一种环氧树脂多模光波导的制备方法技术

本发明专利技术公开了环氧树脂多模光波导的制备方法，以日本NTT生产的环氧树脂为材料采用非接触式光刻法制备环氧树脂多模光波导，该制备发法简单易行、成本很低，并与印刷电路板制备工艺相兼容，适用于光电印刷电路板的大规模工业化生产。本发明专利技术进一步公开了制备过程中所使用的有效显影剂。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种环氧树脂多模光波导的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1) 清洗FR4基片；(2) 制作光波导下包层；在FR4基片上涂敷折射率为1.50±0.005的包层环氧树脂，涂敷完成后将其放于高真空环境中除去残留气泡；除去气泡后利用匀胶机制成具有一定厚度的均匀下包层薄膜，并使用紫外光刻机曝光固化，制成表面光滑平整的光波导下包层；(3)光波导芯层的制作；在光波导下包层上涂敷折射率为1.52±0.005的芯层环氧树脂，涂敷完成后将其放于高真空环境中除去残留气泡；除去气泡后用匀胶机旋涂制成具有一定厚度的均匀芯层薄膜，使用光刻机采用非接触式光刻法对芯层薄膜曝光，曝光后进行前烘烤；前烘烤完成后，采用一种特别配制的有机溶剂对样品进行显影，最后制成表面光滑、侧壁笔直、具有一定几何形状的脊形光波导；且其横截面尺寸为50μm×50μm；对脊形光波导芯层再进行紫外曝光以便进一步固化脊形光波导；(4) 制作光波导上包层；在已经制作脊形光波导的样品上涂敷折射率为1.50±0.005的包层环氧树脂，涂敷完成后将其放于高真空环境中除去残留气泡；除去气泡后利用匀胶机旋涂制成具有一定厚度的均匀上包层薄膜，该薄膜的厚度确保完全覆盖波导芯层，使用紫外光刻机对上包层进行曝光固化，制成表面光滑平整的光波导上包层；对样品进行后烘烤。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王书荣，刘涛，蒋志，李志山，杨敏，
申请(专利权)人：云南师范大学，
类型：发明
国别省市：云南;53