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一种表面镀覆纳米薄膜的特种光锥制造技术

技术编号:12338556 阅读:103 留言:0更新日期:2015-11-18 11:19
一种表面镀覆纳米薄膜的特种光锥,其主要包括:锥体、大端和小端,其大端和小端的表面分别镀覆300-2000nm波段、厚度范围为50-500nm的宽带增透纳米薄膜,实心锥体的锥面镀覆厚度范围为100-1000nm的SiO2/ZrO2膜系高反纳米薄膜。本发明专利技术光锥是由冕牌普通玻璃制作而成的。本发明专利技术具有结构简单、制备容易、耦合效率高、成本低的优点,可用于光束接收、光束耦合与传感等场合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光无源器件,特别是光锥。
技术介绍
随着无线光通信、激光雷达、光源与光纤耦合等应用规模的不断扩大,系统对光信 号接收也提出了更高的要求,如高灵敏度、高耦合效率、广角接收等。特别是在复杂的应用 环境中,天气状况、大气湍流、基座振动等因素很容易影响系统的光信号接收耦合效率。然 而,常规的光信号接收技术往往仅适于环境因素影响较弱的工作场合,通常采用光电探测 器或光纤直接接收聚焦后的空间光信号,无法完成高灵敏度的广角接收,这将直接影响光 信号接收耦合效率。因此,亟需探索研究新的高效光信号耦合接收机理与方法,从根本上解 决如何增强光信号接收耦合效率的难题。高灵敏度、高耦合效率的光信号接收技术已成为 当前国际光电子领域的关注焦点。 目前,常规光信号接收方法主要包括:自动捕获、跟踪和瞄准(Acquisition、 Tracking and Pointing,ATP)接收法、单透镜-单光纤接收法、多光学天线接收法、光电探 测器直接接收法、表面等离子激元法等。其中: ATP接收法通过在光信号接收端探测光发射端的信标光,对其进行捕获、跟踪、瞄 准后返回信标光到发射端,完成点对点的锁定和对准,但其瞄准控制系统复杂,设备造价 高,且维护困难。 单透镜-单光纤接收法采用单透镜将空间光信号聚焦后送入单根光纤,虽然能实 现较高的数据传输速率,但存在接收视场角小、抗外界环境振动能力差等问题。 多光学天线接收法采用多个光学透镜,虽然能有效增加接收视场,但由于光学透 镜过多,存在耦合损耗较大、系统复杂、价格昂贵等问题。 光电探测器直接接收法采用大面积光电探测器或光电阵列,存在较大的背景光噪 声,而且随着光电探测器接收面积的增加,使得信息传输速率大幅降低、响应速度慢等问题 愈加凸显。 表面等离子激元法采用等离子激元波纹喇叭结构,能在一定程度上实现光信号的 广角接收,但对其制作工艺要求较高,难以加工制作。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构简单、制备容易、耦合效率高、成本低的表面镀覆 纳米薄膜的特种光锥,以克服现有技术仅适用于环境因素影响较弱的光信号接收场合,且 耦合效率难以满足实际需求的难题。 本专利技术的特种光锥主要包括:锥体、大端和小端。其中,大端和小端的表面分别镀 覆300-2000nm波段、厚度范围为50-500nm的宽带增透纳米薄膜,实心锥体的锥面镀覆厚度 范围为IOO-1000 nm的SiO 2ArO2膜系高反纳米薄膜,最好上述特种光锥是由冕牌普通玻璃 制作而成的,上述特种光锥大端直径D范围为40-100mm,小端直径d范围为8-20mm,长度L 上述300-2000nm波段的宽带增透纳米薄膜是采用Al203、MgF 2、Ti02& SiO2四种镀 膜材料,以质量比Al203:MgF 2:Ti02:Si02= 1 :1 :1 :4,通过真空镀膜法在特种光锥大、小锥 面上按A1203、MgF2、Ti0 2、SiO2先后顺序依次进行蒸镀获得4层薄膜,每层薄膜对应一种材 料,最外层薄膜为SiO 2,以获得满足不同入射光波长的厚度均匀的纳米薄膜;上述SiO2ArO2 膜系的高反纳米薄膜是采用SiOjP ZrO2两种镀膜材料,以质量比SiO2=ZrO2= 1 :2,也是通 过真空镀膜法在特种光锥锥面上按SiOjIj ZrO 2先后顺序依次进行蒸镀获得2层薄膜,每层 薄膜对应一种材料,最外层为ZrO2薄膜。所需镀膜材料如Al 203、MgF2、Ti02、5102等均为固 体颗粒,最好镀膜材料纯度为99. 99-99. 999%。 本专利技术的工作过程:当具有高透射率或高反射率的纳米薄膜镀覆于某种基底(如 冕牌普通玻璃或纯石英)上,可以很好的实现对光信号的增透或高反。当外界光束照射到 表面镀覆300-2000nm波段的宽带增透纳米薄膜的特种光锥大端时,能以大于99. 6%的透 射率进入特种光锥锥体内部;光束在侧表面镀覆多层Si02/ZrOJ莫系的高反纳米薄膜的特 种光锥锥体内部反射时,能以大于99. 4%的反射率进行传播;最后在表面镀覆300-2000nm 波段的宽带增透纳米薄膜的特种光锥小端输出,其透射率同样大于99. 6%。因此,表面镀覆 纳米薄膜的特种光锥可以实现光信号的高效率接收与传输。 本专利技术与现有技术相比具有如下优点: (1)本专利技术结构简单,具有制备容易、成本低等特点,方便装配。 (2)本专利技术采用冕牌普通玻璃制作,具有良好的传光性能。 (3)本专利技术在特种光锥大端面和小端面镀覆宽带增透纳米薄膜、锥体侧表面镀覆 高反纳米薄膜,可以增强光信号接收耦合效率。【附图说明】 图1是本专利技术主视剖面示意简图。 图2是测试本专利技术特种光锥光接收效率所用设备框图。 图3是实施例1采用图2设备获得的本专利技术光锥光接收效率测试结果曲线与镀膜 前的光锥光接收效率曲线比较图。 图4是实施例2采用图2设备获得的本专利技术光锥光接收效率测试结果曲线与镀膜 前的光锥光接收效率曲线比较图。 其中,1 :特种光锥大端;2 :特种光锥锥体;3 :特种光锥小端;4 :光源;5 :光纤准直 器;6 :特种光锥;7 :高灵敏度光电探测器;8 :光功率计。【具体实施方式】 实施例1 在图1所示的一种表面镀覆纳米薄膜的特种光锥主视剖面示意简图中,它是由冕 牌普通玻璃制作的大端直径为60mm,小端直径为10mm,长度为300mm实心特种光锥。其中, 大端和小端的表面分别镀覆厚度为60nm的300-2000nm波段的宽带增透纳米薄膜,实心锥 体的锥面镀覆厚度为120nm的Si0 2/ZrOJ莫系的高反纳米薄膜。 上述300-2000nm波段的宽带增透纳米薄膜是采用纯度99. 99以上的A1203、MgF2、 1102及5102四种镀膜材料,以质量当前第1页1 2 本文档来自技高网
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一种表面镀覆纳米薄膜的特种光锥

【技术保护点】
一种表面镀覆纳米薄膜的特种光锥,包括:锥体、大端和小端,其特征在于:大端和小端的表面分别镀覆300‑2000nm波段、厚度范围为50‑500nm的宽带增透纳米薄膜,实心锥体的锥面镀覆厚度范围为100‑1000nm的SiO2/ZrO2膜系高反纳米薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:付兴虎付广伟高龙飞张保军毕卫红
申请(专利权)人:燕山大学
类型:发明
国别省市:河北;13

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