【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种ITO膜刻蚀的方法，包括如下操作：向表面为ITO膜构成的板材表面均匀涂覆一层感光胶膜，将涂好感光胶膜的板材烘干冷却至室温，然后对板材进行曝光和显影处理，最后利用刻蚀液对板材进行刻蚀处理，蚀刻结束后，进行清洗和干燥；刻蚀液组成为：1.8重量份的1、2‑乙二磺酸，0.5重量份的三氟甲基磺酸，2.8重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，6重量份的草酸水，89重量份的蒸馏水。
【技术特征摘要】
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