【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法,包括电镀法或蒸发法或溅射法,其特征在于主要步骤如下:步骤1,先将聚苯乙烯微球单层密排于基板上后,置于110~130℃下加热6~8s,得到粘附有聚苯乙烯微球的基板,再使用氧等离子体刻蚀聚苯乙烯微球,得到粘附有松散状有序聚苯乙烯微球的基板;步骤2,先使用电镀或热蒸发或磁控溅射技术于粘附有松散状有序聚苯乙烯微球的基板上沉积2~20nm厚的底层金属膜,得到覆有底层金属膜和松散状有序聚苯乙烯微球的基板,再使用电镀或热蒸发或磁控溅射技术于覆有底层金属膜和松散状有序聚苯乙烯微球的基板上沉积惰性金属膜,得到依次覆有惰性金属膜、底层金属膜和松散状有序聚苯乙烯微球的基板;步骤3,先使用二氯甲烷溶解掉基板上的聚苯乙烯微球,得到依次覆有其膜中均留有球形孔的惰性金属膜和底层金属膜的基板,再腐蚀掉底层金属膜后,将漂浮于腐蚀液中的惰性金属膜捞起,制得可转移有序金属纳/微米孔模板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李新化,史同飞,刘敏,马文霞,张晖,王玉琦,
申请(专利权)人:中国科学院合肥物质科学研究院,
类型:发明
国别省市:安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。