【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于晶料合成炉的一种新型的平底双凸轮摇摆机构,属于晶体生长
技术介绍
在进行晶体生长时,首先需要把生长晶体的晶料进行合成,其方法是把晶料装进玻璃坩埚中密封后进行熔化,使晶料充分混合均匀并形成晶体生长时所需要的成分。晶体生长的质量与晶料合成的均匀程度密切相关。一般来说,混合质量越好、成分越均匀,随后晶体生长的质量也会越好。为使晶料合成均匀,通常把装有晶料的玻璃坩埚放置在一个摇摆炉内反复摇摆,这一过程往往需要8到12小时。通常合成炉采用曲柄摇杆机构来实现摇摆(如YBL180),使用中发现这种摇摆机构在摇摆的过程中由于合成炉比较重,常常导致较大的冲击和振动,有时会把玻璃坩埚振碎。另外,摇摆机构在使用中磨损较大,也会带来额外的冲击。附图说明图1是摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构的示意图;图中:1、传动轴 2、机架 3、主动锥齿轮 4、凸轮 5、从动锥齿轮 6、凸轮轴 7、主动锥齿轮 8、凸轮轴 9、从动锥齿轮 10、凸轮 11、凸轮平底 12、凸轮平底 13、合成炉
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能克服上述缺陷、使用时运行平稳、没有冲击、使用可靠、结构简单、维修方便的新的摇摆装置。其技术方案为:一种新型的平底双凸轮摇摆机构,其特征在于:包括机架,安装在机架上的传动轴,其上安装两个锥齿轮;安装在机架上的两根凸轮轴分别安装两个凸轮和两个锥齿轮;传动轴上的两个锥齿轮分别于两个凸轮轴上的锥齿轮啮合;两个凸轮平底以合成炉的转轴为中心分别对 ...
【技术保护点】
一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构,其特征在于:包括机架(2),安装在机架上的传动轴(1),其上安装两个锥齿轮(3)和(7);安装在机架上的两根凸轮轴(6)和(8),分别安装凸轮(4)和(10)以及锥齿轮(5)和(9);传动轴(1)上的锥齿轮(3)和(7)分别与两个凸轮轴上的锥齿轮(4)和(10)啮合;两个凸轮平底(11)和(12)以合成炉的转轴为中心分别对称地安装在合成炉的下底面;两个凸轮(4)和(10)分别位于两凸轮平底的下面并分别与凸轮平底(12)和(11)接触构成凸轮副。
【技术特征摘要】
1.一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构,其特征在于:包括机架(2),安装在机架上的传动轴(1),其上安装两个锥齿轮(3)和(7);安装在机架上的两根凸轮轴(6)和(8),分别安装凸轮(4)和(10)以及锥齿轮(5)和(9);传动轴(1)上的锥齿轮(3)和(7)分别与两个凸轮轴上的锥齿轮(4)和(10)啮合;两个凸轮平底(11)和(12)以合成炉的转轴为中心分别对称地安装在合成炉的下底面;两个凸轮(4)和(10)分别位于...
【专利技术属性】
技术研发人员:翟慎秋,王珮,滕东晓,其他发明人请求不公开姓名,
申请(专利权)人:山东理工大学,
类型:发明
国别省市:山东;37
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