本发明专利技术的方面描述一种智能衔接站。所述智能衔接站可含有允许传感器晶片充电且上传及下载数据的数据传送及电连接。所述智能衔接站可位于工具上方的轨道外存储位置处。此位置使得自动化材料搬运系统AMHS能够取回所述传感器晶片且将其递送到需要分析的工具。所述传感器晶片可存储在智能前开式晶片传送盒FOUP中。需要强调的是，提供本摘要是为了遵守需要摘要的规则，以便搜索者或其它读者快速确定本发明专利技术的标的物。应了解，本摘要并非用于解释或限制权利要求书的范围或含义。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例设及用于自动化晶片搬运系统的设备及方法，其能够在洁净室环 境中的工具上执行诊断。
技术介绍
传感器晶片用W执行工具的过程表征。传感器晶片可测量过程的许多不同参数 (例如（但不限于）衬底温度分布曲线），且将此类参数回报给工程师。最初，传感器晶片 是用作用于研发的工具。提供给工程师的信息使得他能够改进或改善处理步骤。然而，在 更严格容限及对产品产率的需求增加的情况下，传感器晶片也已变成重要过程监视工具。 当处理步骤开始产生超过预定容限的结果时，可采用传感器晶片W帮助识别处理 步骤中的问题。目前，使用传感器晶片需要正被表征的工具的大量停工时间。为了在生产 设定中采用传感器晶片，技术人员必须首先使工具脱机。接着他必须取得推车W载运容纳 传感器晶片的前开式晶片传送盒（FOUP)。在将FOUP手动递送到工具之后，必须在所需条件 下处理传感器晶片。此后，技术人员必须将由传感器晶片记录的数据下载到膝上型计算机。 技术人员接着需要将工具再分配回生产中。在理想条件下，此过程可能需要大约3到4个 小时。 因此，通常只有当处理步骤开始生产超过规定容限的装置时，才使用传感器晶片。 然而，减小工具脱机时间W便允许在过程开始生产超过指定容限的装置之前进行过程分析 将是有用的。正是在此背景下出现本专利技术的实施例。【附图说明】 在阅读W下详细描述后且在参看附图后，将明白本专利技术的目标及优点，其中： 图1A是根据本专利技术的方面的自动化传感器晶片系统的示意图。 图1B是根据本专利技术的额外方面的自动化传感器晶片系统的示意图。[000引图2A是根据本专利技术的方面的位于工具上方的轨道外存储位置处的智能衔接站的 图式。 图2B是根据本专利技术的方面的位于工具内部的智能衔接站的图式。 图3A到3F是根据本专利技术的方面的描绘数据流及传感器晶片的物理移动的自动化 传感器晶片系统的过程流程图。 图3G是根据本专利技术的方面的描述用于操作衔接站的计算机可读指令的方框图。 图4A到4F是根据本专利技术的额外方面的描绘数据流及传感器晶片的物理移动的自 动化传感器晶片系统的过程流程图。【具体实施方式】 在W下【【具体实施方式】】中，参考形成本文的部分的附图且通过说明展示其中可实 践本专利技术的特定实施例。图式根据实施例的实例展示说明，在本文中实施例也称为"实例"。 充分详细描述图式w使得所属领域技术人员能够实践本标的物。在不背离权利要求的范围 的情况下，可组合所述实施例，可利用其它实施例或进行结构、逻辑及电的改变。就此而言， 参考正描述的图的定向，使用方向术语（例如，"顶部"、"底部"、"前部"、"后部"、"前沿"、"尾 沿"等等）。因为本专利技术的实施例的组件可W多个不同定向定位，所W方向术语是用于说明 目的且并非限制性。应理解，可利用其它实施例且可在不背离本专利技术的范围的情况下进行 结构或逻辑改变。 在此文件中，如在专利文件中常见，使用用语"一（a、an)"W包含一或一个W上。 在此文件中，除非另有指示，否则用语"或"是用W指非排他性"或"，使得"A或B"包含"A 但非B"、"B但非A"及"A及B"。因此不在限制含义上采用W下详细描述且由随附权利要 求界定本专利技术的范围。 根据本专利技术的方面，传感器晶片可容纳在传感器FOUP中。传感器FOUP可含有允 许传感器晶片充电且上传及下载数据到传感器晶片的数据传送连接及电连接。传感器FOUP 还可含有允许传感器FOUP充电且上传及下载数据到智能衔接站的相似连接。智能衔接站 可位于工具上方的轨道外存储位置处。此位置使得自动化材料搬运系统（AffiB)能取回传 感器FOUP及将传感器FOUP递送到所需工具。 根据本专利技术的额外方面，还可将智能衔接站并入到衬底处理工具中。此配置允许 在不含有电连接及数据传送连接的FOUP中运输传感器晶片。数据可从传感器晶片直接上 传及下载到工具内部的智能衔接站。此外，智能衔接站可将电连接直接提供到传感器晶片 W给传感器晶片充电。本专利技术的此方面允许将传感器晶片运输到需要使用用W运输晶片的 标准FOUP分析的工具。 本专利技术的额外方面描述可用W实施具有传感器晶片的工具的分析的自动化系统。 根据本专利技术的此方面，工厂自动化（FA)服务器可对传感器晶片给智能衔接站提供任务。智 能衔接站可上传任务到传感器晶片。FA服务器还可递送过程处方到正被分析的工具。如本 文所使用，"正被分析的工具"也可称作为"测试中的装置"值UT)。FA服务器还可指示AMHS 的机器人晶片递送系统从智能衔接站取回传感器晶片且将其递送到DUT。一旦传感器晶片 已递送到DUT，在传感器晶片上运行过程处方且将处理条件记录及存储在传感器晶片的存 储器中。当过程处方完成时，DUT可发送信号到FA服务器，指示传感器晶片可返回到智能 衔接站。FA服务器接着可指示AMHS从DUT取回传感器晶片且将其递送到可用智能衔接站。 当衔接在智能衔接站处时，传感器晶片可下载所记录的数据到智能衔接站。智能衔接站此 后可将数据传输到传感器晶片服务器。为了存取所记录的数据，FA服务器接着可从传感器 晶片服务器请求所记录的数据。 图1A是根据本专利技术的方面的自动化工具诊断系统100的示意图。可由传感器晶 片服务器109及FA服务器110通过网络160存取智能衔接站103。智能衔接站103可为可 由FA服务器110存取的多个智能衔接站103中的一者。FA服务器110还可通过网络160 与AMHS106(未图不）及DUT118(未图不）通信。应注意，传感器晶片服务器109及FA 服务器110可被实施为在同一硬件（例如，使用经特殊配置的软件运行不同虚拟机的常见 通用计算机）上运行的虚拟化机器。替代地，传感器晶片服务器109及FA服务器110还可 在单独件的硬件上实施。 可运输传感器FOUP104可经配置W接收传感器晶片108,及当将FOUP(例如）从 一个工具运输到另一工具、从工具运输到衔接站或从衔接站运输到工具时，保留传感器晶 片。传感器FOUP104可具有将传感器FOUP104连接到智能衔接站103的电连接111。电 连接111可经配置W给传感器FOUP104中的电池充电。仅为举例而非限制，电连接111可 将智能衔接站103的电力供应器142连接到传感器FOUP104的电池充电控制器142'。电 池充电控制器142'继而给电池153'充电且维护电池153'。传感器FOUP104还可具有将 传感器FOUP104连接到智能衔接站103的数据连接112。数据连接112可经配置W允许将 数据上传到智能衔接站103或从智能衔接站下载数据。仅为举例而非限制，数据连接112可 将智能衔接站103的输入/输出电路141连接到传感器FOUP104的输入/输出电路141'。 电连接111及数据连接112可实施为能够在智能衔接站103与传感器FOUP104之间提供 电路径及数据路径两者的单一连接。仅为举例而非限制，单一连接可为USB连接。同样仅 为举例而非限制，可使用射频（R巧或红外线（IR)数据路径W无线方式实施数据路径。RF 数据路径的实例包含藍牙且红外线数据路径的实例包含IRDA。 智能衔接站103可包含中央处理器单元（CPU) 131。例如，CPU131可包含一或多 个处理器，本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种在经配置以在网络上操作的衔接站中用于表征工具中的过程的方法，其包括：a)在衔接站处，从机器人晶片递送系统接收传感器晶片，其中所述传感器晶片中的存储器具有来自工具过程表征任务的一或多组数据；b)在所述衔接站与所述传感器晶片之间建立数据连接；c)从所述传感器晶片中的所述存储器下载所述一或多组数据；以及d)通过所述网络将所述所下载的数据递送到服务器。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：厄尔·詹森，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。