弹性波装置的制造方法以及弹性波装置制造方法及图纸

提供能减少短路不良和泄漏不良的发生的弹性波装置的制造方法。在具有压电性的母基板(10)的一方主面上形成多个功能元件部(11)、和将多个功能元件部(11)电连接的连接线(12)。在母基板(10)的一方主面上形成包围功能元件部(11)的树脂制的支承层(20)。通过按照切割线将具有母基板(10)、功能元件部(11)以及支承层(20)的层叠体(35)分断成多个，来得到具有功能元件部(11)的弹性波装置(1)。连接线(12)具有：位于切割线上的线主体(12a)；和将线主体(12a)和功能元件部(11)电连接的连接部(12b)。在层叠体(35)的分断前，在母基板(10)上与支承层(20)分离地形成在线主体(12a)的宽度方向上跨线主体(12a)的树脂制的保持构件(21)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置的制造方法以及弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置的制造方法以及弹性波装置。
技术介绍
过去，作为弹性波装置的制造方法，已知在由压电体构成的母基板上形成多个元件部后分断成各元件部，由此以相同的制造工序制造多个弹性波装置的方法。例如在专利文献1中记载了其一例。在专利文献1所记载的制造方法中，首先，在由压电体构成的母基板上形成多个元件部。在元件部的形成时，和元件部一起形成与各元件部电连接的供电线。接下来，在母基板上包围各元件部地形成具有突起部的支承层。接下来在支承层上配置外罩构件。之后，通过切割将得到的层叠体分断成各元件部，由此以同一制造工序制造多个弹性波装置。先行技术文献专利文献专利文献1：WO2012/132147号公报专利技术的概要专利技术要解决的课题如专利文献1记载的那样，通过在支承层设置突出部来抑制硬化收缩所引起的框状的支承层的形变，由此能抑制密封空间的泄漏不良。但是，在专利文献1所记载的弹性波装置的制造方法中，因切割所带来的切削力，会让供电线从母基板剥离，有时会发生不能除去供电线的问题。由于与功能元件电连接的供电线的剥离，而存在容易制造出有短路不良的弹性波装置这样的问题。另外，若用专利文献1所记载的弹性波装置的制造方法增加突起部的数量来防止供电线的剥离，则由于因切割所带来的切削力而变形的突起部会使支承体主体变形，因此存在变得易于发生泄漏不良的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，提供能使短路不良和泄漏不良的发生较少的弹性波装置的制造方法。用于解决课题的手段在本专利技术所涉及的弹性波装置的制造方法中，在具有压电性的母基板的一方主面上形成多个功能元件部、和将多个功能元件部电连接的连接线。在母基板的一方主面上形成包围功能元件部的树脂制的支承层。通过按照切割线将具有母基板、功能元件部以及支承层的层叠体分断成多个，来得到具有功能元件部的弹性波装置。连接线具有：位于切割线上的线主体；和将线主体和功能元件部电连接的连接部。在层叠体的分断前，在母基板上与支承层分离地形成在线主体的宽度方向上跨线主体的树脂制的保持构件。在本专利技术所涉及的弹性波装置的制造方法的某特定的局面下，设置覆盖连接部的线主体侧端部的保持构件。在本专利技术所涉及的弹性波装置的制造方法的另外特定的局面下，在切割线所位于的区域，使不设保持构件的面积大于设置保持构件的面积地设置保持构件。在本专利技术所涉及的弹性波装置的制造方法的再其它特定的局面下，用相同的工法形成保持构件和支承层。本专利技术所涉及的弹性波装置具备：压电基板、功能元件部、电极部、支承层和外罩。功能元件部设置在压电基板的一方主面上。电极部与功能元件部电连接。电极部到达压电基板的端边。支承层在压电基板的一方主面上包围功能元件部而设。外罩被支承层支承。外罩覆盖功能元件部。支承层从压电基板的端边分离而设，包围功能元件部。本专利技术所涉及的弹性波装置还具备树脂制的保持构件。保持构件在压电基板上与支承层分离而设。保持构件到达压电基板的端边。专利技术的效果根据本专利技术，能提供能减少短路不良和泄漏不良的发生的弹性波装置的制造方法。附图说明图1是用于说明第1实施方式中的弹性波装置的制造工序的概略俯视图。图2是用于说明第1实施方式中的弹性波装置的制造工序的概略俯视图。图3是用于说明第1实施方式中的弹性波装置的制造工序的概略俯视图。图4是图3的线IV-IV的概略截面图。图5是图3的线V-V的概略截面图。图6是在第1实施方式中制作的层叠体的概略截面图。图7是在第1实施方式中制作的层叠体的概略俯视图。图8是在第1实施方式中制造的弹性波装置的概略俯视图。图9是图8的线IX-IX的概略截面图。图10是用于说明第2实施方式中的弹性波装置的制造工序的概略俯视图。图11是图10的线XI-XI的概略截面图。图12是在第2实施方式中制造的弹性波装置的概略俯视图。图13是图12的线XIII-XIII中的概略截面图。图14是放大图12的电极连接盘近旁部分的概略俯视图。具体实施方式以下说明实施本专利技术的优选的形态的一例。其中，下述的实施方式仅是例示。本专利技术并不限定于下述的实施方式的任一者。另外，在实施方式等中参考的各附图中，实质有同一功能的构件用同一标号进行参考。另外，实施方式等中参考的附图是示意性记载的。附图所描绘的物体的尺寸的比率等，有和现实的物体的尺寸的比率等不同的情况。附图相互间也有物体的尺寸比率等不同的情况。具体的物体的尺寸比率等应参酌以下的说明来判断。(第1实施方式)在本实施方式中，关于图8以及图9所示的弹性波装置1的制造方法，主要参考图1～图7来进行说明。另外，在本实施方式中，弹性波装置1是弹性表面波装置，但也可以是弹性边界波装置等其它种类的弹性波装置。首先，如图1所示那样，在母基板10上形成多个功能元件部11和连接线12。母基板10例如由压电体构成。母基板10具有压电性。母基板10也可以由压电基板构成。另外，母基板10也可以具有压电基板、和配置在压电基板的一主面上的非压电层。压电基板例如能由LiTaO3或LiNbO3、水晶等构成。非压电层例如能由氧化硅等构成。母基板10的厚度(H1)例如能设为100～300μm程度。功能元件部11和连接线12例如能通过溅射法或CVD(ChemicalVaporDeposition，化学气相沉积)法等形成。多个功能元件部11在母基板10上如图1所示那样矩阵状地形成。多个功能元件部11的行间隔L1优选为500μm～1800μm程度。多个功能元件部11的列间隔L2优选为500μm～1800μm程度。多个功能元件部11分别具有至少1个IDT电极，使弹性波激振。例如，在弹性波装置1是弹性波滤波器装置的情况下，功能元件部11可以构成梯型滤波器部以及纵耦合谐振器型弹性波滤波器部的至少一方。功能元件部11具有将至少1个IDT电极电连接的多个电极连接盘13a～13f。多个电极连接盘13a～13f分别与连接线12电连接。如图1、图4所示那样，连接线12具有线主体12a和连接部12b。线主体12a的列间隔L3优选为500μm～1800μm程度。线主体12a的行间隔L4优选为500μm～1800μm程度。线主体12a的厚度H2优选为0.5μm～5μm程度。连接部12b将线主体12a和功能元件部11(详细地是功能元件部11的电极连接盘13a～13f)电连接。具体地，各电极连接盘13a～13f分别经由连接部12b与线主体12a电连接。另外，线主体12a的线宽WL1、线宽WL2、连接部12b的线宽WL3优选为5μm～30μm程度。接下来，如图2所示那样，在母基板10上包围多个功能元件部11各自地形成树脂制的支承层20。支承层20的厚度H3优选是5μm～20μm程度。例如使用光刻法对以丝网印刷等形成在母基板10的整体上的树脂层进行图案形成，由此来形成支承层20。支承层20例如能由聚酰亚胺树脂、环氧树脂、硅树脂等构成。保持构件21与线主体12a交叉地形成。保持构件21在母基板10上，在线主体12a的宽度方向上跨线主体12a而形成。保持构件21的厚度H4优选为5μm～20μm程度。另外，保持构件21的厚度H4也可以小于支承层20的厚度H3，且不与外罩连接。保持构件21的宽度WL4、WL5优选为10μm～80μm程度。保持构件21的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置的制造方法，具备：在具有压电性的母基板的一方主面上形成多个功能元件部、和将所述多个功能元件部电连接的连接线的工序；在所述母基板的一方主面上形成包围所述功能元件部的树脂制的支承层的工序；和通过按照切割线将具有所述母基板、所述功能元件部以及所述支承层的层叠体分断为多个来得到具有所述功能元件部的弹性波装置的工序，所述连接线具有：位于所述切割线上的线主体；和将所述线主体与所述功能元件部电连接的连接部，在所述层叠体的分断前，还具备：在所述母基板上与所述支承层分离地形成在所述线主体的宽度方向上跨所述线主体的树脂制的保持构件的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.12.05 JP 2012-2663761.一种弹性波装置的制造方法，具备：在具有压电性的母基板的一方主面上形成多个功能元件部、和将所述多个功能元件部电连接的连接线的工序；在所述母基板的一方主面上形成包围所述功能元件部的树脂制的支承层的工序；和通过按照切割线将具有所述母基板、所述功能元件部以及所述支承层的层叠体分断为多个来得到具有所述功能元件部的弹性波装置的工序，所述连接线具有：位于所述切割线上的线主体；和将所述线主体与所述功能元件部电连接的连接部，在所述层叠体的分断前，还具备：在所述母基板上与所述支承层分离地形成在所述线主体的宽度方向上跨所述线主体的树脂制的保持构件的工序。2.根据权利要求1所述的弹性波装置的制造方法，其中，设置覆...

【专利技术属性】
技术研发人员：比良光善，甲斐诚二，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP