一种用于加工交叉网状微结构的光学组件制造技术

技术编号:11488047 阅读:64 留言:0更新日期:2015-05-21 07:37
本发明专利技术公开了一种用于加工交叉网状微结构的光学组件,包括一个光学棱镜和掩模板,光学棱镜为等腰三角形;掩模板位于光学棱镜正下方且平面与光学棱镜的光学轴互相垂直。本发明专利技术突破了商用曝光机的配置只能加工竖直沟道型微结构而不能加工交叉网状微结构图案的瓶颈,实现了倾斜曝光,利用该光学组件可以获得任意网状结构和任意交叉角度的微结构。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于加工交叉网状微结构的光学组件,其特征在于:包括光学棱镜、掩模板,所述光学棱镜形状设置为等腰三角形,掩模板位于光学棱镜等腰三角形底边正下方,掩模板平面与光学棱镜的光学主轴相互垂直,且掩模板下方有光刻胶胶膜;两束入射光分别沿光学棱镜的光学主轴方向照射至光学棱镜等腰三角形不同斜边,在光学棱镜内部分别经过两次折射后投射到光学棱镜正下方的掩模板上,在掩模板下方的光刻胶胶膜上形成交叉网状的微结构图案。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:阮久福张称卢怡如杨军邓光晟
申请(专利权)人:合肥工业大学
类型:发明
国别省市:安徽;34

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