【技术实现步骤摘要】
_种干刻机
本技术涉及一种干刻机,具体涉及一种能够延长保养周期的干刻机。
技术介绍
目前在接触孔干刻生产过程中常用的干刻机如图1和图2所示,包括设置于固定板上的铝框I以及石英板2,所述铝框I由纵横交错设置于固定板上并形成方格的铝条构成,所述石英板2设置于所述方格内。采用上述现有结构的进行刻蚀,其工艺腔室上部的陶瓷覆盖板上会吸附沉积物,若连续生产,随着工艺片数数量的增加,陶瓷板的温度也逐渐增加,导致沉积物易脱离表面的吸附而掉落在基板表面,从而产生刻蚀停止或者刻蚀残留,因此干刻机需要定期保养,需要拆卸固定板进行清洗,然而保养周期很短,极大的浪费人力资源,并增加清洗部件的清洗成本。因此,如何设计开发一种能够延长保养周期、提高机体使用效率的干刻机成为本领域技术人员需要解决的迫切问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本技术涉及一种能够延长保养周期的干刻机,能够有效延长干刻机的保养周期,需要保证沉积物吸附在上极板,不会掉落。当干刻机使用达到一定的使用周期后,再开腔清洁。 本技术提供一种干刻机,包括固定板和电源线,所述固定板上设有铝框和石英板,所述石英板嵌设于所述铝框内部,所述铝框通过所述电源线外接直流电源。 进一步地,所述电源线为铜线,所述铜线的直径为lcm~4cm。 进一步地,所述直流电源为50v_200v且电流大小能够调节的电源。 进一步地,所述电源线安装于所述铝框的四周或铝框的内部。 进一步地,所述干刻机还包括电源箱,所述直流电源由干刻机的电源箱提供。 进一步地,所述电源箱通过电源接线连接至直流电源接线端,所述直流电 ...
【技术保护点】
一种干刻机,其特征在于,包括固定板和电源线,所述固定板上设有铝框和石英板,所述石英板嵌设于所述铝框内部,所述铝框通过所述电源线外接直流电源。
【技术特征摘要】
1.一种干刻机,其特征在于,包括固定板和电源线,所述固定板上设有铝框和石英板,所述石英板嵌设于所述铝框内部,所述铝框通过所述电源线外接直流电源。2.根据权利要求1所述的干刻机,其特征在于,所述电源线为铜线,所述铜线的直径为Icm?4cmο3.根据权利要求1所述的干刻机,其特征在于,所述直流电源为50v-200v且电流大小能够调节的电源。4.根据权利要求1所述的干刻机,其特征在于,所述电源线安装于所述铝框的四周或铝框的内部。5.根据权利要求1所述的干刻机,其特征在于,所述干刻机还包括电源箱,所述直流电源由...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐岩,
申请(专利权)人:昆山国显光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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