【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】优先权要求本申请要求于2013年3月13日提交的题为“METAL OXIDE SEMICONDUCTOR(MOS)ISOLATION SCHEMES WITH CONTINUOUS ACTIVE AREAS SEPARATED BY DUMMY GATES AND RELATED METHODS(具有由虚栅极分隔的连续有源区的金属氧化物半导体(MOS)隔离方案及相关方法)”的美国专利申请S/N.13/799,955的优先权,其通过援引整体纳入于此。背景I.公开领域本公开的技术涉及金属氧化物半导体(MOS)。II.背景移动通信设备在当前社会已变得普及。这些移动设备的盛行部分地是通过目前在此类设备上实现的许多功能来推动的。对此类功能的需求提高了处理能力要求并产生了对更大功率的电池的需要。在移动通信设备的外壳的有限空间内,电池与处理电路系统竞争。这些以及其他因素造成了该电路系统内的组件及功耗的持续小型化。组件的小型化影响到处理电路系统的所有方面,包括包含金属氧化物半导体(MOS)的处理电路系统中晶体管和的其他无功元件。历史上,MOS器件已经从不断增进的小型化努力中获益,例如,从0.25微米(μm)按比例缩小历经0.13μm推进到二十八(28)纳米(nm)级,现在正努力研究二十(20)nm级。这种半导体小型化不仅减小了MOS器件在集成电路(IC)中所占据的版图(footprint)面积,还降低了操作这种IC所需要的功 ...
【技术保护点】
一种金属氧化物半导体(MOS)器件,包括:具有第一n型金属或p型金属功函数的第一材料;包括所述第一材料的第一栅极;包括所述第一材料的第二栅极;位于所述第一栅极和所述第二栅极之间且包括具有与所述第一材料相反的功函数的第二材料的虚栅极;以及在每个栅极下面的栅极电介质,所述栅极电介质包括大于约十八(18)的介电常数(k)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.03.13 US 13/799,9551.一种金属氧化物半导体(MOS)器件,包括:
具有第一n型金属或p型金属功函数的第一材料;
包括所述第一材料的第一栅极;
包括所述第一材料的第二栅极;
位于所述第一栅极和所述第二栅极之间且包括具有与所述第一材料相反
的功函数的第二材料的虚栅极;以及
在每个栅极下面的栅极电介质,所述栅极电介质包括大于约十八(18)的
介电常数(k)。
2.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,所述第一材料包括具有
n型金属功函数的材料。
3.如权利要求2所述的MOS器件,其特征在于,所述第二材料包括具有
p型金属功函数的材料。
4.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,所述第一材料包括具有
p型金属功函数的材料。
5.如权利要求4所述的MOS器件,其特征在于,所述第二材料包括具有
n型金属功函数的材料。
6.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括第二MOS
器件以形成互补MOS器件(CMOS),所述第二MOS器件包括:
包括所述第二材料的第三栅极;
包括所述第二材料的第四栅极;以及
位于所述第三栅极和所述第四栅极之间且包括所述第二材料的第二虚
栅极。
7.如权利要求6所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括在所述第一
MOS器件和所述第二MOS器件之间的浅沟槽隔离(STI)。
8.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,所述虚栅极位于所述栅
极电介质上并且在所述虚栅极下面不存在隔离注入区划。
9.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,所述MOS器件是基本
平面的器件。
10.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,所述MOS器件是基
于鳍的场效应晶体管(FinFET)器件。
11.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,所述MOS器件集成
在半导体管芯中。
12.如权利要求1所述的MOS器件,其特征在于,进一步包括其中集
成有所述MOS器件的设备,所述设备选自下组:机顶盒、娱乐单元、导航设
备、通信设备、固定位置数据单元、移动位置数据单元、移动电话、蜂窝
电话、计算机、便携式计算机、台式计算机、个人数字助理(PDA)、监
视器、计算机监视器、电视机、调谐器、无线电、卫星无线电、音乐播放
器、数字音乐播放器、便携式音乐播放器、数字视频播放器、视频播放器、
数字...
【专利技术属性】
技术研发人员:B·杨,X·李,P·齐达姆巴兰姆,
申请(专利权)人:高通股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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