颗粒吸附探头制造技术

本发明专利技术提供一种新型的颗粒吸附探头(1000)，其为吸附并拾取颗粒的颗粒吸附探头(1000)，在拾取颗粒时不需要施加物理应力，颗粒的拾取时不会污染异物表面，能够从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特定粒径的颗粒，能够在拾取颗粒后直接在分析装置内进行分析评价。本发明专利技术的颗粒吸附探头(1000)具有具备多个碳纳米管(10)的碳纳米管集合体(100)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种新型的颗粒吸附探头(1000)，其为吸附并拾取颗粒的颗粒吸附探头(1000)，在拾取颗粒时不需要施加物理应力，颗粒的拾取时不会污染异物表面，能够从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特定粒径的颗粒，能够在拾取颗粒后直接在分析装置内进行分析评价。本专利技术的颗粒吸附探头(1000)具有具备多个碳纳米管(10)的碳纳米管集合体(100)。【专利说明】颗粒吸附探头
本专利技术涉及颗粒吸附探头。详细而言，涉及例如适合在分析用途等中，为了拾取 分散存在于分析对象物表面的微粒，运入分析装置内进行分析评价等而使用的颗粒吸附探 头。
技术介绍
通过对分散存在于部件表面的异物的组成和形状等进行分析评价，了解该部件的 制造工艺中该异物的混入途径等，对于提供没有异物的清洁的部件而言是至关重要的。 作为对分散存在于部件表面的异物的组成和形状进行评价的装置，通常使用将钨 探头或切刀（micro knife)用作取样工具的颗粒吸附探头。通过使用这种颗粒吸附探头， 利用上述取样工具拾取分散存在于部件表面的异物并运入分析装置内，对该异物的组成和 形状等进行分析评价（例如，参照专利文献1)。 但是，在将钨探头或切刀用作取样工具的颗粒吸附探头中，为了拾取异物，需要施 加将取样工具刺进异物等的物理应力。在施加了这种物理应力时，会出现表面被覆材料脱 落或表面凹凸、层构造的变化等，产生表面的自然的结构、组成观察困难等问题。 另一方面，为了不施加物理应力地拾取异物，在使用糊剂等粘接剂或双面胶带等 粘合剂作为取样工具时，存在由于它们所含的有机成分导致异物表面被污染、不能进行该 异物的准确的分析评价的问题。另外，使用如上所述的粘接剂或粘合剂作为取样工具的情 况下，难以从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特定粒径的颗粒。 另外，在将使用现有的颗粒吸附探头拾取的异物运入分析装置内进行分析评价 时，运入分析装置内的该异物在分析评价时需要重新用糊剂等固定，工序繁琐。 在先技术文献 专利文献1 :日本特开2008 - 52232号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题 本专利技术的课题在于提供一种新型的颗粒吸附探头，用于吸附并拾取颗粒，在拾取 颗粒时不需要施加物理应力，在颗粒拾取时不会污染异物表面，能够从粒径分布宽的颗粒 群中选择性地拾取特定粒径的颗粒，能够在拾取颗粒后直接在分析装置内进行分析评价。 用于解决课题的技术方案 本专利技术的颗粒吸附探头具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。 在优选的实施方式中，本专利技术的颗粒吸附探头在轴状基材上设有上述碳纳米管集 合体。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多层，该碳纳米管的层数分布的分布幅 度为10层以上，该层数分布的最频值的相对频率为25%以下。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多层，该碳纳米管的层数分布的最频值 存在于层数10层以下，该最频值的相对频率为30%以上。 在优选的实施方式中，本专利技术的颗粒吸附探头选择性地吸附直径为200μπι以下 的颗粒。 专利技术效果 根据本专利技术，能够提供一种新型的颗粒吸附探头，用于吸附并拾取颗粒，在拾取颗 粒时不需要施加物理应力，在颗粒的拾取时不会污染异物表面，能够从粒径分布宽的颗粒 群中选择性地拾取特定粒径的颗粒，能够在拾取颗粒后直接在分析装置内进行分析评价。 【专利附图】【附图说明】 图1是本专利技术优选的实施方式中颗粒吸附探头的一个示例的截面示意图。 图2是本专利技术优选的实施方式中颗粒吸附探头的另一个示例的截面示意图。 图3是本专利技术优选的实施方式中纳米压入仪用试料固定部件包括碳纳米管集合 体时的该碳纳米管集合体的制造装置的截面示意图。 图4是表示实施例3中得到的颗粒吸附探头上吸附有颗粒的状态的扫描型电子显 微镜（SEM)的照片图。 【具体实施方式】 《颗粒吸附探头》 本专利技术的颗粒吸附探头具有碳纳米管集合体，该碳纳米管集合体具备多个碳纳米 管。本专利技术的颗粒吸附探头，优选至少在前端部分具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合 体。本专利技术的颗粒吸附探头通过具有这种碳纳米管集合体，在拾取颗粒时不需要施加物理 应力，在颗粒的拾取时不会污染异物表面，能够从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特 定粒径的颗粒，能够在拾取颗粒后直接在分析装置内进行分析评价。 本专利技术的颗粒吸附探头例如可以为仅由具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体构 成的结构，也可以为在轴状基材上设有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体的结构。在此， 轴状基材是指制成轴形状的基材，有时也可以称为例如轴、支柱、金属柱等。 图1是本专利技术优选的实施方式中颗粒吸附探头的一个示例的截面示意图。在图1 中，本专利技术的颗粒吸附探头1000仅由具有多个碳纳米管10的碳纳米管集合体100构成。在 图1中，多个碳纳米管10分别在长度L的方向上取向，构成束状的碳纳米管集合体100。 图2是本专利技术优选的实施方式中颗粒吸附探头的另一个示例的截面示意图。在图 2中，本专利技术的颗粒吸附探头1000在轴状基材20上设有具备多个碳纳米管10的碳纳米管 集合体100。在图2中，多个碳纳米管10分别在长度L的方向上取向，构成束状的碳纳米管 集合体100。在图2中，多个碳纳米管10的一端IOa固定于轴状基材20。如图2所示，优 选多个碳纳米管10在相对于轴状基材20基本垂直的方向上取向。在此，所谓"基本垂直的 方向"是指相对于轴状基材20的截面侧表面20a的角度优选在90° ±20°的范围内，更优 选在90° ±15°的范围内，进一步优选在90° ±10°的范围内，特别优选在90° ±5°的 范围内。 本专利技术的颗粒吸附探头能够从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特定粒径的 颗粒，优选选择性地吸附直径为200 μ m以下的颗粒。 在本专利技术的颗粒吸附探头中，碳纳米管集合体100的长度优选为0. Iym? 5000 μ m，更优选1 μ m?2000 μ m，进一步优选10 μ m?1000 μ m，特别优选30 μ m?500 μ m。 通过使碳纳米管集合体100的长度处于上述范围内，本专利技术的颗粒吸附探头能够从粒径分 布宽的颗粒群中进一步选择性地拾取特定粒径的颗粒，减轻了塑性变形，因此能够稳定地 保持所拾取的颗粒。另外，通过使碳纳米管集合体100的直径处于上述范围内，优选选择性 地吸附直径为200 μ m以下的颗粒。 在本专利技术的颗粒吸附探头中，碳纳米管集合体100的直径优选为0. Iym? 2000 μ m，更优选1 μ m?1000 μ m，进一步优选10 μ m?500 μ m，特别优选20 μ m?300 μ m。 通过使碳纳米管集合体100的直径处于上述范围内，本专利技术的颗粒吸附探头能够从粒径分 布宽的颗粒群中进一步选择性地拾取特定粒径的颗粒，减轻了塑性变形，因此能够稳定地 保持所拾取的颗粒。另外，通过使碳纳米管集合体100的直径处于上述范围内，优选选择性 地吸附直径为200 μ m以下的颗粒。 在本专利技术的颗粒吸附探头中，作为碳纳米管的形状，其横截面可以具有任意适当 的形状。例如，其横截面可以列举大致圆形、椭圆形、η边形（η本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颗粒吸附探头，其特征在于：具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：前野洋平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP