一种抗菌除尘膜的制备方法技术

技术编号:11825706 阅读:90 留言:0更新日期:2015-08-05 03:55
本发明专利技术公开了一种抗菌除尘膜的制备方法,将紧贴在玻璃衬底上的阳极氧化铝多孔膜浸渍在石蜡溶液中加热震荡一段时间,然后取出冷却至室温,用热铁片以及等离子刻蚀法去除膜表面附着的石蜡固体。再使用原子层沉积仪在浸渍后的膜表面沉积一层纳米氧化锌薄膜层作为晶种。将原子沉积后的膜垂直浸置在装有晶体生长溶液的水热釜中,加热一段时间后,将膜取出冷却至室温并从衬底上取下。最后将此膜放置在烘箱中加热并用氮气吹洗,完全去除膜孔道内的石蜡,得到膜表面生长了氧化锌阵列的多孔膜。本发明专利技术可以生产出一种仅在膜孔口生长纳米氧化锌阵列、而孔道内部通畅的多孔膜,从而提高除尘效率与透气速率,同时有效抑制细菌在膜表面的滋生。

【技术实现步骤摘要】
一种抗菌除尘膜的制备方法
本专利技术属于膜的制备与改性领域,特别涉及一种仅在多孔膜表面生长晶体并保持孔道内干净的膜改性方法。
技术介绍
空气污染是人类现在面临的环境问题之一,已经对人们生活和工农业生产造成了很大的危害。对空气污染的治理已经提到了一个新的高度。无论工业还是民用领域,都急需开发新的空气净化方法,减少有害气体的排放。目前空气净化主要通过臭氧和光催化的化学分解、活性炭吸附、过滤等方法进行。臭氧发生器产生大量高浓度臭氧,在杀灭一些病毒细菌的同时也可能杀灭人体白细胞,有导致癌变的可能;光触媒必须依靠紫外光的照射才能产生作用,对人体、塑料有伤害;活性炭吸附一般一个月后就达到饱和状态需更换,达到饱和后不但不能杀菌而且容易成为细菌的繁衍体。无机膜分离净化技术是近年来发展迅速的新技术,可过滤液体,气体中的细菌,悬浮微粒等污染物。阳极氧化铝(AnodicAluminumOxide,AAO)膜是一种具有高度规则孔道的纳米过滤无机膜,可以实现几个纳米到几百纳米孔径的过滤,是一种较为理想的气体过滤材料。但是,过滤过程中截留的细菌等污染物会附着在膜表面甚至膜孔内,浓度远大于水体,气体中的浓度,更容易滋生繁殖,这些膜表面和孔道内的细菌的繁殖,将堵塞膜孔通道,使膜过滤的阻力增加,过滤通量迅速下降,是膜污染和堵塞的重要原因之一。纳米氧化锌具有良好的抗菌,抑菌作用,其杀菌机理是利用纳米氧化锌产生的活性氧种造成微生物损伤而实现抗菌,与其光催化机理相似。如果在无菌膜表面附着一层氧化锌膜,将能有效减少截留细菌在膜表面的附着和繁殖,有利于提高无机膜的使用寿命,减少膜的污染和堵塞。专利技术内容本专利技术的目的在于提供一种抗菌除尘膜的制备方法,将阳极氧化铝膜与纳米氧化锌相结合,比单一的阳极氧化铝膜具有更好的除菌杀菌能力,并且膜本身的硬度提高,便于实际应用。本专利技术通过以下技术方案实现。一种抗菌除尘膜的制备方法,包括如下步骤:(1)预处理:将阳极氧化铝多孔膜用乙醇溶液冲洗干净,将石蜡融化备用;(2)堵孔处理:把预处理过后的阳极氧化铝多孔膜的一面紧密贴合在衬底上,使用卡槽将阳极氧化铝多孔膜卡在玻片上,并一同放置在石蜡溶液中浸渍并震荡,放置一段时间后取出,将阳极氧化铝多孔膜接触石蜡的一面向上冷却至室温,利用刮去多孔膜表面的大部分石蜡,然后利用等离子刻蚀法去除阳极氧化铝多孔膜表面剩余的石蜡固体;(3)种晶:阳极氧化铝薄膜经丙酮、乙醇、去离子水超声清洗后放入原子层沉积仪的反应腔,将二乙基锌、去离子水作为前驱体源,分别提供ZnO生长所需的Zn源和O源,高纯度氮气作为携带气体和吹扫气体,真空度达到15~20Pa时开始沉积,晶种生长数个周期;(4)晶体生长:按比例配制一定浓度的六次甲基四胺与硝酸锌的混合溶液作为生长溶液,倒入水热釜中,并将种晶后的阳极氧化铝多孔膜片连同衬底垂直放入水热釜中,把水热釜置于烘箱中处理一段时间后,自然降温,再将膜片取出用去离子水冲洗、烘干得到表面生长了纳米氧化锌阵列的多孔膜;(5)清理孔道:将步骤(4)得到的多孔膜从衬底上取下,未接触衬底的一面水平放入烘箱加热一段时间,并用氮气吹洗膜片,冷却后得到表面生长纳米氧化锌阵列、孔道均匀通畅的多孔膜。步骤(1)中所述阳极氧化铝多孔膜的孔径为0.1-10μm;所述乙醇溶液质量浓度为80~95%。步骤(2)中所述的浸渍温度在60~90℃,浸渍时间在3~5个小时,所述热铁片的温度在60~70℃,所述的等离子体刻蚀采用CH4、H2、Ar的混合气,其摩尔比为1:7:5,所用气体流量在26~78sccm,偏压功率为80~90W,射频功率为250~300W,刻蚀速率为10~25nm/min,刻蚀时间为1~2个小时。步骤(3)中所述的二乙基锌脉冲时间0.1~0.2s,清洗时间3~4s;去离子水脉冲时间0.1~0.2s,清洗时间4~5s;二乙基锌的携带气体流量为100~150sccm,去离子水的携带气体流量为150~200sccm,衬底温度200~280℃,生长次数为100~200个生长周期。步骤(4)中所述混合溶液的六次甲基四胺的浓度为0.003~0.1mol/L,硝酸锌的浓度为0.003~0.1mol/L;溶液中两种物质摩尔比例为1:1;混合溶液加入量在100~500ml;所述烘箱的温度为80~100℃,处理时间为2~4小时。步骤(5)中所述烘箱的温度在60~90℃,氮气流速0.4~0.5m/s,压力0.5~0.6MPa。本专利技术的有益效果:1.本专利技术制备的过滤膜气体通量较大,并且具有较好的机械强度,便于实际应用;2.本专利技术用种晶加溶液生长的方法可以定向生长氧化锌薄膜,比之于传统的方法低能耗,高产量,仪器设备简单,易于操作,能实现大面积生产;3.此方法能使得纳米氧化锌阵列紧密的结合在多孔膜的表面,不易脱落,具有良好的使用寿命;4.本专利技术可以在多孔膜的表面均匀的生长厚度相同的纳米氧化锌,厚度易于控制;5.通过气体抗菌实验,该膜的抗菌性能达到99.99%,而且该膜是表层过滤,不影响其透气量,相比于其他气体过滤材料,该膜具有稳定,易清洗,使用时间长的优点。附图说明图1为本专利技术制备抗菌除尘膜的工艺流程图。图2、图3、图4为不同制备条件下的抗菌除尘膜经扫描电镜S-4800测得电镜扫描图。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术做更进一步地解释,下列实施例仅用于说明本专利技术,但并不用来限定本专利技术的实施范围。实施例1(1)预处理:将0.1μm阳极氧化铝多孔膜用质量浓度为80%的乙醇溶液冲洗干净,将石蜡融化备用;(2)堵孔处理:把预处理过后的阳极氧化铝多孔膜的一面紧密贴合在玻片衬底上,使用卡槽将阳极氧化铝多孔膜卡在玻片上,并一同放置在石蜡溶液中浸渍并震荡,在70℃条件下浸渍3h后取出,将阳极氧化铝多孔膜接触石蜡的一面向上冷却至室温,然后使用60℃的热铁片除去多孔膜表面大部分石蜡固体,再采用CH4:H2:Ar的摩尔比为1:7:5的混合气体作为刻蚀气体,利用等离子刻蚀法去除多孔膜表面剩余的石蜡固体,所用气体流量在26sccm,偏压功率为80W,射频功率为250W,在这种条件下刻蚀速率为10nm/min,刻蚀时间选择120min;(3)种晶:阳极氧化铝薄膜经丙酮、乙醇、去离子水超声清洗后放入原子层沉积仪的反应腔,将二乙基锌、去离子水作为前驱体源分别提供ZnO生长所需的Zn源和O源,高纯度氮气作为携带气体和吹扫气体,二乙基锌脉冲时间0.1s,清洗时间3s;去离子水脉冲时间0.1s,清洗时间4s。二乙基锌的携带气体流量为100sccm,去离子水的携带气体流量为150sccm,衬底温度200℃,真空度为20Pa时开始沉积,晶种生长100个周期;(4)晶体生长:配制六次甲基四胺的浓度为0.003mol/L和硝酸锌的浓度为0.003mol/L的混合溶液作为生长溶液,溶液中两种物质摩尔比例为1:1;混合溶液加入量在100ml,倒入水热釜中,并将种晶后的阳极氧化铝多孔膜片连同衬底垂直放入水热釜中,把水热釜置于80℃烘箱中处理4h后,自然降温,再将膜片取出用去离子水冲洗、烘干;(5)清理孔道:将步骤(4)得到的多孔膜从衬底上取下,未接触衬底的一面水平放入60℃烘箱加热,并用氮气吹洗膜片,氮气流速0.4m/s,压力0.5MPa,冷却后得到表面本文档来自技高网...
一种抗菌除尘膜的制备方法

【技术保护点】
一种抗菌除尘膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)预处理:将阳极氧化铝多孔膜用乙醇溶液冲洗干净,将石蜡融化备用;(2)堵孔处理:把预处理过后的阳极氧化铝多孔膜的一面紧密贴合在衬底上,使用卡槽将阳极氧化铝多孔膜卡在玻片上,并一同放置在石蜡溶液中浸渍并震荡,放置一段时间后取出,将阳极氧化铝多孔膜接触石蜡的一面向上冷却至室温,利用刮去多孔膜表面的大部分石蜡,然后利用等离子刻蚀法去除阳极氧化铝多孔膜表面剩余的石蜡固体;(3)种晶:阳极氧化铝薄膜经丙酮、乙醇、去离子水超声清洗后放入原子层沉积仪的反应腔,将二乙基锌、去离子水作为前驱体源,分别提供ZnO生长所需的Zn源和O源,高纯度氮气作为携带气体和吹扫气体,真空度达到15~20Pa时开始沉积,晶种生长数个周期;(4)晶体生长:按比例配制一定浓度的六次甲基四胺与硝酸锌的混合溶液作为生长溶液,倒入水热釜中,并将种晶后的阳极氧化铝多孔膜片连同衬底垂直放入水热釜中,把水热釜置于烘箱中处理一段时间后,自然降温,再将膜片取出用去离子水冲洗、烘干得到表面生长了纳米氧化锌阵列的多孔膜;(5)清理孔道:将步骤(4)得到的多孔膜从衬底上取下,未接触衬底的一面水平放入烘箱加热一段时间,并用氮气吹洗膜片,冷却后得到表面生长纳米氧化锌阵列、孔道均匀通畅的多孔膜。...

【技术特征摘要】
1.一种抗菌除尘膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)预处理:将阳极氧化铝多孔膜用乙醇溶液冲洗干净,将石蜡融化备用;(2)堵孔处理:把预处理过后的阳极氧化铝多孔膜的一面紧密贴合在衬底上,使用卡槽将阳极氧化铝多孔膜卡在玻片上,并一同放置在石蜡溶液中浸渍并震荡,放置一段时间后取出,将阳极氧化铝多孔膜接触石蜡的一面向上冷却至室温,利用热铁片刮去多孔膜表面的大部分石蜡,然后利用等离子刻蚀法去除阳极氧化铝多孔膜表面剩余的石蜡固体;(3)种晶:阳极氧化铝薄膜经丙酮、乙醇、去离子水超声清洗后放入原子层沉积仪的反应腔,将二乙基锌、去离子水作为前驱体源,分别提供ZnO生长所需的Zn源和O源,高纯度氮气作为携带气体和吹扫气体,真空度达到15~20Pa时开始沉积,晶种生长数个周期;(4)晶体生长:按比例配制一定浓度的六次甲基四胺与硝酸锌的混合溶液作为生长溶液,倒入水热釜中,并将种晶后的阳极氧化铝多孔膜片连同衬底垂直放入水热釜中,把水热釜置于烘箱中处理一段时间后,自然降温,再将膜片取出用去离子水冲洗、烘干得到表面生长了纳米氧化锌阵列的多孔膜;(5)清理孔道:将步骤(4)得到的多孔膜从衬底上取下,未接触衬底的一面水平放入烘箱加热一段时间,并用氮气吹洗膜片,冷却后得到表面生长纳米氧化锌阵列、孔道均匀通畅的多孔膜;其中:步骤(2)中所述的浸渍温度在60~90℃,浸渍时间在3~5个小时,所述热铁片的温度在60~70℃,所述的等...

【专利技术属性】
技术研发人员:仲兆祥吴锡波姚忠
申请(专利权)人:南京工业大学
类型:发明
国别省市:江苏;32

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