生物分子测量装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种生物分子测量装置。
技术介绍
近年来，利用了半导体技术的生物分子测量装置正在被关注。在下述专利文献I中，记载了通过使用半导体技术制成的PH传感器阵列低成本、高速地决定脱氧核糖核酸(DNA)的碱基序列的DNA定序器。半导体传感器根据电信号的强弱对成为对象的生物物质的反应进行定量，因此不需要目前那样的昂贵的荧光试剂，在成本方面是有利的。另外，能够通过半导体的微细加工技术集成超过数百万到10亿个传感器，能够使各传感器并行动作来执行测定，因此测定的吞吐量也容易提高。作为在生物分子测量装置的领域中特别经常使用的半导体传感器，有离子敏场效应晶体管(1n Sensitive Field Effect Transistor:1SFET)。将在后面详细说明，ISFET是指测定在离子感应膜上感应的界面电位的器件。因此，如果在器件中存在由测定对象的离子产生的电荷以外的电荷，则成为测定误差的因素。但是，在半导体工艺中，在器件制造时执行等离子体加工、离子注入，因此存在容易在器件中积蓄电荷的问题。与该问题相关联，在下述非专利文献I中，特别记载了在离子感应膜、保护膜...
【技术保护点】
一种生物分子测量装置，其特征在于，具备：送液装置，其送出与生物分子试样进行化学反应而生成离子的试剂；半导体传感器，其测定上述离子的浓度；触发生成部，其生成引起上述化学反应的物理环境；控制器，其控制上述送液装置和上述触发生成部的动作；处理装置，其根据上述半导体传感器的测定结果确定上述生物分子试样的构成，上述控制器控制上述送液装置和上述触发生成部，以便在上述送液装置开始向配置在上述半导体传感器上的上述生物分子试样上送出上述试剂后，上述触发生成部产生上述物理环境。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：柳川善光，横井崇秀，板桥直志，河原尊之，右高园子，吉田真希子，村松高道，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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