【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及基于创新加工工序的用于从基体表面去除污染物的二氧化碳供应系统和方法。具体地,加工涉及将不同二氧化碳的相(包括超临界二氧化碳)的组合引入处理室,以产生特别的清洁工序,该工序设计成去除副产物污染物而不损坏形成在基体上的装置特征。
技术介绍
动态随机存取存储器(DRAM)制造者继续投资并研发焊有高纵横比(AR Aspect Ratio)的堆叠微电子装置特征的装置,例如,圆柱形电容器。半导体的国际技术路线图(ITRS)指出,对于下一代电容器,需要例如在32纳米节点及以下的高于50:1的纵横比来保持足够的电容值。用于微电子装置特征的这样的纵横比继续增加以满足对于集成电路的处理速度和储存密度的不断增加的需求。高纵横比微电子特征的制造可包括多个加工步骤,例如,构图,蚀刻和材料沉积以生产装置特征。传导特征可形成在随后通过蚀刻溶液去除的牺牲层内。蚀刻溶液和副产物通常用去离子水和/或有机溶剂来冲洗和干燥。然而,由于去离子水和有机溶剂的表面张力,传导特征易于在蚀刻,清洁和干燥期间破裂。当结构的宽度尺寸继续减小并且它们的纵横比继续增加时,这些特征的破裂的出现变得更频繁并更成问题。用于减少特征破裂的一个方法是使用超临界二氧化碳作为用于这类特征的蚀刻,清洁和干燥的溶剂。超临界二氧化碳不具有任何表面张力。因此,装置结构在接触超临界二氧化碳时不会破裂。然而,使用超临界二氧化碳存在缺点。例如,在超临界二氧化碳形成期间,液体二氧化碳被加压并加热至至少超临界相的1072psi和31℃,在该期间,包含在液体二氧化碳中的不纯物,例如不挥发有机 ...
【技术保护点】
一种用于输送超临界和非超临界相的二氧化碳以产生用于从基体表面去除污染物的定制清洁工序的方法,所述方法包括以下步骤:将溶剂流体引入包含所述基体的室中,所述溶剂流体包括处于超临界相的二氧化碳,其中所述超临界相混有助溶添加剂;将污染物从所述基体表面传递入所述超临界二氧化碳相中,以形成至少部分消耗的超临界相二氧化碳;将所述至少部分消耗的超临界二氧化碳相从所述室去除,并且同时将处于超临界相的新鲜的二氧化碳引入所述室中,以便稀释所述消耗的超临界二氧化碳并且基本阻止所述污染物沉淀在所述基体表面上,其中所述新鲜的二氧化碳可选地包括溶于其中的添加助溶剂;随后将处于液体相的二氧化碳引入室;以及使所述二氧化碳液体相在所述基体表面上流动以冲刷并冲洗所述基体表面并且从而去除所述污染物和可能在所述清洁工序后留在所述基体表面上的所述助溶剂和所述添加助溶剂。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.04.17 US 61/6252651.一种用于输送超临界和非超临界相的二氧化碳以产生用于从基体表面去除污染物的定制清洁工序的方法,所述方法包括以下步骤:
将溶剂流体引入包含所述基体的室中,所述溶剂流体包括处于超临界相的二氧化碳,其中所述超临界相混有助溶添加剂;
将污染物从所述基体表面传递入所述超临界二氧化碳相中,以形成至少部分消耗的超临界相二氧化碳;
将所述至少部分消耗的超临界二氧化碳相从所述室去除,并且同时将处于超临界相的新鲜的二氧化碳引入所述室中,以便稀释所述消耗的超临界二氧化碳并且基本阻止所述污染物沉淀在所述基体表面上,其中所述新鲜的二氧化碳可选地包括溶于其中的添加助溶剂;
随后将处于液体相的二氧化碳引入室;以及
使所述二氧化碳液体相在所述基体表面上流动以冲刷并冲洗所述基体表面并且从而去除所述污染物和可能在所述清洁工序后留在所述基体表面上的所述助溶剂和所述添加助溶剂。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述稀释步骤在恒定压力下发生。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述稀释步骤发生的同时,使所述室通气以便使所述室降压至大于大气压的压力。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括在利用所述二氧化碳液体相的所述冲刷和冲洗后与大气压通气。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括引入第二溶剂或添加剂。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括在引入所述溶剂流体前将所述室加压至预定工作压力。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,纯气相二氧化碳被引入以加压所述室。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,采用了连续稀释。
9.一种用于输送不同相的二氧化碳以产生用于从基体表面去除污染物的定制的清洁工序的方法,所述方法包括以下步骤:
将纯气相二氧化碳引入以将室加压至低于饱和蒸气压力的第一压力;
去除所述纯气相,并且随后引入处于超临界相的二氧化碳将所述室的压力从所述第一压力增加至高于所述第一压力的第二压力;
将处于所述第二压力的溶剂流体引入包含所述基体的室中,所述溶剂流体包括混有助溶剂处于超临界相的二氧化碳;
将污染物从所述基体表面传递至所述超临界二氧化碳相中以形成至少部分消耗的超临界相的二氧化碳;
从所述室去除所述至少部分消耗的超临界二氧化碳相,并且同时将处于所述超临界相的没有助溶剂的新鲜的二氧化碳引入所述室中,以便稀释所述消耗的超临界二氧化碳并且基本阻止所述污染物沉淀在所述基体表面上;
随后将处于液体相的二氧化碳引入室中;并且
使所述二氧化碳液体相在所述基体表面上流动以冲刷并冲洗所述基体表面,并且从而去除所述污染物和残留地留在所述基体表面上的任何助溶剂。
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【专利技术属性】
技术研发人员:S班纳吉,WR格里斯蒂,
申请(专利权)人:普莱克斯技术有限公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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