本实用新型专利技术涉及一种OLED屏体解析用显微装置，包括具有镂空的载物台、彼此独立的分置于载物台两侧的第一成像系统和第二成像系统，其中第一成像系统包括第一物镜和置于第一物镜的光学路径上的第一图像传感单元，第二成像系统包括第二物镜和置于第二物镜的光学路径上的第二图像传感单元，第一物镜与第二物镜共轴设置，分置于载物台两侧，且第一物镜与第二物镜之间由于所述镂空无遮挡，OLED屏体解析用显微装置还包括分别与第一图像传感单元和第二图像传感单元连接的显示器。两套成像系统的两个物镜之间无遮挡，且两个物镜共轴设置，从而能同时从两侧对屏体的同一位置进行观察，从而显著提高解析效率，缩短异常反馈时间，降低生产成本。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种观察OLED屏体上TFT是否异常的OLED屏体解析用显微装置。
技术介绍
为了观察OLED屏体上某个不良点其背面相同位置的TFT是否异常，常用的不良解析手法为在不良点的背面使用mark笔标记，然后再放到显微镜下寻找；然而通常的缺陷大小可能是几个微米，而mark笔的标记误差一般大于2000微米，因此效率很低且误差较大。虽然金相显微镜是一种已经很成熟的技术，但是鉴于OLED屏体自发光的特点，没有专用的显微镜技术可同时观察OLED屏体发光侧和背光侧，从而导致不良解析的过程效率低下，误差较大。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种不良解析时可在显微镜下同时观察OLED屏体同一位置的两侧的显微装置。一种OLED屏体解析用显微装置，包括具有镂空的载物台、彼此独立的分置于所述载物台两侧的第一成像系统和第二成像系统，其中所述第一成像系统包括第一物镜和置于所述第一物镜的光学路径上的第一图像传感单元，所述第二成像系统包括第二物镜和置于所述第二物镜的光学路径上的第二图像传感单元，第一物镜与第二物镜共轴设置，分置于所述载物台两侧，且第一物镜与第二物镜之间由于所述镂空无遮挡，所述OLED屏体解析用显微装置还包括分别与所述第一图像传感单元和第二图像传感单元连接的显示器。上述OLED屏体解析用显微装置，载物台两侧分别设置独立的成像系统，两套成像系统的两个物镜之间无遮挡，且两个物镜共轴设置，从而能同时从两侧对屏体的同一位置进行观察，从而显著提高解析效率，缩短异常反馈时间，降低生产成本。在其中一个实施例中，所述第一成像系统具有第一光学单元，所述第一光学单元包括第一照明光源和UV光源；所述第二成像系统具有第二光学单元，所述第二光学单元包括第二照明光源。在其中一个实施例中，所述第一照明光源为卤素灯或LED灯，所述UV光源为汞灯。在其中一个实施例中，所述第一光学单元还包括控制所述第一照明光源与UV光源的开启与切换的光源切换装置。在其中一个实施例中，所述第二照明光源为卤素灯或LED灯。 在其中一个实施例中，所述第一图像传感单元和第二图像传感单元均通过数据线与所述显示器连接。在其中一个实施例中，所述第一成像系统还包括与第一物镜之间具有光学路径的第一目镜，所述第二成像系统还包括与第二物镜之间具有光学路径的第二目镜。在其中一个实施例中，所述OLED屏体解析用显微装置还包括支架，所述载物台安装于所述支架上且所述载物台可以沿X、Y及Z轴方向移动。【附图说明】图1为本技术的OLED屏体解析用显微装置的系统组成图。【具体实施方式】为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。下面结合附图，说明本技术的较佳实施方式。请参考图1，本技术的OLED屏体解析用显微装置100，包括支架110、安装于支架110上的载物台120、分置于载物台120两侧的第一成像系统和第二成像系统。进行OLED屏体不良解析时，第一成像系统和第二成像系统可分别从OLED屏体的两侧对同一位置进行观察。下面详细描述。支架110用来支撑载物台120，其亦作为第一成像系统和第二成像系统的支架。如此，OLED屏体解析用显微装置100可构成一个整体性的装置，能够根据需要方便地转移作业地点。载物台120安装于支架110上，且能够沿X、Y及Z轴方向移动。沿Χ、Υ轴移动，能够方便对OLED屏体上的不同位置进行检测。沿Z轴移动，则可以方便第一成像系统的物镜和第二成像系统的物镜的焦距的调节。载物台120上设有镂空122。当OLED屏体放置于载物台120上，使需要观察的部位位于镂空122上方。第一成像系统和第二成像系统彼此独立。即二者拥有各自独立的光源和镜头，且可实现独立控制，不依赖于对方的变化即可对OLED屏体独立地进行观察。第一成像系统包括第一物镜132和第一光学单元134。第二成像系统包括第二物镜142和第二光学单元144。第一物镜132和第二物镜142分置于载物台120两侧，二者之间借助镂空122无遮挡，且第一物镜132和第二物镜142共轴设置。即第一物镜132的中心到其焦点的连线，与第二物镜142的中心到其焦点的连线是重合的。如此，进行OLED屏体不良解析时，第一物镜132和第二物镜142能够从正反两侧对OLED屏体的同一位置进行观察。第一成像系统还配置有置于第一物镜132的光学路径上的第一图像传感单元138。第二成像系统还配置有置于第二物镜142的光学路径上的第二图像传感单元148。OLED屏体解析用显微装置100还包括显示器150。显示器150分别与第一图像传感单元138和第二图像传感单元148连接。例如可以采用高速数据传输线160将第一图像传感单元138和第二图像传感单元148分别连接到显示器150。进行OLED屏体不良解析时，利用第一物镜132和第二物当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种OLED屏体解析用显微装置，其特征在于，包括具有镂空的载物台、彼此独立的分置于所述载物台两侧的第一成像系统和第二成像系统，其中所述第一成像系统包括第一物镜和置于所述第一物镜的光学路径上的第一图像传感单元，所述第二成像系统包括第二物镜和置于所述第二物镜的光学路径上的第二图像传感单元，第一物镜与第二物镜共轴设置，分置于所述载物台两侧，且第一物镜与第二物镜之间由于所述镂空无遮挡，所述OLED屏体解析用显微装置还包括分别与所述第一图像传感单元和第二图像传感单元连接的显示器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙飞，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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