【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种沉积土豪金膜层的设备,其特征是:包括一个密封的真空腔体,在该真空腔体内设有一个圆环形的转架,在该转架上等距排列有若干个工件,在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管,在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔,凸腔内设置有设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管,在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔,在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杜旭颖,阮志明,王大洪,曾德强,庞文峰,
申请(专利权)人:深圳市正和忠信股份有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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