一种彩色滤光片基板的制作方法技术

技术编号:11535575 阅读:59 留言:0更新日期:2015-06-03 10:21
本发明专利技术公开一种彩色滤光片基板的制作方法,包括步骤:提供一基板(10);在基板(10)上形成遮光部分(12);在基板(10)上形成彩色滤光片,其中,彩色滤光片包括彩色部分(14)及开口部分(16);在基板(10)上覆盖平坦层(18),且平坦层(18)填入开口部分(16);对平坦层(18)进行光刻;在经光刻后的平坦层(18)上形成间隔体(24)。本发明专利技术采用透明光阻层填入开口部分作为白色光阻,并利用光刻工艺将透明光阻层的表面平坦化,相对于现有技术,在减少一道白色色阻的光刻制程的同时,不会使开口部分上的透明光阻层凹陷,避免透明光阻层的表面凹凸不平,进而提高制成的液晶显示面板的显示品质。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于,包括步骤:提供一基板(10);在所述基板(10)上形成遮光部分(12);在所述基板(10)上形成彩色滤光片,其中,所述彩色滤光片包括彩色部分(14)及开口部分(16);在所述基板(10)上覆盖平坦层(18),且所述平坦层(18)填入所述开口部分(16);对所述平坦层(18)进行光刻;在经光刻后的平坦层(18)上形成间隔体(24)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:薛景峰陈归
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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