【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生物传感器领域，具体地，涉及一种多孔硅光子晶体生物芯片的检测 方法。
技术介绍
生物传感器是一类特殊形式的传感器，由生物分子识别元件与各类物理、化学换 能器组成，用于各种生命物质和化学物质的分析和检测。生物传感器融生物学、化学、物理 学、信息科学及相关技术于一体，已经发展成为一个十分活跃的研宄领域。 多孔硅作为基底材料用于生物检测已经被广泛的作为实验研宄和应用。多孔硅通 过电化学腐蚀的时候交替使用不同电流，可以制备出各种多孔硅多层结构，电化学腐蚀技 术配合光刻等技术还可以制备出多孔硅波导、多孔硅光栅等各种结构。无论哪种类型的多 孔硅生物传感器归根到底原理都是生物分子进入了多孔硅层的多孔结构后增大了多孔硅 层的折射率，折射率增大的多少和进入生物分子的多少有关，因此利用多孔硅层的折射率 的改变，就可以通过计算机模拟加入生物的实验。 目前报道的基于多孔硅微腔的生物传感器很多，检测方法包括：反射光谱的检测 和拉曼、荧光光谱的检测。 多孔硅是一种优良的生物材料，其比表面积大、生物亲和性好、能形成多种光子晶 体结构，在生物传感领域具有很好的应用。目...
【技术保护点】
一种多孔硅光子晶体生物芯片的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括以下步骤:S1、通过等离子体增强化学气相沉积法将Si3N4沉积在P型单晶硅上, 用标准的光刻工艺制备出8*8的微阵列器件;S2、在黑暗和常温环境下对所述微阵列器件进行电化学腐蚀, 所述电化学腐蚀完成后，所述微阵列器件中每个圆形单元为多孔硅微腔;S3、将所述多孔微腔连接至所述微阵列器件的表面光学特性的检测光路;S4、所述检测光路测量所述微阵列器件表面的反射率，然后将所述反射率的变化转变成数字图像中对应区域亮度的变化，分析所述对应区域亮度变化所对应的数字图像的灰度级，检测到高灵敏度的折射率。
【技术特征摘要】
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