具有门的晶片封闭盒制造技术

一种用于晶片的可密封封闭盒，其具有门（３６），所述门（３６）具有容易安装和拆卸的闭锁机构（６０），在闭锁机构（６０）中采用了最少数量的移动元件。门（３６）包括具有凸轮元件（８０）的外壳，所述凸轮元件（８０）可以在柱元件（１１０）上转动，并且与一对闭锁臂（８２）相互配合，根据门（３６）是否是前侧门（３６）或底部门（３６），延伸或收回移动，或者上下，或者前后移动。通过凸轮元件（８０）的凸轮部分的轮廓推动闭锁臂（８２）的凸轮随动部分（１３６），相对于凸轮元件（８０）沿轴向和径向移动，完成闭锁臂（８２）的移动。闭锁臂（８２）在封闭盒（５６）中围绕支点（１７）转动。通过面板很容易看到闭锁机构（６０），所述面板（１８０）具有整体的卡爪固定器（１８４），面板上的卡爪固定器与门的外壳（５６）中的内壁边缘的凹槽（１９８）相配合，使面板固定。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
本专利技术涉及晶片运载器，特别是，涉及具有闭锁机构的门的可密封晶片封闭盒。已经有许多方法被用于在容器中封闭晶片，以便采用这些具有刚性体和垂直槽的容器贮存和输送晶片，从而在垂直槽中容纳晶片，并且采用具有柔性的扣接盖。在晶片不能暴露于周围大气条件的场合，这些容器一般不适用。对于尺寸范围在200毫米和更小尺寸的晶片，采用称为具有标准机械接口(SMIF)的可分离容器20，如附图说明图1所示，提供清洁密封的小环境，以便将晶片输送到加工设备中，不使晶片暴露于周围大气环境。这种可分离容器的例子已经公开的美国专利US-4532970和US-4534389中。这些具有标准机械接口的可分离容器20一般采用输送容器部分34，这种输送容器部分34具有下部的门支架部分35，其形状如同法兰盘设置在容器开启的底部，可闭锁的门36封闭开启的容器底部。门的支架部分35被夹紧到加工设备上，使加工设备上的门固定在具有标准机械接口的可分离容器的下部的门上。这两个门可以同时从支架下降，进入加工设备中密封的加工环境内。分开的H形运载器38位于具有标准机械接口的可分离容器的门36的上表面40，并且装有晶片，在容器的下部具有门，以便取出和加工所述晶片。在半导体加工工业中，正在朝着利用较大尺寸的晶片，特别是300毫米的晶片的方向发展。通过工业标准化的发展，希望采用这种晶片的运输组件，其具有前面开启的门，以便插入和取出晶片，与具有下部门的容器相反，在具有下部门的容器中晶片从工装中下落。参照图2，其描绘了前面开启的封闭盒。虽然晶片被支撑在容器部分34中，其中没有分开可取出的运载器，但是，这种封闭盒具有与标准机械接口的可分离的容器相类似的元件。用于可密封封闭盒中的各种形状的门的外壳和闭锁机构在已有技术中是公知的。一般，它们具有缺点，即，其不容易拆卸，具有多个移动部件，其使用金属部件包括金属固定件。在半导体晶片运载器和容器中不希望使用金属固定件和其他金属部件。当摩擦或出现划痕时，金属部件一般产生较大的损坏颗粒。安装具有金属固定件的工装，将导致产生摩擦或划痕。因此，在晶片封闭盒中要避免使用金属固定件或其他金属部件。在现有技术中使用的闭锁机构通常使用可转动的凸轮元件。这些凸轮元件一般由平面的塑料板构成，其具有加长的凹陷部分，其形成凸轮表面。这些凸轮表面仅在一个方向上为凸轮随动件提供运动，一般是单一的使凸轮随动件朝向前后径向方向移动，将凸轮的转动转变为闭锁部分的伸展或收回运动。对于其他装置，一般是附加基本的零部件，这些零部件对于使闭锁部分朝向一个方向移动是必不可少的，以便这些零部件远离或靠近容器部分，以便固定或密封门。这些附加的零部件增加了制造成本，增加闭锁机构的复杂性，增加了安装和拆卸的困难，增加了摩擦或产生划痕表面的数量，这将产生更多的颗粒。虽然如上所述的封闭盒可以用于相当清洁的环境，这种封闭盒在较长的工作时间内将在封闭盒中积累污物，并且最终需要对门的外壳的内部进行清扫。这些污物由部件之间的摩擦产生，例如，如上所述，在门中闭锁机构的运行，在晶片支架上装载或卸载晶片，门与容器部分相互配合或脱离配合。在常规的闭锁机构中的部件数量，门的拆卸困难，以及使用金属固定件为清洁这种门造成困难。因此，需要容易拆卸的门，容易拆卸的闭锁结构，并且，具有最少数量的运动部件。在本申请中公开和请求保护的门的特征适用于上述类型的各种封闭盒，并且，可以获得上述需要的满意效果。专利技术概述一种用于晶片的可密封封闭盒，其具有门，所说门具有容易安装和拆卸的闭锁机构，在闭锁机构中采用了最少数量的移动元件。门包括具有凸轮元件的外壳，所述凸轮元件可以在柱元件上转动，并且与一对闭锁臂相互配合，根据门是否是前侧门或底部门，延伸或收回移动，或者上下，或者前后移动。通过凸轮元件的凸轮部分的轮廓推动闭锁臂的凸轮随动部分，相对于凸轮元件沿轴向和径向移动，完成闭锁臂的移动。闭锁臂在外壳中围绕支点转动。通过面板很容易看到闭锁机构，所述面板具有整体的卡爪固定器，面板上的卡爪固定器与门的外壳中的内壁边缘的凹槽相配合，使面板固定。可转动的元件具有位于中央的槽，将转动的元件固定在T形柱元件上，所述柱元件在外壳中延伸，在插入的转动位置，转动元件位于柱元件上。当安装时，使凸轮元件转动，在外壳中的挡块限制凸轮的运行范围。本专利技术进一步的优点是门容易拆卸和安装，以便于进行清洁，或用于其他目的。本专利技术进一步附加的优点和特征是闭锁机构利用最少数量的部件，所有部件由注塑模制成型。本专利技术进一步的优点和特征是在门中不使用金属部件和金属固定件。附图的简要说明图1是现有技术中具有标准机械接口的可分离容器的立体图。图2是现有技术中的运输组件的立体图。图3A是具有可取下的盖的门的立体图。图3B是具有可取下的盖的门的立体图。图4是可转动的凸轮元件的立体图。图5是图4所示可转动的凸轮元件的侧视图。图6是可转动的凸轮元件的底部侧面的立体图。图7A是沿着图3中剖面线7-7所示的剖视图。图7B是与图7A相类似的剖视图，其中闭锁部件处于伸展位置。图7C是图7A和7B相类似的剖视图，其中闭锁部件处于伸展和倾斜位置。图8是门的内侧面板的局部立体图，其表示T形柱。图9是闭锁臂的立体图。图10是前面板盖的立体图。对本专利技术的详细说明本专利技术可以特别适用于，在图1和2所示的现有技术中的底部开启的具有标准机械接口(SMIF)的可分离容器20，和前面开启的运输组件30。各可密封的封闭盒具有容器部分34，以及相配合的门36。在具有标准机械接口的可分离容器20中还包括晶片运载器38，所述晶片运载器38是具有H形侧壁的运载器，这是现有技术中已知的。这种H形侧壁的运载器座落于门36的上表面40上。每一容器部分34和每一封闭盒具有顶部侧壁46、前面侧壁48、底部侧壁50。在具有标准机械接口的可分离容器中，底部侧壁50敞开，以便容纳晶片运载器38和门36。在运输组件30中，前面侧壁48敞开，并且由门36封闭。门具有方向向内的侧面52、向外的侧面53、边缘部分54包括四个侧壁55。各门36包括具有敞开的内部58的外壳56。在所述内部58中包括闭锁机构60，在附图1和2中描绘了闭锁机构的一部分。闭锁机构包括闭锁部分62，所说闭锁部分62可以从槽66中延伸出，以便于闭锁部分的接收器68相互配合，所述接收器68位于容器部分34的门支架部分74中。下面将讨论构成本专利技术改进的特征部分。参照图3A和3B，门36具有拆除的外侧面板77，在拆除了外侧面板77后可以看到内部58。在内部58中包括闭锁机构60。闭锁机构60包括转动的凸轮元件80和一对闭锁臂82。在附图4、5、6、7A、7B、和7C中进一步描绘了凸轮元件80的详细构造。凸轮元件80具有顶部表面90、底部表面92、中央轴套部分96、凸轮部分100、配合孔102、释放结构部分104。凸轮元件80的顶部表面90面向内侧面52的内侧门面板105。槽106位于凸轮元件80的轴套96中，槽106的尺寸与T形柱110的定位部件108相互配合。所述T形柱110从外壳56的内侧面板105向内延伸，如图8所示。在可转动的插入位置将凸轮元件80组装到柱110上，使槽106对准柱110的定位部件108。然后，在此位置稍微转动凸轮，使凸轮进入操作转动区域，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体晶片的可密封的封闭盒，其中包括： （ａ）容器部分，它具有敞开的内部，以及一般呈矩形的门的支架部分，其限定敞开的侧面，门的支架部分具有至少两个闭锁接收器，相对于敞开的侧面所述两个闭锁接收器处于相互对置的位置； （ｂ）相互配合的门包括： 门的外壳中具有外周边尺寸，以便使门插入门的支架部分，门的周边具有至少两个开口，其相应于门的支架部分的闭锁接收器； 闭锁臂包括位于闭锁臂一端的凸轮随动部分，和在另一端的闭锁部分，闭锁臂的凸轮随动部分与凸轮导向部分相互配合，所说闭锁臂可以相对于封闭盒转动； 在门的外壳的内部，可转动的凸轮元件固定在门的外壳上，并且可以在所述门的外侧进行转动操作，所述凸轮元件具有设置的凸轮导向部分，凸轮随动部分在凸轮部分上与凸轮元件相互配合，凸轮部分包括凸轮随动件的第一配合表面部分，随着凸轮元件转动，所述第一配合表面部分沿着轴向弯曲，由此沿着轴向方向，使凸轮随动件部分产生移动，凸轮部分还包括凸轮随动件的第二配合表面部分，随着凸轮元件转动，所述第二配合表面部分沿着径向方向弯曲，由此使凸轮随动件部分沿着轴向方向移动，由此使闭锁部分沿着轴向产生移动。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：KJ米克尔森，MS亚当斯，G波雷斯，BS韦瑟曼，
申请(专利权)人：氟器皿有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]