一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法技术

技术编号:11414449 阅读:79 留言:0更新日期:2015-05-06 14:01
本发明专利技术公开了一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法,步骤包括:对波纹管驱动平台PI模型进行参数识别;采用S1中得出的PI逆模型前馈控制复合反馈控制进行复合控制;建立执行机构的蠕变模型;根据所述PI逆模型及蠕变模型建立基于PI模型的蠕变补偿方案,使用本发明专利技术提供的一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法,通过建立有效的控制方案,波纹管控制精度达到了亚微米级,满足超精密定位的要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:对波纹管驱动平台PI迟滞模型进行参数识别;S2:采用S1中得出的PI迟滞模型的逆模型涉及前馈控制复合控制方案,通过PI迟滞逆模型将系统线性化,复合反馈进行控制;S3:建立波纹管驱动机构的蠕变模型;S4:根据所述PI逆模型及蠕变模型建立基于PI模型的蠕变补偿方案。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:田艳兵
申请(专利权)人:北京理工大学
类型:发明
国别省市:北京;11

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