基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，该系统用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。该系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微电子机械系统
，特别涉及一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法。
技术介绍
在微电子机械系统(即:MEMS)的微波研宄中，微波功率是表征微波信号的一个重要参数。在微波信号的产生、传输及接收各个环节的研宄中，微波功率的检测是必不可少的。常见的在线式微波功率检测系统是基于热电转换原理的耦合式微波功率检测系统，但该检测系统动态范围小、灵敏低。由于MEMS悬臂梁结构对微波功率信号更加敏感，而且MEMS悬臂梁感应微波信号产生的位移较之MEMS固支梁更大，系统测量的动态范围由悬臂梁的位移决定，因此本技术能够很好地解决上述的问题。
技术实现思路
本技术提供了一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，与传统的在线式微波功率检测系统相比，该系统大大的提高了微波功率检测的动态范围和灵敏度。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是:本技术提供了一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，该系统包括共面波导中心信号线1、悬臂梁2、测试电极3、压焊块一 4、地线5、空气桥6、测试电极传输线7、压焊块二 8、砷化镓衬底9 ;所述的砷化镓衬底9上方设有共面波导传输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，其特征在于：所述系统包括共面波导中心信号线(1)、悬臂梁(2)、测试电极(3)、压焊块一(4)、地线(5)、空气桥(6)、测试电极传输线(7)、压焊块二(8)、砷化镓衬底(9)；所述的砷化镓衬底(9)上方设有共面波导传输线，在共面波导中心信号线(1)上方设有悬臂梁(2)；悬臂梁(2)下方设有测试电极(3)，测试电极(3)通过金线连接测试电极传输线(7)；测试电极传输线(7)通过金线连接压焊块二(8)；压焊块一(4)通过金线连接悬臂梁(2)；空气桥(6)通过金线连接地线(5)；所述的共面波导传输线是由共面波导中心信号线(1)、共面波导地线(5)和空气...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王德波，何素峰，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32