一种掩膜板的固定组件制造技术

本发明专利技术涉及一种掩膜板的固定组件，该固定组件包括：带有蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖所述蒸镀区域上的掩膜板；可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。根据本发明专利技术的掩膜板的固定组件能够缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机发光显示器(OLED，Organic Light Emitting Display)的制程中不可或缺的辅助组件，具体涉及一种掩膜板的固定组件。
技术介绍
在OLED的制程中，有机薄膜的形成需要使用真空蒸镀技术。具体地讲，在真空蒸镀技术中，需要依赖掩膜板阻挡一部分蒸汽流(成膜材料分子或成膜材料分子原子)，使另一部分蒸汽流透过掩膜板的蒸镀孔入射到待镀物品(例如基板)的表面，从而在待镀物品的表面上形成特定图形的固态薄膜。掩膜板的厚度(通常为30μπι-100μπι)较薄，蒸镀过程容易产生变形，因此需要固定框架支撑固定。虽然已有的固定框架能够牢固地固定掩膜板，但是掩膜板的位于固定框架的蒸镀区域(即框架的中空区域)的部分还可产生变形，导致蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状存在差异，尤其是大尺寸的OLED产生的这种情况更加明显。
技术实现思路
为了解决上述全部或部分问题，本专利技术提供一种掩膜板的固定组件，该固定组件能够缩减掩膜板的变形程度，促使蒸镀完成后形成的固态薄膜的形状与预期的形状趋近一致。本专利技术提供了一种掩膜板的固定组件，该固定组件包括:带有中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板的固定组件，包括：带有中空的蒸镀区域的框架，所述框架用于固定覆盖在所述蒸镀区域上的掩膜板；可拆卸式设在所述框架上的且穿过所述蒸镀区域以用于支撑所述掩膜板的支撑条。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邹成，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44