一种多通道闸板阀制造技术

技术编号:11850574 阅读:56 留言:0更新日期:2015-08-07 19:21
本实用新型专利技术涉及高真空或超高真空环境中使用的闸板阀,具体地说是一种多通道闸板阀,包括压片、隔离板、一维驱动器及滑片,隔离板位于真空腔体上,压片安装在隔离板上,滑片容置于压片与隔离板之间,在滑片上沿移动方向均布有多个通孔,隔离板上沿滑片的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔;滑片与安装在真空腔体上的一维驱动器相连、通过一维驱动器的驱动往复移动,通过滑片的移动,滑片上任一通孔与隔离板上排序相同的连接孔相连通的同时,隔离板上其他连接孔被滑片遮挡,实现隔离板两边不同真空腔室之间的连通。本实用新型专利技术结构简单,实用,具有多通道,可以分别单独使用,也可以全部通道都关闭。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及高真空或超高真空环境中使用的闸板阀,具体地说是一种多通道闸板阀
技术介绍
在高真空或是超高真空环境中常常用到闸板阀,用于控制高真空部分和粗真空部分的联系。尤其是在两个真空腔体的连接处,如果其中一个真空腔体经常要接触大气用以更换一些易损的零件,而另外一个真空腔体希望一直维持在超高真空,这时候闸板阀就显得必不可少了。目前,市面上有各种不同种类的闸板阀销售,但是多数价格昂贵,体积庞大,在一些紧凑型的仪器上边常常对于设计就很困难。
技术实现思路
为了解决现有闸板阀存在的上述问题,本技术的目的在于提供一种多通道闸板阀。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本技术包括压片、隔离板、一维驱动器及滑片,其中隔离板位于真空腔体上,所述压片安装在该隔离板上,所述滑片容置于压片与隔离板之间,在该滑片上沿移动方向均布有多个通孔,所述隔离板上沿滑片的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔;所述滑片与安装在所述真空腔体上的一维驱动器相连、通过该一维驱动器的驱动往复移动,通过所述滑片的移动,该滑片上任一通孔与所述隔离板上排序相同的所述连接孔相连通的同时,该隔离板上其他连接孔被所述滑片遮挡,实现所述隔离板两边不同真空腔室之间的连通。其中:所述隔离板上设有凹槽A,所述压片上设有凹槽B,并在该压片的上表面开有与所述凹槽B相连通的条形孔;所述滑片的下部容置于凹槽A中,上部容置于所述凹槽B中,所述滑片上的各通孔均位于该条形孔内;所述凹槽A及凹槽B均沿滑片的移动方向开设,即沿所述隔离板、压片的长度方向开设,并且,所述凹槽A与凹槽B长度方向的中心线共线;所述滑片上通孔的个数与所述隔离板上连接孔的个数相等;所述隔离板上各连接孔外围均开有密封圈槽,每个所述密封圈槽内均容置有密封圈;所述滑片靠近一维驱动器的一端设有连接座,该连接座与所述一维驱动器的连接杆相连。本技术的优点与积极效果为:1.本技术结构简单,实用,具有多通道,可以分别单独使用,也可以全部通道都关闭。2.本技术尺寸比较灵活,可以很容易更改,并且特别小巧,占地方很小,在对空间要求比较严格的地方效果特别好。3.本技术的滑片下方容置在隔离板上开设的凹槽A中,凹槽A起了一个约束的作用,保证滑片固定在这样一个空间里,而不会到处乱窜,保证滑动的稳定性。【附图说明】图1为本技术的立体结构示意图;图2为本技术的爆炸图;图3为本技术的结构主视图;图4为图3中的A—A剖面图;图5为图3中的C—C剖面图;其中为压片,2为连接杆,3为隔离板,4为密封圈,5为一维驱动器,6为滑片,7为凹槽A,8为连接孔A,9为连接孔B,10为通孔A,11为通孔B,12为凹槽B,13为条形孔,14为刀口法兰,15为连接座。【具体实施方式】下面结合附图对本技术作进一步详述。如图1?5所示,本技术包括压片1、隔离板3、一维驱动器5及滑片6,其中隔离板3固定在真空腔体上,在隔离板3上沿长度方向开有凹槽A7,该凹槽A7内沿长度方向均布有多个连接孔。压片I通过螺钉固接在隔离板3上,该压片I的下表面开有凹槽B12,上表面沿压片I的长度方向开有与凹槽B12相连通的条形孔13。滑片6容置于压片I与隔离板3之间。滑片6端面呈等腰梯形,梯形的上底及下底均呈矩形。相应地,隔离板3上的凹槽A7为矩形槽,压片I上的凹槽B12的两侧为与梯形的滑片6两个腰相对应的斜面。滑片6的下部容置于凹槽A7内,中间部分容置于凹槽B12内,上部则容置于条形孔13内,且滑片6的上表面位于压片I上表面的下方。本技术的一维驱动器5为市购产品,购置于科特莱思科(上海)商贸有限公司。该一维驱动器5通过刀口法兰14固定在真空腔体上,输出端设有连接杆2。滑片6靠近一维驱动器5的一端设有连接座15,该连接座15与连接杆2相插接,并通过螺钉固定。滑片6通过一维驱动器5的驱动在凹槽A7、凹槽B12及条形孔13形成的空间内往复移动,移动方向即为压片1、隔离板3的长度方向;并且,凹槽A7、凹槽B12及条形孔13长度方向的中心线共线。隔离板3上的凹槽A7内沿滑片6的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔,滑片6上沿移动方向均布有多个通孔,滑片6上通孔的个数与隔离板3上连接孔的个数相等,但孔距不同。滑片6上通孔的设置要保证,当滑片6上第一个通孔与隔离板3上排序相同的第一个连接孔相连通(即第一个通孔与第一个连接孔同轴)时,滑片6上其他的通孔及隔离板3上其他的连接孔均是关闭状态,即滑片6上其他的通孔被隔离板3遮挡,而隔离板3上其他的连接孔被滑片6遮挡;以此类推,第二个通孔与第二连接孔相连通时,其他的通孔与连接孔处于关闭状态,使隔离板3两边的联系建立起来(即实现隔离板3两边不同真空腔室之间的连通)。隔离板3上各连接孔外围均开有密封圈槽,每个密封圈槽内均容置有密封圈4,滑片6压在各密封圈4的上面,使得滑片6可以稳定顺畅在在凹槽A7中滑动。本技术的工作原理为:以双通道闸板阀为例,本实施例是在隔离板3上分别开设了连接孔AS及连接孔B9,连接孔AS与连接孔B9的圆心均位于隔离板3长度方向的中心线上;滑片6上分别开设了通孔AlO及通孔B11,通孔AlO与通孔Bll的圆心均位于滑片6长度方向的中心线上。滑片6上通孔AlO与通孔Bll的孔距与隔离板3上连接孔AS与连接孔B9的孔距不同。在一维驱动器5的驱动下,当滑片6滑动至图3中A— A剖的位置时(即滑片6滑动到通孔AlO与连接孔AS同轴时),使得隔离板3两边的联系建立起来了,而通孔Bll与连接孔B9处于关闭状态;因为滑片6上两个通孔的距离跟隔离板3上两个连接孔的距离不同,一次其中一对孔对齐的时候,另一对孔则被关闭。当滑片6滑动至图3中A— A部和C一C剖位置中间时,滑片6上的两个通孔及隔离板3上的两个连接孔都将被关闭。滑片6继续下滑,当滑片6滑动至图3中C一C剖的位置时(即滑片6滑动到通孔Bll与连接孔B9同轴时),通孔AlO与连接孔AS则被关闭。通过这样的方式,实现了一个双通道闸板阀的功能,两个位置可以独立开启并且可以完全关闭,实现了两个不同真空腔室的通断联系。本技术滑片6的材料为黄铜,其他部件的材料均为不锈钢。原因是由于滑动面以及凹槽B12与滑片6之间的梯形两腰接触面需要足够的光洁度以保证滑片6可以在隔离板3的凹槽A7里顺畅地滑动。如果用的是同一种材料,有可能会粘到一起。隔离板3上的凹槽A7起了一个约束的作用,保证滑片6固定在这样一个空间里,而不会到处乱窜,保证滑动的稳定性。【主权项】1.一种多通道闸板阀,其特征在于:包括压片(1)、隔离板(3)、一维驱动器(5)及滑片(6),其中隔离板(3)位于真空腔体上,所述压片⑴安装在该隔离板(3)上,所述滑片(6)容置于压片(I)与隔离板(3)之间,在该滑片(6)上沿移动方向均布有多个通孔,所述隔离板(3)上沿滑片(6)的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔;所述滑片(6)与安装在所述真空腔体上的一维驱动器(5)相连、通过该一维驱动器(5)的驱动往复移动,通过所述滑片(6)的移动,该滑片(6)上任一通孔与所述隔离板(3)上排序相同的所述连接孔相连通的同时,该隔离板(3)上其他连接孔被所述滑片(6)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多通道闸板阀,其特征在于:包括压片(1)、隔离板(3)、一维驱动器(5)及滑片(6),其中隔离板(3)位于真空腔体上,所述压片(1)安装在该隔离板(3)上,所述滑片(6)容置于压片(1)与隔离板(3)之间,在该滑片(6)上沿移动方向均布有多个通孔,所述隔离板(3)上沿滑片(6)的移动方向均布有多个用于联系其他真空腔体的连接孔;所述滑片(6)与安装在所述真空腔体上的一维驱动器(5)相连、通过该一维驱动器(5)的驱动往复移动,通过所述滑片(6)的移动,该滑片(6)上任一通孔与所述隔离板(3)上排序相同的所述连接孔相连通的同时,该隔离板(3)上其他连接孔被所述滑片(6)遮挡,实现所述隔离板(3)两边不同真空腔室之间的连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈骏张建阳杨学明
申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
类型:新型
国别省市:辽宁;21

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