弹性波装置以及滤波器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种弹性波装置，在压电基板上电容电极与IDT电极连接的构成中，能够提高基于电容电极的电容元件的Q值。弹性波装置(1)在压电基板(2)上配置有IDT电极(3)、和与IDT电极(3)电连接的电容电极(6)，电容电极(6)具有第1梳齿电极(6a)和第2梳齿电极(6b)，第1、第2梳齿电极(6a、6b)被构成为：在至少一部分的频带，使电容电极(6)的至少一部分被激励的弹性波与其他部分的至少一部分被激励的弹性波相抵消。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及电容电极与IDT电极电连接的弹性波装置以及具有该弹性波装置的梯型滤波器。
技术介绍
以往，已知各种利用了弹性表面波、弹性边界波的各式各样的弹性波装置。例如在下述的专利文献I中，公开了一种在压电基板上构成有弹性表面波谐振器以及电容电极的弹性表面波装置。在该弹性表面波装置中，在压电基板上形成有包括比Al重的金属的IDT电极。在IDT电极的两侧设置有反射器，由此来构成弹性表面波谐振器。此外，按照与该弹性表面波谐振器并联连接的方式设置有电容电极。这里，电容电极构成为包括具有相互插合的多根电极指的第1、第2梳齿电极。也就是说，第I梳齿电极的电极指与第2梳齿电极的电极指在与这些电极指延伸的方向正交的方向上被交替地配置。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005-260833号公报
技术实现思路
技术要解决的课题在专利文献I所记载的弹性表面波装置中，由电容电极构成的电容元件的电导大。也就是Q值低。因此，若使用这种弹性表面波装置来构成带通滤波器，则有可能导致插入损耗恶化、或者滤波器特性的陡峭性恶化。本技术的目的在于提供一种弹性波装置，该弹性波装置在压电基板上构成有与IDT电极电连接的电容电极，且能够提高由电容电极构成的电容元件的Q值。用于解决课题的手段本技术所涉及的弹性波装置具备:压电基板；IDT电极，其被配置在所述压电基板上，且具有多个电极指；和电容电极，其被配置在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接。在本技术中，所述电容电极包括:具有多根电极指的第I梳齿电极、和具有多根电极指的第2梳齿电极，第I梳齿电极的多根电极指与第2梳齿电极的多根电极指插合。在本技术中，第I梳齿电极和第2梳齿电极被构成为:在至少一部分的频带，使所述电容电极的至少一部分被激励的弹性波与该电容电极的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波相抵消。在本技术所涉及的弹性波装置的某一特定的方面，在与所述电容电极的电极指延伸的方向正交的方向的至少一部分，在所述第I梳齿电极以及第2梳齿电极当中的至少一个梳齿电极中被配置为至少两根电极指在弹性波传播方向上连续。在该情况下，能够更有效地抑制内部反射所引起的谐振。在本技术所涉及的弹性波装置的另一特定的方面，在与所述电容电极的多根电极指延伸的方向正交的方向上，所述第I梳齿电极的两根电极指与所述第2梳齿电极的两根电极指被交替地配置。在该情况下，由所谓的双电极来构成电容电极。因此，能够更有效地相抵弹性波的内部反射。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，在所述第I梳齿电极以及第2梳齿电极的两根电极指中，该两根电极指的各自的宽度为λ /8，该两根电极指之间的间隙为λ/8。因此，能够更有效地相抵弹性波的内部反射。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述IDT电极中的所述电极指延伸的方向与构成所述电容电极的所述第I梳齿电极以及第2梳齿电极的所述电极指延伸的方向被设为不同的方向。在该情况下，若增大设有IDT电极的部分中的机电親合系数，则能够减小电容电极中的机电耦合系数。因此，能够减小在电容电极产生的弹性波的能量。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述IDT电极的电极指延伸的方向与所述电容电极中的第I梳齿电极和第2梳齿电极的电极指延伸的方向相正交。在该情况下，能够进一步减小电容电极中的机电耦合系数。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述第I梳齿电极和第2梳齿电极的电极指的宽度以及被连接在不同电位的电极指之间的间隙当中的至少一方，与所述IDT电极中的电极指的宽度以及被连接在不同电位的电极指之间的间隙当中的至少一方不同。在该情况下，通频带内的不必要的谐振的波峰更加难以产生。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，在所述电容电极内的多根电极指中，至少一部分的电极指的线宽以及相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方，与其他的电极指的线宽以及其他的相邻的电极指之间的间隙当中的至少一方不同。在该情况下，不必要的谐振的频率分离为多个，能够减小不必要的谐振的波峰强度。在本技术所涉及的滤波器装置的某一特定的方面，提供一种具有包括多个弹性波装置的多个谐振器的梯型滤波器，这里，至少一个谐振器包括根据本技术而构成的弹性波装置。在本技术所涉及的滤波器装置的又一特定的方面，所述弹性波装置的IDT电极构成了所述梯型滤波器的并联臂谐振器，所述电容电极与该并联臂谐振器并联电连接。在该情况下，能够减小并联臂谐振器的相对频带，并且能够提高通频带低频侧的陡峭性。在本技术所涉及的滤波器装置的又一特定的方面，所述弹性波装置的IDT电极构成了所述梯型滤波器的串联臂谐振器，所述电容电极与该串联臂谐振器并联电连接。在该情况下，能够减小串联臂谐振器的相对频带，并且能够提高通频带低频侧的陡峭性。根据本技术所涉及的滤波器装置的另一方面，提供一种滤波器装置，具有:纵耦合谐振器型弹性波滤波器；和弹性波谐振器，其与该纵耦合谐振器型弹性波滤波器连接，所述弹性波谐振器由根据本技术而构成的弹性波装置的所述IDT电极来构成。在该情况下，能够容易地调整纵耦合谐振器型弹性波滤波器的特性。特别地，在所述电容电极与所述弹性波谐振器并联连接的情况下，能够减小弹性波谐振器的相对频带，并且能够有效地提高滤波器装置整体的通频带低频侧的陡峭性。本技术的另一方面所涉及的弹性波装置，具备:压电基板；IDT电极，其被配置在所述压电基板上，且具有多个电极指；和电容电极，其被配置在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接，所述电容电极包括:具有多根电极指的第I梳齿电极、和具有多根电极指的第2梳齿电极，第I梳齿电极的多根电极指与第2梳齿电极的多根电极指插合，第I梳齿电极和第2梳齿电极被构成为:在至少一部分的频带，使所述电容电极的至少一部分被激励的弹性波与该电容电极的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波相抵消，所述电容电极被形成为使电极指之间的间隙以及电极指对之间的间隙在弹性波传播方向上不一样。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述电容电极被形成为取决于所述电极指对之间的间隙而产生的弹性波的频率分布被分散。在本技术所涉及的弹性波装置的又一特定的方面，所述电容电极是所述电极指对之间的间隙被随机设定的随机电极型的电容电极。技术效果根据本技术所涉及的弹性波装置，在与IDT电极电连接的电容电极中，由于第1、第2梳齿电极如上所述那样构成，因此能够有效地抑制在向电容电极施加电压的情况下产生的弹性波在电容电极内的内部反射。因而，能够提高由电容电极构成的电容元件的【附图说明】图1(a)是本技术的一实施方式所涉及的弹性波装置的示意性俯视图，图1(b)是表示在一实施方式中使用的电容电极的俯视图。图2是具备本技术的一实施方式的弹性波装置的滤波器装置的电路图。图3是表示在实施方式中使用的电容电极与比较例的电容电极当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，其中，具备：压电基板；IDT电极，其被配置在所述压电基板上，且具有多个电极指；和电容电极，其被配置在所述压电基板上，且与所述IDT电极电连接，所述电容电极包括：具有多根电极指的第1梳齿电极、和具有多根电极指的第2梳齿电极，第1梳齿电极的多根电极指与第2梳齿电极的多根电极指插合，第1梳齿电极和第2梳齿电极被构成为：在至少一部分的频带，使所述电容电极的至少一部分被激励的弹性波与该电容电极的其他部分中的至少一部分被激励的弹性波相抵消，在与所述电容电极的电极指延伸的方向正交的方向的至少一部分，在所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极当中的至少一个梳齿电极中被配置为至少两根电极指在弹性波传播方向上连续，在与所述电容电极的多根电极指延伸的方向正交的方向上，所述第1梳齿电极的两根电极指与所述第2梳齿电极的两根电极指被交替地配置，在所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极的两根电极指中，该两根电极指的各自的宽度为λ/8，该两根电极指之间的间隙为λ/8，所述IDT电极中的所述电极指延伸的方向与构成所述电容电极的所述第1梳齿电极以及第2梳齿电极的所述电极指延伸的方向被设为不同的方向。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三宅高志，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP