热流传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种热流传感器(WFS)及其应用，所述热流传感器应当具有尽可能小的侵入性，并且仍然足够结实，以满足各种应用的要求。在此，热流传感器包括有源传感器元件，该传感器元件在冷侧上和在热侧上设有高导热能力的导热元件(8、9)，其中，该传感器元件(1)被极薄的、电绝缘性强的、化学惰性的、并且附着性强的保护层(6)覆盖或被所述保护层包围。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术设及一种热流传感器（WF巧及其应用。
技术介绍
热流传感器测量在每个时间单元中从较热侧流向较冷侧的热能（热功率、热流）。 在应用中，平坦的WS根据需要被安装到目标上，或被集成到目标中。例如在VANDER GRAAF中有集成和应用示例。通过产生取决于流经传感器的面的热流大小的电压，来测量热 流（量）。WFS是公知的，并已经在工业上使用，例如化kseflux、Sequoia、Captec等名称 (Bezeichnung，品牌）。 此外，热流传感器还在建筑工程技术中用于测量壁的隔热性能，或在量热学中用 于测量化学反应能量或用于测量电磁福射的能量。 根据现有技术的热流传感器可被分成=种不同的类型。厚热流传感器（最薄 的位置的厚度> 1mm)，利用互补金属氧化物半导体（CM0巧技术制造的小型热流传感器， W及总厚度< 1mm的薄热流传感器。厚热流传感器（> 1mm)由于其结构和其保护套， 在采用0. 4W/m/K的导热能力时具有非常高的30cm2*K/W至数个100cm2*K/W的垂直于面 (t化chennormierten.)的热阻。由于该热阻影响或本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热流传感器，包括有源传感器元件，所述传感器元件在冷侧上和在热侧上分别设有高导热能力的导热元件(8、9)，其特征在于，所述传感器元件(1)被极薄的、电绝缘性强的、化学惰性的、并且附着性强的保护层(6)覆盖或被所述保护层包围，并由此具有低侵入性。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：L·杜勒尔，T·赫博翎，E·施威特尔，W·格拉茨，P·施泰因，
申请(专利权)人：格林泰戈股份有限公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH