【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种化学机械抛光垫修整器，包括：基板，包括具有多个与其一体的突起的前表面，所述多个突起在大致垂直于所述前表面的正面方向上延伸，所述多个突起的每一个包括远端，所述多个突起的每一个具有大于3µm的均方根表面粗糙度；设置在所述基板和突起上的超硬磨料晶种的分散体；以及覆盖所述基板、所述突起与所述超硬磨料晶种的分散体的金刚石涂层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：帕特里克·多林，安德鲁·加尔平，
申请(专利权)人：恩特格里公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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