给部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动；经由液浸空间的液体并以从射出面射出的曝光用光对衬底进行曝光；和在衬底的曝光的至少一部分中，相对于第1部件移动第2部件。根据本专利技术的第11方式，提供一种曝光方法，其经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对衬底进行曝光，该曝光方法包含以下步骤：使用液浸部件在衬底的表面上形成液体的液浸空间，该液浸部件具有第1部件和第2部件，其中，该第1部件包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部，该第2部件具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部、以及关于相对于光学部件的光轴而言的放射方向而配置在光路与第1液体回收部之间且能够与物体的表面相对的第2液体供给部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动；经由液浸空间的液体并以从射出面射出的曝光用光对衬底进行曝光；和在衬底的曝光的至少一部分中，相对于第1部件移动第2部件。根据本专利技术的第12方式，提供一种曝光方法，其经由射出曝光用光的光学部件的射出面与衬底之间的液体并以曝光用光对衬底进行曝光，该曝光方法包含以下步骤：使用液浸部件在衬底的表面上形成液体的液浸空间，该液浸部件具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部、及配置在所述第1开口部的周围的至少一部分上且能够与所述物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.12.27 US 61/746,4971.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部、及配置在所述第1开口部的周围的至少一部分上且能够与所述物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述物体之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述物体之间的液体的至少一部分。2.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。3.如权利要求2所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。4.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。5.如权利要求4所述的液浸部件，其特征在于，所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。6.如权利要求4所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。7.如权利要求1所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件还具有第1气体供给部，该第1气体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述第1液体回收部的外侧，且能够与所述物体的表面相对。8.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，所述第1气体供给部在所述液浸空间的外侧供给所述气体。9.如权利要求8所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。10.如权利要求8所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。11.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。12.如权利要求7所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。13.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有所述曝光用光能够通过的第1开口部；和第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述第1液体回收部的外侧且能够与所述物体的表面相对的第1气体供给部，所述第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述物体之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述物体之间的液体的至少一部分。14.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，所述第1气体供给部在所述液浸空间的外侧供给所述气体。15.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，所述第1气体供给部供给加湿后的气体。16.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件还具有第2液体供给部，该第2液体供给部关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，配置在所述光路与所述第1液体回收部之间，且能够与所述物体的表面相对。17.如权利要求16所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。18.如权利要求13所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。19.如权利要求18所述的液浸部件，其特征在于，所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。20.如权利要求18所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。21.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部；和第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部、及关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向而配置在所述光路与所述第1液体回收部之间且能够与所述物体的表面相对的第2液体供给部，所述第2部件能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动。22.如权利要求21所述的液浸部件，其特征在于，所述第1液体回收部能够回收来自所述第2液体供给部的所述液体的至少一部分。23.如权利要求21所述的液浸部件，其特征在于，所述液浸空间的液体的界面关于相对于所述光学部件的光轴而言的放射方向，被维持在所述第2液体供给部与所述第1液体回收部之间。24.如权利要求21所述的液浸部件，其特征在于，还具有第2液体回收部，该第2液体回收部能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。25.如权利要求24所述的液浸部件，其特征在于，所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。26.如权利要求24所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。27.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有所述曝光用光能够通过的第1开口部；第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动；和第2液体回收部，其配置在所述第1部件上，能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分。28.如权利要求27所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件还包含配置在所述第1部分的上方的第2部分，所述第2液体回收部配置在所述第2部分上。29.如权利要求27所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴形成在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。30.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有所述曝光用光能够通过的第1开口部；第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动；和第2液体回收部，其能够回收从所述物体上流入到所述第1部件与所述第2部件之间的间隙中的液体的至少一部分，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙包括：具有第1尺寸的第1间隙部分；和相对于所述光学部件的光轴配置在所述第1间隙部分的外侧且具有比所述第1尺寸小的第2尺寸的第2间隙部分，所述第2液体回收部能够从所述第1间隙部分回收液体。31.如权利要求30所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件能够在规定面内移动，规定所述第2间隙部分的所述第1部件的第1相对面和所述第2部件的第2相对面与所述规定面平行。32.如权利要求30所述的液浸部件，其特征在于，所述第2液体回收部配置在所述第1部件上。33.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的一端以与所述物体的表面相对的方式配置，所述物体上的液体能够从所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的所述一端流入到所述间隙。34.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙经由所述间隙的另一端与外部空间连通。35.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的另一端以不与所述物体的表面相对的方式配置。36.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的另一端配置在比所述间隙的所述一端高的位置。37.如权利要求33所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的另一端不与所述物体上的液体接触。38.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，面向所述第1部件与所述第2部件之间的间隙的所述第1部件的表面及所述第2部件的表面中的一方或双方的至少一部分相对于液体具有疏液性。39.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，能够与所述物体的表面相对的所述第1部分的第1下表面、及所述第2部件的第2下表面平行于与所述光学部件的光轴垂直的平面。40.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，能够与所述物体的表面相对的所述第1部分的第1下表面、和所述第2部件的第2下表面配置在同一平面内。41.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，能够与所述物体的表面相对的所述第1部分的第1下表面、及所述第2部件的第2下表面与所述射出面相比配置在下方。42.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件还具有第3液体供给部，该第3液体供给部向所述第1部件与所述光学部件之间的间隙供给液体。43.如权利要求42所述的液浸部件，其特征在于，所述第3液体供给部配置在所述第1部分上。44.如权利要求42所述的液浸部件，其特征在于，所述第3液体供给部以与所述光学部件的外表面相对的方式配置在所述第1部件上。45.如权利要求44所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件还具有第3液体回收部，该第3液体回收部以与所述光学部件的外表面相对的方式配置，且能够从所述光学部件与所述第1部件之间的间隙回收液体，所述第3液体供给部相对于所述光学部件的光轴配置在一侧，所述第3液体回收部相对于所述光学部件的光轴配置在另一侧。46.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件还具有第3液体回收部，该第3液体回收部能够从所述第1部件与所述光学部件之间的间隙回收液体。47.如权利要求46所述的液浸部件，其特征在于，所述第3液体回收部配置在所述第1部分上。48.如权利要求46所述的液浸部件，其特征在于，所述第3液体回收部以与所述光学部件的外表面相对的方式配置，且能够从所述光学部件与所述第1部件之间的间隙回收液体。49.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件在与所述光学部件的光轴垂直的面内移动。50.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第2部件基于所述物体的移动条件而移动。51.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，在形成有所述液浸空间的状态下，所述第2部件移动。52.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，在从所述射出面射出所述曝光用光的期间的至少一部分中，所述第2部件移动。53.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件的所述第1部分包含所述第1部件的最下部。54.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件的所述第1部分包含所述第1部件的、与所述物体的表面最接近的部位。55.如权利要求1～32中任一项所述的液浸部件，其特征在于，所述第1部件的所述第1部分与所述光学部件的射出面相比配置在下方。56.一种曝光装置，经由液体并以曝光用光对衬底进行曝光，其特征在于，具有权利要求1～32中任一项所述的液浸部件。57.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件以与所述物体的相对速度减小的方式移动。58.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对速度比所述第1部件与所述物体的相对速度小的方式移动。59.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件以与所述物体的相对加速度减小的方式移动。60.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，所述第2部件以所述第2部件与所述物体的相对加速度比所述第1部件与所述物体的相对加速度小的方式移动。61.如权利要求56所述的曝光装置，其特征在于，所述物体包含所述衬底，在形成有所述液浸空间的状态下，所述衬底在与所述光学部件的光轴垂直的面内，在第1路径中移动后，再在第2路径中移动，在所述第1路径中，所述衬底的移动包含沿所述面内的与第1轴平行的第1方向的移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤真路，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP