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一种GaSb/CdS异质结薄膜热光伏电池的制备方法技术

技术编号:11196671 阅读:47 留言:0更新日期:2015-03-26 03:16
本发明专利技术提供了一种GaSb/CdS异质结薄膜热光伏电池的制备方法,主要考虑到GaSb薄膜表面存在较大缺陷态的问题,在化学水浴法制备CdS过程中采用两步法进行制备,先通过高温和高搅拌速率让溶液中的硫离子渗透到GaSb表面,以实现CdS对GaSb的钝化作用,然后稍稍降低反应温度和搅拌速率进行后续的CdS沉积,并用退火工艺提高薄膜结晶质量。本发明专利技术中,化学水浴法制备过程中的硫离子具有钝化GaSb表面悬键的作用,能有效地降低GaSb薄膜的表面复合速率,而且该方法简单廉价,易于实施,可以使制备GaSb热光伏电池的成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种GaSb/CdS异质结薄膜热光伏电池的制备方法,其特征在于包括以下步骤:衬底清洗的步骤,该步骤中是将衬底放入去离子水中,加入电子清洗剂,并超声清洗30min,取出后将水换掉,换成去离子水后再超声清洗10min;制备GaSb薄膜的步骤,该步骤是将单质Ga和Sb放在坩埚中,并在真空环境下分别加热蒸发,Ga和Sb在真空下发生化合反应,然后沉积在衬底上,然后再通过真空退火,改善薄膜的结晶质量;制备CdS薄膜的步骤,该步骤是将硫脲、乙酸镉、乙酸铵、氨水四种溶液混合并搅拌均匀,将制备好的GaSb薄膜样品放在样品架上并浸泡在制备CdS薄膜溶液中,再把溶液放入水浴锅中加热搅拌,反应后得到CdS薄膜;退火的步骤,该步骤是在真空条件下退火30min,退火温度为400℃;生成面电极和背电极的步骤,该步骤是采用磁控溅射法在样品正面生长ITO薄膜作为电极,使用金属铝薄膜作为背电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张德贤吴限量蔡宏琨何炜瑜乔在祥
申请(专利权)人:南开大学
类型:发明
国别省市:天津;12

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