研磨垫固定用粘合片制造技术

本发明专利技术涉及研磨垫固定用粘合片。本发明专利技术提供能够将研磨垫牢固地固定的研磨垫固定用粘合片。研磨垫固定用粘合片具备构成所述粘合片的粘合面的粘合剂层。另外，所述粘合面对不锈钢板显示30N/20mm以上的180度剥离强度。

【技术实现步骤摘要】

本申请要求基于2013年9月13日提出的日本专利申请2013-190489号的优先权，该申请的全部内容并入本说明书中作为参考。
本专利技术涉及用于固定研磨垫的粘合片。
技术介绍
液晶用玻璃或硅晶片、硬盘等的高表面光滑性一般通过研磨实现。所述技术中的研磨例如可以通过将研磨对象物安置在研磨装置上，在供给含有磨粒的研磨液的同时使安装在研磨装置平台上的研磨垫挤压上述对象物，使该对象物、研磨垫双方相对于上述对象物表面平行移动来进行。上述研磨中使用的研磨垫通常使用胶粘剂安装固定到研磨装置平台上。但是，在胶粘剂的干燥花时间、干燥时溶剂成分挥发等安装作业性方面存在问题。因此，正在研究使用粘合剂代替胶粘剂的安装固定。例如，作为公开了使用粘合片作为研磨垫固定手段的现有技术的文献，可以列举日本专利申请公开2012-57135号公报、日本专利申请公开2012-102165号公报。
技术实现思路
用于研磨垫的安装固定的粘合片要求对研磨垫具有良好胶粘的性能。但是，现有粘合片对研磨垫的胶粘力不能说是充分的。例如，从提高生产率、降低成本等观点考虑而要求进一步延长研磨垫的使用时间、减少研磨垫的更换频率的情况下，如果提供在整个该使用期间对研磨垫更牢固地胶粘的粘合片，则是有益的。本专利技术鉴于上述现有的事项而作出，其目的在于提供能够牢固地固定研磨垫的研磨垫固定用粘合片。根据本专利技术，提供研磨垫固定用粘合片。该粘合片具备构成所述粘合片的粘合面的粘合剂层。另外，所述粘合面对不锈钢板显示30N/20mm以上的180度剥离强度。显示上述的剥离强度(对SUS粘合力)的粘合片可以与研磨垫牢固地胶粘。因此，根据本专利技术，提供特别适合研磨垫固定用途的粘合片。在此所公开的粘合片对硬质聚氨酯类研磨垫(例如发泡聚氨酯类研磨垫)可以显示以往不能实现的水平的高粘合力，因此特别优选用于硬质聚氨酯类研磨垫(例如发泡聚氨酯类研磨垫)固定用途。在此所公开的粘合片的一个优选方式中，所述粘合剂层含有单乙烯基取代的芳香族化合物与共轭二烯化合物的嵌段共聚物作为基础聚合物。其中，所述基础聚合物优选为苯乙烯类嵌段共聚物。在此所公开的粘合片的一个优选方式中，所述粘合剂层含有增粘树脂。另外，所述增粘树脂优选含有软化点为120℃以上的高软化点树脂。另外，所述高软化点树脂优选含有萜烯酚树脂。另外，所述增粘树脂优选含有软化点低于120℃的低软化点树脂。在此所公开的粘合片的一个优选方式中，所述粘合片以具备基材、设置在该基材的一个表面的作为所述粘合剂层的第一粘合剂层和设置在该基材的另一个表面的第二粘合剂层的双面粘合片的形式构成。另外，该双面粘合片，优选所述第一粘合剂层的粘合面将粘贴到研磨垫上，所述第二粘合剂层的粘合面将粘贴到研磨装置平台上。另外，根据本专利技术，提供粘贴有在此所公开的粘合片(研磨垫固定用粘合片)的研磨垫。该研磨垫的一个表面与上述粘合片的粘合面胶粘。在一个优选方式中，粘合片构成为双面粘合片，位于与上述研磨垫胶粘的粘合面(第一粘合面)的相反侧的粘合面(第二粘合面)可以为粘贴到研磨装置平台上的粘合面。附图说明图1为表示一个实施方式的研磨垫固定用粘合片的应用例的侧视示意图。图2为表示一个实施方式的粘合片(带基材双面粘合片)的构成的剖视示意图。图3为表示另一个实施方式的粘合片(无基材双面粘合片)的构成的剖视示意图。图4为表示另一个实施方式的粘合片(带基材双面粘合片)的构成的剖视示意图。图5为示意性地说明剪切胶粘力的测定方法的说明图。附图标记1、2、3    粘合片11         第一粘合剂层11A        第一粘合面12         第二粘合剂层12A        第二粘合面15         基材21、22     剥离衬垫30         研磨垫40         研磨装置50         研磨装置平台具体实施方式以下，说明本专利技术的优选实施方式。另外，本说明书中特别提及的事项以外的对于本专利技术的实施必要的事项，可以理解为基于本领域的现有技术的本领域技术人员的设计事项。本专利技术可以基于本说明书中公开的内容和本领域中的技术常识来实施。另外，以下的附图中，实现相同作用的构件、部位给予相同的符号进行说明，有时省略或简化重复的说明。另外，附图中记载的实施方式为了清楚地说明本专利技术而进行了示意化，并不准确地表示作为制品实际提供的本专利技术的粘合片的尺寸或缩尺。本说明书中，“粘合剂”是指具有在室温附近的温度范围内呈柔软的固体(粘弹性体)状态，通过压力可以简单地与被粘物胶粘的性质的材料。在此所说的粘合剂，如“C.A.Dahlquist,“Adhesion:Fundamental and Practice”,McLaren&Sons,(1966),第143页”所定义，一般而言，是具有满足复数拉伸弹性模量E*(1Hz)<107达因/cm2的性质的材料(典型地是在25℃下具有上述性质的材料)。另外，粘合剂的“基础聚合物”是指该粘合剂中所含的橡胶状聚合物(在室温附近的温度范围内显示橡胶弹性的聚合物)中的主要成分(即，占该橡胶状聚合物的50质量％以上的成分)。<粘合片的应用对象>在此所公开的粘合片为用于研磨垫的固定的粘合片。作为在此所公开的粘合片的粘贴对象的研磨垫，没有特别限制，可以列举例如：聚氨酯发泡体(发泡聚氨酯)类、聚烯烃发泡体(发泡聚烯烃)类以及其它发泡树脂类研磨垫、非发泡树脂类研磨垫、无纺布类研磨垫。可以为具有包含上述研磨垫至少一层的层叠结构的研磨垫。在此所公开的粘合片可以优选用于聚氨酯发泡体类研磨垫的固定。没有特别限制，可以优选将在此所公开的粘合片应用于例如密度0.3～1.2/cm3(典型地为0.4～1.0g/cm3)的聚氨酯发泡体类研磨垫。关于上述研磨垫的硬度(JIS K6400-2(2004)A法)没有特别限制，在此所公开的粘合片优选粘贴到具有约60～约120N(典型地为约70～约100N)的硬度的研磨垫。另外，研磨垫可以为在垫内固定有磨粒的研磨垫。在此所公开的粘合片的优选应用例如图1所示。如图1所示，粘合片具有在两面具有粘合面的双面粘合片的形态。具体而言，粘合片1具备：基材15、配置在基材15的一个表面的第一粘合剂层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粘合片，其为研磨垫固定用粘合片，其中，所述粘合片具备构成所述粘合片的粘合面的粘合剂层，所述粘合面对不锈钢板显示30N/20mm以上的180度剥离强度。

【技术特征摘要】
2013.09.13 JP 2013-1904891.一种粘合片，其为研磨垫固定用粘合片，其中，
所述粘合片具备构成所述粘合片的粘合面的粘合剂层，
所述粘合面对不锈钢板显示30N/20mm以上的180度剥离强度。
2.如权利要求1所述的粘合片，其中，
所述粘合剂层含有单乙烯基取代的芳香族化合物与共轭二烯化合
物的嵌段共聚物作为基础聚合物。
3.如权利要求2所述的粘合片，其中，
所述基础聚合物为苯乙烯类嵌段共聚物。
4.如权利要求1～3中任一项所述的粘合片，其中，
所述粘合剂层含有增粘树脂，
所述增...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木浩之，山本修平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP