【技术实现步骤摘要】
硅片匀胶烘干操作台
本技术涉及一种硅片匀胶烘干操作台。
技术介绍
在硅片制作工艺中，匀胶是利用高速旋转的离心力将光刻胶涂平，匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，定型。目前，硅片利用匀胶机处理后，需要把匀胶后的硅片放到烘干箱内烘干，由于匀胶机一次只能处理一片硅片，处理完后操作人员需要将单片硅片放入烘干箱内，需要频繁起身，操作不方便。 而且，现有的烘干箱多数采用电热丝加热，而且烘烤时硅片只能在水平面放置一层，烘烤效率低。
技术实现思路
为了克服现在硅片匀胶烘干操作不方便的问题，本技术的目的在于提供一种操作方便，烘干效率高的硅片匀胶烘干操作台。 为了解决上述问题，本技术采用以下技术方案:一种硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干箱，在所述操作台本体桌面前端设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干箱设置在操作台本体桌面后方，烘干箱内设置有加热灯泡和硅片托板，所述加热灯泡固定在烘干箱顶端，所述硅片托板可抽拉地设置在烘干箱内，硅片托板一端设置有把手，硅片托板的表面设置有弧形挡条。 优选的，所述烘干箱有两个，并排设置在操作台本体桌面后方，在每一烘干箱内对称设置两个所述硅片托板，且两个硅片托板与水平面倾斜。 进一步的，在所述烘干箱两侧设置有百叶窗开口。 优选的，所述匀胶机的开关为脚踏式开关。 优选的，在所述操作台本体一侧设置有两个加热灯泡开关，每一所述加热灯泡开关控制一个烘干箱内的加热灯泡。 本技术的有益效果是:它将匀胶机和烘干设备设置在一个操作台上，操作方便；烘干箱采用加热灯泡，能耗低，硅片托板在烘...
【技术保护点】
一种硅片匀胶烘干操作台，其特征在于：包括操作台本体、匀胶机和烘干箱，在所述操作台本体桌面前端设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干箱设置在操作台本体桌面后方，烘干箱内设置有加热灯泡和硅片托板，所述加热灯泡固定在烘干箱顶端，所述硅片托板可抽拉地设置在烘干箱内，硅片托板一端设置有把手，硅片托板的表面设置有弧形挡条。
【技术特征摘要】
1.一种硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干箱，在所述操作台本体桌面前端设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干箱设置在操作台本体桌面后方，烘干箱内设置有加热灯泡和硅片托板，所述加热灯泡固定在烘干箱顶端，所述硅片托板可抽拉地设置在烘干箱内，硅片托板一端设置有把手，硅片托板的表面设置有弧形挡条。2.根据权利要求1所述的硅片匀胶烘干操作台，其特征在于:所述烘干箱有两个，并排设置在操...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。