【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种光刻投影物镜控制装置属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的无法对多个功能性调节机构进行集中控制的问题。本专利技术包括上位机、工控机箱、驱动控制箱、压电驱动器和电容传感器：工控机箱包括主控单板计算机、多路串口从板和VME总线背板，主控单板计算机与多路串口从板插在VME总线背板上，通过VME总线互联；驱动控制箱包括高压驱动板和信号采集板，高压驱动板通过高压模拟信号与压电驱动器连接，信号采集板通过低压模拟信号与电容传感器连接；主控单板计算机通过工业以太网与上位机互联；信号采集板通过RS422传输链路A与多路串口从板互联；高压驱动板通过RS422传输链路B与多路串口从板互联。【专利说明】一种光刻投影物镜控制装置
本专利技术属于光刻投影物镜控制领域，具体涉及一种光刻投影物镜控制装置。
技术介绍
光刻投影物镜是光刻机中重要的超精密光学系统，在光刻机工作过程中，随着曝光时间的积累，光刻投影物镜会因激光热辐射效应的积累而产生热像差。如果不加以补偿，热像差会直接劣化套刻精度，功能性调节机构是光刻投影物镜中用来补偿热像差的主要方法...
【技术保护点】
一种光刻投影物镜控制装置，其特征在于，包括上位机(1)、工控机箱(2)、驱动控制箱(6)、压电驱动器(15)和电容传感器(16)：所述工控机箱(2)包括主控单板计算机(11)、多路串口从板(4)和VME总线背板(3)，主控单板计算机(11)与多路串口从板(4)插在VME总线背板(3)上，通过VME总线互联、采用VME64标准进行数据交换；所述驱动控制箱(6)包括高压驱动板(13)和信号采集板(7)，所述高压驱动板(13)通过高压模拟信号传输链路(14)与压电驱动器(15)连接，所述信号采集板(7)通过低压模拟信号传输链路(8)与电容传感器(16)连接；所述主控单板计算机(1...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭嘉亮，李佩玥，李朋志，王学亮，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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