【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于化学清洁和钝化硫属化物层的方法,其特征在于,所述方法包括使硫属化物层和含硫化铵的环境接触。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:M·巴菲尔,M·缪里斯,G·布莱墨茨,
申请(专利权)人:IMEC公司,鲁汶天主教大学,哈瑟尔特大学,
类型:发明
国别省市:比利时;BE
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