一种提高二氧化硅增透膜孔洞稳定性的方法技术

本发明专利技术涉及一种提高二氧化硅增透膜孔洞稳定性的方法，属于光学薄膜制备技术领域。采用溶胶-凝胶法制备二氧化硅增透膜，包括首先制备溶胶，然后进行高硼硅玻璃清洗及表面处理，再提拉制膜，最后进行薄膜热处理和薄膜表面疏水处理，其中，1)在溶胶中加入有机硅氧烷R’xSi(OR)4-x，对溶胶进行改性；2)在薄膜热处理中，对凝胶薄膜在90℃～350℃内进行阶梯保温热处理。本发明专利技术能有效提高多孔二氧化硅薄膜成膜率，并保证带有增透膜工件的透过率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种提高二氧化硅增透膜孔洞稳定性的方法，采用溶胶‑凝胶法制备二氧化硅增透膜，包括首先制备溶胶，然后进行高硼硅玻璃清洗及表面处理，再提拉制膜，最后进行薄膜热处理和薄膜表面疏水处理，其特征在于：1)在溶胶中加入有机硅氧烷R’xSi(OR)4‑x，对溶胶进行改性；2)在薄膜热处理中，对凝胶薄膜在90℃～350℃内进行阶梯保温热处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王吉宁，杨海龄，郝雷，刘晓鹏，蒋利军，王树茂，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，
类型：发明
国别省市：北京;11