颗粒吸附微探头制造技术

本发明专利技术提供一种新型的颗粒吸附微探头，其为吸附并拾取非常微细的颗粒的颗粒吸附微探头，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在拾取颗粒时不会污染异物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后，能够直接在分析装置内进行分析评价。本发明专利技术的颗粒吸附微探头具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体，仅吸附1个直径为10μm以下的颗粒。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】颗粒吸附微探头
本专利技术涉及颗粒吸附微探头。详细而言，例如，涉及在分析用途等中，适合用于仅 拾取（pickup) 1个在分析对象物的表面散布的微细颗粒并运进分析装置内进行分析评价 等的颗粒吸附微探头。
技术介绍
通过分析评价在构件的表面散布的异物的组成、形状等来阐明在该构件的制造过 程中该异物的混入途径等，在提供无异物的清洁构件上是重要的。 作为评价在构件的表面散布的异物的组成、形状的手段，一般使用将钨探头或微 型刀（microknife)作为取样工具使用的颗粒吸附探头。通过使用这样的颗粒吸附探头， 利用上述取样工具拾取在构件的表面散布的异物并运进分析装置内，分析评价该异物的组 成、形状等（例如，参照专利文献1)。 但是，在将钨探头、微型刀作为取样工具使用的颗粒吸附微探头中，为了拾取异 物，需要施加在异物中刺入取样工具等的物理性应力。如果施加这样的物理性应力，就会产 生表面包覆材料的脱落、表面凹凸-层结构变化等导致表面的原始的结构-组成观察变得 困难的问题。 另一方面，为了在不施加物理性应力的情况下拾取异物，如果作为取样工具使用 糊剂等粘接剂或双面胶带等胶粘剂，则会存在由在其中所包含的有机成分导致异物表面被 污染，不能进行该异物的准确的分析评价的问题。另外，作为取样工具使用上述那样的粘接 剂或胶粘剂时，难以从粒径分布宽的颗粒群中选择性地拾取特定粒径的颗粒。 特别是在异物的显微取样中，有时要求只选择性地拾取1个非常微细的颗粒进行 分析，但作为取样工具使用上述那样的粘接剂或胶粘剂时，难以选择性地只拾取1个非常 微细的颗粒。 另外，在将使用现有的颗粒吸附探头拾取的异物运进分析装置内进行分析评价 时，被运进分析装置内的该异物，在分析评价时需要重新用糊剂等固定，工序繁琐复杂。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开2008-52232号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题 本专利技术的课题在于提供一种新型的颗粒吸附微探头，其为吸附并拾取非常微细的 颗粒的颗粒吸附微探头，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在拾取颗粒时不会污染异 物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后，能够直接在分析装置内 进行分析评价。 用于解决课题的方法 本专利技术的颗粒吸附微探头，具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体，仅吸附I个直径为IOym以下的颗粒。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管集合体的直径为IOym以下。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管集合体的长度为IOym以下。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多层，该碳纳米管的层数分布的分布幅 度为10层以上，该层数分布的最频值的相对频率为25%以下。 在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多层，该碳纳米管的层数分布的最频值 存在于10层以下，该最频值的相对频率为30%以上。 在优选的实施方式中，本专利技术的颗粒吸附微探头，其中，上述碳纳米管集合体被设 置在轴状基材上。 专利技术的效果 根据本专利技术，能够提供一种新型的颗粒吸附微探头，其为吸附并拾取非常微细的 颗粒的颗粒吸附微探头，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在拾取颗粒时不会污染异 物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后，能够直接在分析装置内 进行分析评价。 【附图说明】 图1是本专利技术的优选实施方式的颗粒吸附微探头的一个例子的概略截面图。 图2是本专利技术的优选实施方式的颗粒吸附微探头的另一个例子的概略截面图。 图3是碳纳米管集合体的制造装置的概略截面图。 图4是表示颗粒吸附于实施例1中得到的颗粒吸附微探头的状态的由扫描型电子 显微镜（SEM)得到的照片图。 【具体实施方式】 《颗粒吸附微探头》 本专利技术的颗粒吸附微探头具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。本专利技术的颗 粒吸附微探头优选至少在前端部分具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。本专利技术的颗 粒吸附微探头通过具有这样的碳纳米管集合体，在拾取颗粒时不需要施加物理性应力，在 拾取颗粒时不会污染异物表面，能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒，在拾取颗粒后， 能够直接在分析装置内进行分析评价。 本专利技术的颗粒吸附微探头，例如，既可以是只由具备多个碳纳米管的碳纳米管集 合体组成的构成，也可以是在轴状基材上设置有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体的构 成。在这里，轴状基材是指制成轴形状的基材，例如，有时还可以称为轴、支柱、金属柱等。 本专利技术的颗粒吸附微探头能够选择性地只拾取1个非常微细的颗粒。具体地，本 专利技术的颗粒吸附微探头仅吸附1个直径为10μm以下的颗粒。在这里，在仅吸附1个直径 为10μm以下的颗粒的方式中，不包含吸附2个以上直径为10μm以下的颗粒的方式。 本专利技术的颗粒吸附微探头仅吸附1个的颗粒的直径，如上所述，为IOym以下，优 选为8μm以下，更优选为6μm以下，更加优选为5μm以下，特别优选为4μm以下，最优选 为3μm以下。本专利技术的颗粒吸附微探头仅吸附1个的颗粒的直径的下限值优选为0. 3μm 以上。 本专利技术的颗粒吸附微探头优选不吸附直径大于10μm的颗粒。 图1是本专利技术的优选实施方式的颗粒吸附微探头的一个例子的概略截面图。在图 1中，本专利技术的颗粒吸附微探头1000只由具备多个碳纳米管10的碳纳米管集合体100构 成。在图1中，多个碳纳米管10分别在长度L的方向上取向，构成束状的碳纳米管集合体 100。 图2是本专利技术的优选实施方式的颗粒吸附微探头的另一个例子的概略截面图。在 图2中，本专利技术的颗粒吸附微探头1000在轴状基材20上设置有具备多个碳纳米管10的碳 纳米管集合体100。在图2中，多个碳纳米管10分别在长度L的方向上取向，构成束状的碳 纳米管集合体100。在图2中，多个碳纳米管10的一端IOa被固定于轴状基材20。如图2 所示，多个碳纳米管10优选在相对于轴状基材20大致垂直的方向上取向。在这里，大致垂 直的方向是指相对于轴状基材20的截面侧表面20a的角度优选为90° ±20°的范围内， 更优选为90° ±15°的范围内，更加优选为90° ±10°的范围内，特别优选为90° ±5° 的范围内。 在本专利技术的颗粒吸附微探头中，碳纳米管集合体100的长度优选为10μm以下，更 优选为〇· 5μm?10μm，更加优选为0· 5μm?8μm，特别优选为1μm?6μm，最优选为 2μm?5μm。在本专利技术的颗粒吸附微探头中，通过将碳纳米管集合体100的长度调整在上 述范围内，就更加能够只选择性地拾取1个非常微细的颗粒。 在本专利技术的颗粒吸附微探头中，碳纳米管集合体100的直径优选为10μm以下，更 优选为〇· 3μm?10μm，更加优选为0· 5μm?8μm，更加优选为0· 5μm?6μm，更加优选 为0·5μηι?5μηι,更力口优选为1μm?4μm,特另Ij优选为1μm?3μm,最优选为1μm? 2μπι。在本专利技术的颗粒吸附微探头中，通过将碳纳米管集合体100的直径调整在上述范围 内，就更加能够只选择性地拾取1个非常微细的颗粒。 在本专利技术的颗粒吸附微探头中，作为碳纳米管的形状，其横截面具有任意适当的 形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颗粒吸附微探头，其特征在于：具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体，仅吸附1个直径为10μm以下的颗粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.06.18 JP 2012-1367831. 一种颗粒吸附微探头，其特征在于： 具有具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体， 仅吸附1个直径为10 y m以下的颗粒。2. 如权利要求1所述的颗粒吸附微探头，其特征在于： 所述碳纳米管集合体的直径为10Um以下。3. 如权利要求1所述的颗粒吸附微探头，其特征在于： 所述碳纳米管集合体的长度为10Um以下。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：前野洋平，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP