一种球面面形旋转平移绝对检测方法技术

本发明专利技术公开了一种球面面形旋转平移绝对检测方法，利用被测球面旋转和平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程组，运用最小二乘法解得Zernike多项式的各项系数，从而获得被测球面和参考面的绝对面形，本方法把大数值孔径球面移相检测中存在的调整误差作为独立误差项，并把调整误差放入绝对检测过程中连同干涉仪系统误差一起在测试波面数据中去除，提高了运算精度，具有重要的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密光学测量领域，特别涉及的是一种球面绝对检测方法。
技术介绍
随着现代光学技术的发展，球面光学元件加工精度越来越高，对检测精度的要求 也越来越高，旋转平移绝对检测技术可以有效地提高检测精度，获得更准确的面形信息。 目前，球面的绝对检测方法主要有两球面法和小球平均法，平面的绝对检测主要 是三平板方法和它的延伸。三平板方法需要三块平板，并且其中一块平板需要翻面，在立式 工况下的检测中重力影响的因素无法消除。球面绝对检测的两球面方法中，猫眼中心位置 的确定偏差会导致四叶误差和球差；用小球平均方法检测曲率半径较大的参考面时误差比 较大。旋转平移方法可以检测任意曲率半径的参考面，只需要加工一个曲率半径和它相匹 配的被侧面就可以了。另外一种类似的方法一平移剪切绝对检测在实际操作的过程中因 为平移机构不可能完全理想而导致产生较大的二次项误差，包括像散和离焦。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供，把大数值孔径球面 移相检测中存在的调整误差作为独立误差项，并把调整误差放入绝对检测过程中连同干涉 仪系统误差一起在测试波面数据中去除。。 实现本专利技术目的的技术解决方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种球面面形旋转平移绝对检测方法，延光轴依次摆放干涉仪（1）、参考镜（2）和待测镜（3），其特征在于，步骤如下：定义调整误差WmisWmis=(c2-1Z2+c2-2Z22+c2-3Z23)+(c3-1Z3+c3-2Z32+c3-3Z33)+(c4Z4+c8Z8+c15Z15+c24Z24+c35Z35+c48Z48)]]>其中，c表示调整误差项中的泽尼克项的系数，Zi为对应的泽尼克项；步骤1：利用干涉仪（1）测量得到数值孔径为NA的待测镜（3）的球面的一组原始面形数据W1：W1=Wr+Σi=5KaiZi(x,y)+WOmis=Wr+Σi=5KaiZi(x,y)+(cO...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高志山，史琪琪，杨忠明，李闽珏，王新星，田雪，王帅，成金龙，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32