基片储存盒制造技术

一种基片储存盒，其中，上盖和下盖通过一个铰链相连接，因此可以自如地打开和关闭，基片的上支承件和下支承件从盒盖的内表面伸出。下盖的下支承件对基板的四个角的底面上的两个边缘定位并同时进行支承。当关闭下盖以便储存基片时，在基片的四个角处的顶面上的两个边缘由上盖的上支承件固定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于储存和携带一个基片(例如用于制造半导体元件或液晶显示器的光掩模或光掩模胚件)的基片储存盒，具体地说，本专利技术涉及一种用于依次地储存和携带基片的基片储存盒，该盒甚至可以储存和携带具有一个薄膜的光掩模。相关技术在一种用来依次地储存和携带基片的常规的基片储存盒中，例如，包括通过铰链连接的一个主体和一个盖体，一个分别装在主体和盖体的内表面上用来固定所储存的物品的固定件，主体和盖体相连接部分的外表面应相互齐平，并且铰链和它的啮合部分设置在一个比连接部分更低的位置上(例如，参照日本已审查的技术公开号6-30686)。众所周知，一个储存盒设有一个盒主体，一个盖体，以及一个盖固定带，并通过设置在盒主体和盖体的内面上的对置的销等支承伸出部分、与设置在盒主体上的环绕体，来阻止基片沿上下方向和横向摆动(参照日本未经审查的专利公开号10-142773)。但是，在日本已审查的技术公开号6-30686中所描述的基片储存盒存在以下的问题，当盖体打开时，光掩模或类似物会与主体一起被抬起，因此，污染物将会方便地载留其中并附着在光掩模或类似物上，从而使基片的外观产生缺陷，另一个问题是，由于通过装在支承件内部的圆柱形伸出部分直接按压光掩模的正面和背面来实现光掩模在上，下方向上的支承，从而将使基片受到污染。在日本未经审查的专利公开号10-142773中所描述的基片储存盒存在以下问题，由于直接按压基片(例如光掩模)的正面和背面，并且使用一个塑料制成的支承伸出部分进行支承，因此，基片将会受到污染，或者支承伸出部分(例如柱)将会发生损坏。近来，光掩模或类似物品的图形的小型化和高密度导致对其高质量要求的提高，从而导致对光掩模或类似物品的基片储存盒的以下性能提出更高的要求，例如灰尘产生少，防止损坏，防止污染以及便于操作。如上所述，在常规的基片储存盒内，基片的定位和支承是分别实现的，因此容易产生灰尘，很难保持基片的高质量。专利技术简述根据上述问题，本专利技术的目的是提供一种用于储存基片(例如光掩模)的廉价基片储存盒，该储存盒自身具有便于清洗，干燥等特性，其中基片储存盒可以在储存和携带过程中防止基片损坏和由于在盒内部产生灰尘而造成的污染，该基片储存盒便于使用并且在基片放入和取出的过程中限制灰尘的产生。为了解决以上问题，本专利技术的基片储存盒使用了这样的结构，使得对基片的定位和支承是同时完成的。本专利技术提供一种储存有一个具有顶面和底面的基片的储存盒，其形状与基片的形状相符合，该储存盒包括一个上盖和一个下盖，上盖通过一个铰链与下盖相连接，以便自如地打开和关闭下盖，并且在下盖和上盖之间形成一个啮合部分，其中下支承件设置在下盖的多个位置上，每个下支承件都与基片的底面一侧上的一对边缘相接触，而上支承部分设置在上盖的多个位置上，每个上支承件都与基片的顶面一侧上的一对边缘相接触。本专利技术提供的基片储存盒，其中，基片和基片储存盒最好是正方形的。本专利技术提供的基片储存盒，其中，下支承件和上支承件中的每个支承件最好都包括与一对边缘相接触的一对支承部分。本专利技术提供的基片储存盒，其中，在每个下支承件和上支承件中的每一对支承部分最好包括一个与边缘相接触的斜面。本专利技术提供的基片储存盒，其中，下盖的下支承件和上盖的上支承件最好是彼此对称地设置，并且具有彼此对称的形状。本专利技术提供的基片储存盒，最好还包括一个锁紧件，该锁紧件设置在下盖上的比该盒的厚度方向的中心更靠近下盖侧的位置上，以便将上盖和下盖密封，其中，铰链设置在上盖上的比该盒的厚度方向的中心更靠近上盖侧的位置上。本专利技术提供的基片储存盒，其中，在下盖和上盖之间的啮合件最好是从铰链朝锁紧件的方向向下倾斜地延伸，而且下盖的锁紧件这一侧形成一个空间，以便使自动传送臂的指形物从基片的下方插入。本专利技术提供的基片储存盒包括一个台阶部分，该台阶部分最好是分别设置在下盖和上盖内的四个角的外表面，该台阶部分可以是从其它部分降下来而成形的。本专利技术提供的基片储存盒最好是还包括一个设置在下盖的台阶部分与和下盖的台阶部分相对应的上盖的台阶部分之间的夹紧件，其中，该夹紧件固定并支承该下盖和上盖。本专利技术提供的基片储存盒，其中，在下盖和上盖内的凹凸部分最好都是圆形的。本专利技术提供的基片储存盒，其中，下盖和上盖最好都是由导电塑料制成的。本专利技术提供的基片储存盒，其中，每个下支承件最好是与下盖一起整体成形的，每个上支承件最好是与上盖一起整体成形的。按照本专利技术提供的基片储存盒，基片的定位和支承是通过基片四个角处的顶面一侧和底面一侧上的各两个边缘同时实现的，由此，都不是直接地压住基片(例如光掩模)的正面和背面，因此在储存和携带的过程中，由于盒内产生灰尘而导致的基片的损坏或者基片的污染就可以防止。当打开上盖时，放置基片的下盖不会随上盖而抬起，这样就限制了在放入和取出基片时产生灰尘，并且盒本身具有优良的清洗和干燥等特性。此外，基片的下支承件和上支承件是分别与下盖和上盖整体成形的，因此增强了下支承件和上支承件的刚性，并且防止了它们损坏。由此防止了因支承件损坏而导致的基片的损坏和污染。下盖上的下支承件与上盖上的上支承件是彼此对称的，所以该储存盒容易成形，从而可提供一种廉价的基片储存盒。附图简介附图说明图1是本专利技术的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于打开状态下的情况。图2是在示于图1的基片储存盒中沿A-A截面截取的一个侧剖面图。图3是一个透视图，图中示出了在本专利技术的第一个较佳的实施例中的基片储存盒的上支承件和下支承件。图4是本专利技术的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个侧剖面图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况。图5是本专利技术的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个侧视图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况。图6是本专利技术的基片储存盒的第二个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况，其中，该基片储存盒的四个角中每个角的厚度比该盒的整体厚度要更薄一些。图7是本专利技术的基片储存盒的第二个较佳的实施例的一个侧视图，图中示出了该盒处于关闭状态下的情况，其中，该基片储存盒的四个角中每个角的厚度比该盒的整体厚度要更薄一些。图8是一个平面图，图中示出了图6中的基片储存盒的四个角中的每个角处于由一个夹紧件夹紧着的情况。图9是一个侧视图，图中示出了图7中的基片储存盒的四个角中的每个角处于由起着盒座作用的该夹紧件夹紧着的情况，以及该基片储存盒被垂直地放置。最佳实施例详述下面，将参照附图对本专利技术的较佳实施例进行说明。图1是本专利技术的基片储存盒的第一个较佳的实施例的一个平面图，图中示出了该盒处于打开状态下的情况。图2是在示于图1的基片储存盒中沿A-A截面截取的一个侧剖面图。如图1和2中所示，基片储存盒1中储存有一个多边形(四边形)的基片7，该基片具有一个顶面7a和一个底面7b，该储存盒具有与基片7相对应的多边形(四边形)的形状。基片储存盒1设有一个下盖3和一个通过铰链与4与下盖3相连接的上盖2，并且还设有一个在下盖3与上盖2之间形成的啮合部分13。基片7在顶面7a上有四个边缘7c，并且在底面7b上也有四个边缘7c。储存在本专利技术的基片储存盒1中的基片7是一种例如用来制造半导体元件或液晶显示元件的光掩模(也称为掩模原版)或者光掩模胚件这样的基片，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种储存有一个具有顶面和底面的基片的储存盒，其形状与基片的形状相符合，该储存盒包括　　　　一个下盖；和　　　　一个上盖，该上盖通过一个铰链与下盖相连接，以便打开和关闭下盖，并且在下盖和上盖之间形成一个啮合部分，其中：　　　　下支承件设置在下盖的多个位置上，每个下支承件都与基片的底面一侧上的一对边缘相接触；以及　　　　上支承件设置在上盖的多个位置上，每个上支承件都与基片的顶面一侧上的一对边缘相接触。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中前聪，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]