【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种清洗设备，尤其涉及一种用以清洗线性蒸发源的清洗设备。
技术介绍
随着AMOLED产线的建设与投入，相继而来的一些相关技术问题也随即产生；其中在线性蒸发源清洗工艺中存在清洗不够干净、设备要求复杂或工艺时间和条件苛刻等问题。现有技术中，有设计通过在每个清洗槽内加装传动装置，并通过传动装置带动清洗篮具传动轴，通过在清洗过程中不断转动来实现清洗。然而，该设计增加了设备成本，例如增加了传动装置的设备成本；且机构复杂，传动装置容易损坏、从而增加维护成本；另外由于转动过程中设备、清洗篮具、线性蒸发源稳定性不好，存在对线性蒸发源损伤的风险。如此，为了简化设备且避免在清洗过程中对线性蒸发源造成损伤，在另一种设计方案中，采用将线性蒸发源固定放置于清洗篮具中进行清洗，但该设计还具有以下缺点:清洗篮具本身没有角度的变化，如此，在清洗过程中所述清洗篮具内容易残留气体，从而导致清洗不够干净或存在清洗死角等问题；另一方面，清洗后所述篮具还具有残留污浊药液或沉淀物的问题，使得清洗下来的沉淀物或污浊药液不能及时排走，进而影响被清洗工件边缘清洗效果，例如液晶玻璃酸洗过程中，反...
【技术保护点】
一种清洗设备(100)，其特征在于，包括至少一个清洗篮具(10)，所述清洗篮具(10)两侧对称设置有第一挂取部件(11)和第二挂取部件(12)；还包括用以提拉所述清洗篮具(10)以实现所述清洗篮具(10)不同方向倾斜的第一机械手(41)和第二机械手(42)，其中所述第一机械手(41)提取所述第一挂取部件(11)，第二机械手(42)提取所述第二挂取部件(12)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱林林，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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