双层透明导电薄膜及其制备方法和电致发光器件技术

技术编号:11541401 阅读:89 留言:0更新日期:2015-06-03 15:27
本发明专利技术提出一种双层透明导电薄膜及其制备方法和电致发光器件,所述双层透明导电薄膜由高导电薄膜和沉积在所述高导电薄膜上的低功函薄膜组成;其中,所述高导电薄膜的化学通式为Zn1-xAlxO,x的取值范围为0.005~0.15;所述低功函薄膜的化学通式为MeO,Me为Ca、Sr或Ba。本发明专利技术的双层透明导电薄膜通过在所述高导电薄膜上沉积所述低功函薄膜而形成双层的薄膜结构,既能保持良好的导电性能,又使功函数得到显著的提高。使用所述双层透明导电薄膜作为电致发光器件的阴极,可使其发光效率得到明显的提高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双层透明导电薄膜,其特征在于,所述双层透明导电薄膜由高导电薄膜和沉积在所述高导电薄膜上的低功函薄膜组成;其中:所述高导电薄膜的化学通式为Zn1‑xAlxO,x的取值范围为0.005~0.15;所述低功函薄膜的化学通式为MeO,Me为Ca、Sr或Ba。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周明杰陈吉星王平黄辉
申请(专利权)人:海洋王照明科技股份有限公司深圳市海洋王照明技术有限公司深圳市海洋王照明工程有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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