触摸屏面板及其制造方法技术

本发明专利技术公开一种触摸屏面板及其制造方法。在一个方面中，该触摸屏面板包括：基板，具有触摸区域和围绕触摸区域的外围区域；以及多个第一触摸电极图案，形成在触摸区域中，在第一方向上延伸，并且被配置成传送第一触摸信号。该触摸屏面板还包括：多个第二触摸电极图案，形成在触摸区域中，在与第一方向交叉的第二方向上延伸，并且被配置成传送第二触摸信号；以及多个第一驱动电路布线，形成在外围区域中，并且分别电连接到第一触摸电极图案。第一驱动电路布线包括低阻布线层。

【技术实现步骤摘要】

所描述的技术总体涉及。
技术介绍
触摸屏面板被用作用于平板显示器诸如液晶显示器（IXD)、有机发光二极管 (0LED)显示器等等的输入装置。取决于所采用的感测技术，触摸屏面板可被分为电阻触摸 屏面板和电容触摸屏面板。在电阻触摸屏面板中，电极被形成在上板或者下板上，触摸位置 基于当直流（DC)电压被施加到电极时的电阻而由电压梯度（gradient)来确定。在电容触 摸屏面板中，等电位被形成在导电膜上，触摸位置在上板或者下板的电压的变化由于触摸 输入操作而出现时被确定。
技术实现思路
-个专利技术方面是一种，其能够选择性地蚀刻连接线而不 损坏第一和第二触摸电极图案以及能够提高驱动电路布线的导电性。 另一方面是一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括：基板，具有触摸区域和围绕触摸 区域的外围区域；第一触摸电极图案，在第一方向上形成在触摸区域中，并且传送第一触摸 信号；多个第二触摸电极图案，在与第一方向交叉的第二方向上形成在触摸区域中，并且传 送第二触摸信号；以及第一驱动电路布线，形成在外围区域上，并且连接到第一触摸电极图 案。第一驱动电路布线可以包括低阻布线层。 多个第二触摸电极图案可以彼此间隔开，并且可以进一步包括互连相邻的第二触 摸电极图案的连接线。 可以进一步包括形成在第一触摸电极图案与连接线之间以使第一触摸电极图案 与第二触摸电极图案绝缘的触摸绝缘构件。 第一驱动电路布线可以包括顺序地层叠的第一透明导电布线层、第二透明导电布 线层以及低阻布线层，第一触摸电极图案和第二触摸电极图案均可以包括第一透明导电布 线层和第二透明导电布线层。 第一透明导电布线层可以包含银纳米线，第二透明导电布线层和连接线可以包含 透明导电氧化物。 低阻布线层可以由从铜和银选出的一种材料形成。 连接线的蚀刻速率高于第二透明导电布线层的蚀刻速率。 连接线可以具有比第二透明导电布线层高的铟含量。 绝缘层和外围绝缘构件可以顺序地层叠在第一驱动电路布线上，触摸绝缘构件和 连接线可以顺序地层叠在第一触摸电极图案与连接线交叠的第一触摸交叠部分上。 连接线可以接触第二触摸电极图案的第二透明导电布线层。绝缘层可以形成在第 一和第二触摸电极图案之间。 另一方面为一种制造触摸屏面板的方法，该方法包括：在具有触摸区域和围绕触 摸区域的外围区域的基板上，顺序地形成第一透明导电层、第二透明导电层、低阻层以及光 敏膜；在触摸区域中形成触摸光敏膜图案并且在外围区域中形成外围光敏膜图案；通过利 用触摸光敏膜图案和外围光敏膜图案作为蚀刻掩模，形成第一触摸电极图案、第二触摸电 极图案以及第一驱动电路布线；通过去除外围光敏膜层并且通过减小触摸光敏膜图案的厚 度，暴露第一驱动电路布线；在第一驱动电路布线和触摸光敏膜图案上形成绝缘层；通过 去除触摸光敏膜图案和形成在其上的绝缘层，暴露第一和第二触摸电极图案；以及去除第 一触摸电极图案和第二触摸电极图案的低阻层。 在去除低阻层期间，第一和第二触摸电极图案可以通过层叠第一透明导电布线层 和第二透明导电布线层而形成，第一驱动电路布线可以通过层叠第一透明导电布线层、第 二透明导电布线层以及低阻布线层而形成。 在去除低阻层之后，可以还包括：在外围区域的绝缘层上形成外围绝缘构件和在 第二触摸电极图案上形成触摸绝缘构件，以及在触摸绝缘构件和第一触摸电极图案上形成 连接线。 绝缘层可以形成在第一和第二触摸电极图案之间。 在去除触摸光敏膜图案和形成在其上的绝缘层期间，第一触摸电极图案和第二触 摸电极图案的低阻布线层可以被暴露，第一触摸电极图案和第二触摸电极图案的第一透明 导电布线层的横侧面可以被绝缘层覆盖。 具有比触摸光敏膜图案小的厚度的外围光敏膜图案可以通过利用狭缝掩模而形 成。 第一透明导电层可以包含银纳米线，第二透明导电层可以包含透明导电氧化物， 低阻层由从铜和银选出的一种材料形成。 另一方面是一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括：基板，具有触摸区域和围绕触摸 区域的外围区域；多个第一触摸电极图案，形成在触摸区域中，在第一方向上延伸，并且配 置成传送第一触摸信号；多个第二触摸电极图案，形成在触摸区域中，在与第一方向交叉的 第二方向上延伸，并且配置成传送第二触摸信号；以及多个第一驱动电路布线，形成在外围 区域中，并且分别电连接到第一触摸电极图案，其中，第一驱动电路布线包括低阻布线层。 第二触摸电极图案可彼此间隔开，该面板还可包括电连接在第二方向上相邻的第 二触摸电极图案的多条连接线。该面板还可包括分别形成在第一触摸电极图案与连接线之 间并且使第一触摸电极图案与第二触摸电极图案电绝缘的多个触摸绝缘构件。第一驱动电 路布线可包括顺序地形成的第一透明导电布线层、第二透明导电布线层以及低阻布线层， 第一触摸电极图案和第二触摸电极图案可均包括第一透明导电布线层和第二透明导电布 线层。第一透明导电布线层可以包含银纳米线，第二透明导电布线层和连接线可包含透明 导电氧化物。低阻布线层可由铜或银形成。连接线可具有比第二透明导电布线层的蚀刻速 率大的蚀刻速率。连接线可具有比第二透明导电布线层高的铟含量。绝缘层和外围绝缘构 件可顺序地层叠在第一驱动电路布线上。绝缘层可形成在第一触摸电极图案与第二触摸电 极图案之间。触摸绝缘构件和连接线可顺序地并且分别地形成在第一触摸电极图案的第一 连接部分上方。连接线可接触第二触摸电极图案的第二透明导电布线层。 另一方面是一种制造触摸屏面板的方法，该方法包括：在基板上方，顺序地形成第 一透明导电层、第二透明导电层、低阻层以及光敏膜，该基板具有触摸区域和围绕触摸区域 的外围区域；在触摸区域中形成触摸光敏膜图案并且在外围区域中形成外围光敏膜图案； 利用触摸光敏膜图案和外围光敏膜图案作为蚀刻掩模，蚀刻第一透明导电层、第二透明导 电层以及低阻层，以形成第一触摸电极图案、第二触摸电极图案以及第一驱动电路布线；执 行灰化工艺，以去除外围光敏膜图案并且减小触摸光敏膜图案的厚度；在第一驱动电路布 线和触摸光敏膜图案上方形成绝缘层；去除触摸光敏膜图案和形成在其上的绝缘层；以及 去除第一触摸电极图案和第二触摸电极图案的低阻层。 第一触摸电极图案和第二触摸电极图案的每个可包括第一透明导电布线层和第 二透明导电布线层，第一驱动电路布线可包括第一透明导电布线层、第二透明导电布线层 以及低阻布线层。该方法还可包括：在去除低阻层之后，在外围区域中的绝缘层上方形成外 围绝缘构件并且在第一触摸电极图案上方形成触摸绝缘构件；以及在触摸绝缘构件上方形 成连接线，以电连接到第二触摸电极图案。绝缘层可形成在第一触摸电极图案和第二触摸 电极图案之间。在去除触摸光敏膜图案期间，第一触摸电极图案和第二触摸电极图案的低 阻布线层可被暴露，第一触摸电极图案和第二触摸电极图案的第一透明导电布线层的横侧 面被该绝缘层覆盖。外围光敏膜图案的厚度可小于触摸光敏膜图案的厚度，外围光敏膜图 案可通过利用狭缝掩模而形成。第一透明导电层可包含银纳米线，第二透明导电层可包含 透明导电氧化物，低阻层可由铜或银形成。 另一方面是一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括：基板，具有触摸区域和围绕触摸 区域的外围区域；多个第一触摸电极图案，形成在触摸区域中，并且在第一方向上延伸；多 个第二触摸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触摸屏面板，包括：基板，具有触摸区域和围绕所述触摸区域的外围区域；多个第一触摸电极图案，形成在所述触摸区域中，在第一方向上延伸，并且被配置成传送第一触摸信号；多个第二触摸电极图案，形成在所述触摸区域中，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸，并且被配置成传送第二触摸信号；以及多个第一驱动电路布线，形成在所述外围区域中，并且分别电连接到所述第一触摸电极图案，其中，所述第一驱动电路布线包括低阻布线层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑钟铉，金仁培，朴弘植，李炳珍，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR