一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法技术方案

本发明专利技术涉及一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法，包括以下步骤：当搬运系统规划出天车移动路线后，检路线内是否存在其它天车。如果不存在，直接发送移动命令让天车移动到目的地。如果存在其它天车，若天车是空闲状态则对计算出当前天车远一点的安全位置，让空闲天车移动至安全位置。若存在的其它天车己有移动任务，则当前天车移动至与其它己有移动任务天车安全位置后在进行移动调度。使用迭代方式重复上述过程对相关天车进行移动控制。本发明专利技术方法使多台天车在互相不发生碰撞的情况下，同时移动多台天车。并对多台天车同时分配搬运任务，由多天车调度方法协调多天车进行移动及等待等动作共同完成多台天车的搬运任务。

【技术实现步骤摘要】
一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法
本专利技术涉及一种搬运系统多台天车协调调度方法，尤其是针对半导体生产线搬运系统的多台天车的协调调度方法。
技术介绍
在现代的半导体生产工厂内，普遍采用自动化的搬运系统来进行晶圆等物料的搬运活动。而搬运系统的搬运天车按工厂的规模一般会使用几十台天车。常见的搬运系统一般会出现选择的天车搬运线路过长，有天车一直空跑等天车利用率不高的情况。如何能协调好多台天车提高天车的利用率，直接影响搬运系统的生产效率及半导体工厂的生产效率。
技术实现思路
为了克服搬运系统多台天车协调调度效率低的不足，本专利技术提供一种面向半导体生产线搬运系统多台天车协调调调度方法，使天车可以安全进行搬运的同时，提高多台天车的利用率。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法，包括以下步骤：搬运系统规划出当前天车移动路线后，检查此路线内是否存在其它天车；若不存在，则直接对当前天车发送移动至目的地的命令；若存在，查找与当前天车最近的天车，判定最近天车是否为空闲天车；若是空闲天车，将当前天车的目的地位置在前进方向上加上安全距离后的位置作为空闲天车的目的地，规划出空闲天车的移动路线；若不是空闲天车，则认为是搬运天车，移动至搬运天车的在反方向上的安全位置后重新调度；向上述天车同时发送移动命令；然后将最近天车作为当前天车，重复上述步骤，使此线路内所有天车达到各自目的地。所述若是空闲天车，将当前天车的目的地位置在前进方向上加上安全距离后的位置作为空闲天车的目的地，规划出空闲天车的移动路线，并将当前天车与该空闲天车关联，并在空闲天车上记录当前天车标志。所述若不是空闲天车，则认为是搬运天车，移动至搬运天车的安全位置后重新调度；在计算出至搬运天车的安全位置后，从当前天车记录的关联关系中找到与当前天车关联的天车编号，并根据天车编号得到关联天车的停止位置，发送命令使该天车移动至停止位置。所有天车在同一段轨道上移动的速度相同。本专利技术的有益效果及优点：1.本专利技术方法使多台天车在互相不发生碰撞的情况下，同时移动多台天车。并对多台天车同时分配搬运任务，由多天车调度方法协调多天车进行移动及等待等动作共同完成多台天车的搬运任务。2.由于轨道只允许一台天车通过，使用多天车调度方法可以让更多的天车移动起来，提高轨道的利用率及搬运系统整体的搬运效率。3.本专利技术在天车中增加天车关联信息，记录相邻天车的标识信息。通过天车的关联信息就能计算出多天车协同工作时，该天车移动到目的地前的安全位置，这样能提高和改善天车的传输效率。附图说明图1是本专利技术的搬运系统示意图；图2是多天车调度流程图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步详细说明。本专利技术公开一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法，搬运轨道由直线轨道，曲线型弯道及切换连接两个方向轨道的叉轨组成。搬运轨道范围覆盖晶圆存储设备及加工设备。天车悬挂在轨道上，并且一段轨道一次只能允许一台天车通过。天车的运行方向固定，不能倒车运行。同一时间一段轨道只允许一台天车通过。当搬运系统通过服务器的调度平台规划出天车移动路线后，通过服务器控制平台记录的天车关联信息中查找出检路线内是否存在其它天车。如果不存在，直接发送移动命令让天车移动到目的地。如果存在其它天车，若天车是空闲状态则对计算出当前天车远一点的安全位置，让空闲天车移动至安全位置。若存在的其它天车己有移动任务，则当前天车移动至与其它己有移动任务天车安全位置后在进行移动调度。使用迭代方式重复上述过程对相关天车进行移动控制。通过多天车协调方法，可以提高轨道利用率，同时提高搬运效率。本专利技术具体包括如下步骤：当系统规划出天车移动路线后，检查此路线内是否存在其它天车，若没有其它天车，则直接对天车发送移动至目的地的命令。若存在其它天车，查找与当前天车最近的天车，判定最近天车是否是空闲天车。若是空闲天车，按当前车的目的地计算出更远的位置（加上安全距离的位置）作为空闲天车的目的地，规划出空闲天车的移动路线。把当前天车与最近的空闲天车关联，并在空闲天车记录当前天车标志。指示为空闲天车是被当前天车移动。若存在的最近天车是搬运状态，则当前天车先把移动点设置成搬运天车目的地前方距离目的地最近的一个安全距离位置。当前天车移动至安全位置后，检查当前位置与目标位置的路线是否存在其它天车。以迭代的方式重复上述过程，对相关天车进行移动控制，直至所有相关的天车移动到目标位置。其中，对天车发送的移动至目地的命令，是由路线的多个点组成。这些点是与轨道相关的标识，由这些点可以标识出路线所经过的轨道单元序列。安全距离是保持两台天车不发生碰撞并且碰撞传感器不产生报警的轨道距离。由于轨道只能允许一台天车通过，当天车停止时，前后车要保持最少一个安全距离；当天车移动时，前后车也要保持最少一个安全距离。通常系统安全距离依据天车的实际轨道电路而定。天车移动时保持最少一个安全距离。天车在指定的轨道移动时速度是固定的。两天车同样移动经过同一段轨道的时间是相同的。所以不会发生后车移动过快撞前车的情况。另外，当前天车与最近的空闲天车关联，并在空闲天车记录当前天车标志。指示为空闲天车是被当前天车移动。当空闲天车分配移动命令后，以同样的方式在路线内查找是否有其它天车，若存在其它空闲天车，移动其它空闲天车至更远的安全位置。若存在已分配移动任务的其它天车，移动至已分配移动任务的其它天车的安全位置后重新调度。在计算出至已分配移动任务的其它天车的安全位置后，从本天车记录的关联关系中找到与本天车关联的天车编号，依据查找出的天车编号计算出该天车的停止位置。依据计算出的停止位置在分配那台天车移动至安全位置指令。搬运系统由轨道、天车、晶圆存储设备及晶圆工艺设备和服务器组成。如图1所示：A，B，C是天车。三角型的尖头代表移动的正向方，天车不允许反方向移动。D是晶圆工艺设备，G是晶圆存储设备。图2为多天车调度流程图当天车分配移动路线后，查找路线内是否存在最近的天车。若不存在，直接发送移动命令并特待移动至目的地。若存在其它天车，确定其它天车的任务状态。若是空闲天车，分配距目的地远一些（安全距离）的安全位置路线。在以空闲天车为基础进行同样的调度流程，直至所有相关天车都分配好路线。对所有相关天车发送移动命令并等待所有相关天车移动至目的地。若存在的最近天车有移动任务，分配距移动天车目的地近一些（安全距离）的安全位置路线。在以存在的移动天车为基础进行同样的调度流程。直至所有相关天都分配好路线。对所有相关天车发送移动命令并等待所有相关天车移动至目的地。以图1所示的搬运系统为例：当天车A分配移动至D位置的路线后，从A至D可以查找出存在天车B与C。与A最近的天车是B。若B与C都是空闲天车，先给B分配与A目地的远一些（安全距离）的安全位置E。对天车B分配移动至安全位置E的路线后，查找B与E之间是否存在天车。查找出天车C。按与B的目的地E远一些的安全位置计置出C的目的地F。当确定所有相关天车的移动路线及目的地后，对A，B，C三台天车同时发送移动命令。当A，B，C三台天车都到达指定目的地后本次调度结束。若其中C不是空闲天车，并C的目的地是D。当确定B的移动路线后，发现存在天车C。计算出与天车C停止点本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法，其特征在于包括以下步骤：搬运系统规划出当前天车移动路线后，检查此路线内是否存在其它天车；若不存在，则直接对当前天车发送移动至目的地的命令；若存在，查找与当前天车最近的天车，判定最近天车是否为空闲天车；若是空闲天车，将当前天车的目的地位置在前进方向上加上安全距离后的位置作为空闲天车的目的地，规划出空闲天车的移动路线；若不是空闲天车，则认为是搬运天车，移动至搬运天车的在反方向上的安全位置后重新调度；向上述天车同时发送移动命令；然后将最近天车作为当前天车，重复上述步骤，使此线路内所有天车达到各自目的地。

【技术特征摘要】
1.一种面向半导体生产线搬运系统多天车协调调度方法，其特征在于包括以下步骤：搬运系统规划出当前天车移动路线后，检查此路线内是否存在其它天车；若不存在，则直接对当前天车发送移动至目的地的命令；若存在，查找与当前天车最近的天车，判定最近天车是否为空闲天车；若是空闲天车，将当前天车的目的地位置在前进方向上加上安全距离后的位置作为空闲天车的目的地，规划出空闲天车的移动路线；若不是空闲天车，则认为是搬运天车，移动至搬运天车的在反方向上的安全位置后重新调度；向上述天车同时发送移动命令；然后将最近天车作为当前天车，重复上述步骤，使此线路内所有天车达到各自目的地；所述若不是空闲天车，则认为是搬运...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨曦，刘明哲，徐皑冬，金妮，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳自动化研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁;21