喷洒头装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种喷洒头装置，其包括一多孔板体，其具有一第一流道以及多个第二流道。第一流道沿着多孔板体蜿蜒分布以供一第一流体流通。第二流道分别贯穿多孔板体并且交错于第一流道中以供一第二流体流通，其中第一流道与第二流道互不连通，且第一流体接触各第二流道的侧壁。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种喷洒设备，且特别是有关于一种喷洒头装置。
技术介绍
随着镀膜制作工艺的发展，如何将气体均匀地喷洒到镀膜腔室中为一项重要的技术。对此，气体分布模块(gas distribut1n module),特别是气体喷洒头(gasshowerhead)扮演了重要的角色。不过，镀膜腔室的高温可能导致气体喷洒头的变形。举例而言，在进行化学气象沉积的镀膜制作工艺时，镀膜腔室的温度可能高达1050°C，这样的温度很容易让金属或是合金材质的气体喷洒头发生变形。在长时间使用过后，气体喷洒头可能发生气孔漏水或是气体喷洒不均匀的情形。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种喷洒头装置，其具有良好的散热性质而有助于提升使用寿命。为达上述目的，本专利技术的喷洒头装置包括一多孔板体，其具有一第一流道以及多个第二流道。第一流道沿着多孔板体蜿蜒分布以供一第一流体流通。第二流道分别贯穿多孔板体并且交错于第一流道中以供一第二流体流通，其中第一流道与第二流道互不连通，且第一流体接触各第二流道的侧壁。基于上述，本专利技术实施例的喷洒头装置将第二流道交错于第一流道使得第一流道中的第一流体接触第二流道的侧壁。同时，本专利技术实施例的喷洒头装置不使第一流体与第二流体彼此连通。如此一来，第一流体的流动可以有效冷却第二流道的侧壁以降低温度对喷洒头装置的不良影响，例如热变形。在部分实施例中，喷洒头装置中定义出第一流道与第二流道的多孔板体可以为一体成形的装置，而有助于避免因为构件连接处的连接不良导致第一流道与第二流道之间的连通。为让本专利技术的上述特征能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。【附图说明】图1为本专利技术一实施例的喷洒头装置的示意图。图2A为图1的喷洒头装置中多孔板体100的示意图。图2B为图2A的多孔板体经横剖后的一部份的示意图。图3为图2A与图2B的多孔板体的第一种实施方式的剖面示意图，其中图3表示的剖面对应图2A的剖线A-A。图4为图2A与图2B的多孔板体的第二种实施方式的剖面示意图，其中图4表示的剖面对应图2A的剖线A-A。图5为图2A与图2B的多孔板体的第三种实施方式的示意图，其中图5表示出多孔板体的局部部分的拆解图。图6为图2A与图2B的多孔板体的第四种实施方式的示意图，其中图6表示出多孔板体的拆解图。图7A为本专利技术另一实施例的多孔板体的示意图。图7B为图7A的多孔板体的拆解图。图8A为本专利技术又一实施例的多孔板体的示意图。图8B为图8A的多孔板体的拆解图。图9为本专利技术一实施例的板体装置中设置有内管件的示意图。符号说明10:喷洒头装置12:上盖12A:流体源连接件14:固定框16:内管件100,200,300:多孔板体102:第一流道104:第二流道104A:入口端104B:出口端106、206、306:开口108:第三流道110、410:第一板面部112:贯孔120:环形壁130、530、630:隔片结构140:管状凸起150,350:第二面板部152:贯孔202A、202B、302A ?302D:分段240:管件420:栅状结构532:第一隔片结构534:第二隔片结构A-A:剖线A1、A2:封闭区域D1、D2:距离L:排列方向Pl ?P7:流路S1:第一侧S2:第二侧W:宽度X、Y:节距O:角度【具体实施方式】图1为本专利技术一实施例的喷洒头装置的示意图。请参照图1，喷洒头装置10包括一上盖12、一固定框14以及一多孔板体100，其中多孔板体100夹于上盖12以及固定框14之间。上盖12设置有多个流体源连接件12A，其中流体源连接件12A用来与流体源连接以让流体通过多孔板体100而洒布出去。固定框14为一环型结构物，其暴露出多孔板体100以让流体通过多孔板体100洒布出去。喷洒头装置10可以应用于镀膜设备中以将流体均匀地提供给镀膜腔室。由于镀膜腔室可能需要被加热至很高的制作工艺温度，喷洒头装置10整体需要以耐温材料制作。例如喷洒头装置10中各构件的材质可以为金属、金属合金或是陶瓷等耐温材料。图2A为图1的喷洒头装置中多孔板体100的示意图，而图2B为图2A的多孔板体经横剖后的一部份的示意图。请先参照图2A与图2B，多孔板体100具有一第一流道102以及多个第二流道104。第一流道102设置于多孔板体100的内部而无法由外观上直接看到第一流道102的实际轮廓，因此图2A以虚线表示出第一流道102的轮廓，而图2B可以看到第一流道102的部分轮廓。具体而言，第一流道102在多孔板体100内部沿着多孔板体100的板平面蜿蜒分布以供第一流体流通，其中第一流道102可以定义出单一流路P1。第二流道104则分别贯穿多孔板体100并且交错于第一流道102以供一第二流体流通。为了让第一流体在第一流道102中流入与流出，多孔板体100还具有多个开口 106，并且这些开口 106位于多孔板体100的侧面并且设置于第一流道102的入口端与出口端。在本实施例中，第一流道102中流动的第一流体可以直接接触各第二流道104的侧壁以进行热交换。特别是，当第一流体为散热流体时，多孔板体100可以具有理想的散热效果。因此，多孔板体100可以应用于温度较高的环境中，而不容易因为高环境温度导致变形。举例来说，具有多孔板体100的喷洒头装置10应用于镀膜设备时，可以将所需的制作工艺流体作为第二流体而由第二流道10提供给镀膜腔室，并且将热交换流体作为第一流体而注入于第一流道102中以达到散热效果。在此，第一流体与第二流体分别可以为气态、液态或是气液混合态。另外，制作工艺流体可以包括一反应流体、一载体流体或其组合，而热交换流体则例如为水、冷媒或是其他可以进行热交换的流体。当镀膜腔室的温度过高而可能导致多孔板体100变形时，第一流道102中的热交换流体可以将多孔板体100的热量带走而避免多孔板体100受高温而损坏。在此，第一流道102中的热交换流体直接接触第二流道104的侧壁，所以热交换流体可以有效降低第二流道104或多孔板体100变形的机率。由此，多孔板体100中第二流道104的分布密度以及流道宽度可以不需受到限制。举例来说，第二流道104的分布密度例如可以为:在宽度W为6.8mm的第一流道102中可以设置有两列第二流道104。同时，沿着排列方向L量测第二流道104的节距X时，节距X为5mm?6mm，其中排列方向L与第一流道102的主要延伸方向相交一角度Θ，且角度Θ为45度。另外，相邻两列第二流道104可以各当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷洒头装置，其特征在于，该喷洒头装置包括：多孔板体，具有第一流道以及多个第二流道，该第一流道沿着该多孔板体蜿蜒分布以供第一流体流通，该些第二流道分别贯穿该多孔板体并且交错于该第一流道中以供第二流体流通，其中该第二流道垂直于该多孔板体，该第一流道与该第二流道互不连通，且该第一流体接触各该第二流道的侧壁。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：蔡陈德，简荣祯，黄智勇，陈冠州，王庆钧，林义钧，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71