光学部件制造技术

一种光学部件(40)，包含：反射镜阵列(22)，该反射镜阵列具有多个反射镜元件(23)，多个反射镜元件各连接到用于位移的至少一个致动器(131)；用于致动器到外部的信号传输连接的多个信号线(47)；用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置的全局控制/调节装置(134)；及用于调节反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136)，其中，所述调节装置(136)在各个情况中均完全集成在所述部件(40；40a)中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学部件 相关申请的交叉引用 通过参考将德国专利申请DE10 2012 202 501. 4的内容并入于此。
本专利技术涉及一种光学部件。本专利技术还涉及一种包含该类型部件的反射镜系统和光 学组件。而且，本专利技术涉及一种定位反射镜系统的多个反射镜元件的方法。最后，本专利技术涉 及一种包含该类型反射镜系统的投射曝光设备的光学单元，一种包含该类型的光学单元的 EUV投射曝光设备的照明系统，以及相应的投射曝光设备。最后，本专利技术涉及一种制造微结 构化或纳米结构化部件的方法，以及根据该方法制造的部件。
技术介绍
从现有技术可知包含由多个单独反射镜构成的反射镜的光学组件。例如，WO 2010/049 076A2公开了一种具有多个可移动的单独反射镜的反射镜阵列。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是改进该类型的光学部件。 利用权利要求1所述的特征来实现该目的。本专利技术的核心在于使用两个至少部分 不同的控制/调节系统，以定位反射镜阵列的多个反射镜元件。 根据本专利技术，已认识到，定位反射镜元件所需的数据流可通过调节反射镜元件的 定位的多个本地调节装置来显著减少，该本地调节装置集成在光学部件中或光学部件的 承载结构中。特别地，该调节装置全部集成在光学部件中或光学部件的承载结构中。这 应被理解为表示调节装置的所有组成部分集成在部件或部件的承载结构中。特别地， 这些本地调节装置用于抑止反射镜元件的振动，由于始终存在的基点激励（basepoint excitations)，反射镜元件的振动根本不能完全避免。它们在各个情况中形成反馈系统。本 地调节装置导致以特定频率范围有效制动反射镜元件的振动，该特定频率范围在下文中 称为带宽。本地调节装置具有在反射镜元件的固有频率或其几倍的范围中的带宽。调节装 置的带宽尤其为至少500Hz，尤其至少为1kHz，尤其至少为2kHz，尤其至少为5kHz，尤其至 少为IOkHz。特别地，调节装置各包含至少一个速度传感器。位置传感器还可提供作为传感 器。反射镜元件的速度也可利用位置传感器确定。因此，反馈信号时相应反射镜元件的速 度。该信号利用本地传感器（即，集成在部件中的传感器）读出。各个调节装置的调节器 还本地地实施，即，以集成在部件中的方式实施。本地调节装置尤其仅用于调节反射镜元件 相对于承载结构的定位，尤其制动或抑制这种运动。 对于反射镜元件的绝对定位，部件具有多个信号线，用于致动器到全局控制/调 节系统的信号传输连接。特别地，全局控制/调节系统包含外部控制/调节装置，其可布置 为与光学部件分离，并且尤其不是光学部件的一部分。利用全局控制/调节装置，可预定 反射镜阵列的多个反射镜元件的绝对位置，尤其是反射镜阵列的所有反射镜元件的绝对位 置。至少部分信号线还可至少部分地用作本地控制回路的一部分。原则上，还可设想使本 地控制回路和全局信号线彼此完全分离，并因此在各个情况中提供完全分离的信号路径。 此外，本地控制/调节系统和全局控制/调节系统尤其可访问相同的驱动级 (driverstage)，以激活反射镜元件的致动器。换言之，驱动级可为本地控制回路的一部分 或全局控制/调节系统的一部分。 此外，定位各个反射镜元件的本地控制/调节系统和全局控制/调节系统在各个 情况中可使用同一致动器或相同的致动器，即，在各个情况中由全局控制/调节系统和由 本地控制/调节系统激活的致动器。在该情况中，校正由全局控制/调节装置产生的定位 信号的校正信号可利用本地调节装置产生。作为其替代，本地控制回路还可实施为闭环控 制系统，尤其具有分离的致动器。 根据另一方面，本专利技术涉及一种光学部件，其包含： a.反射镜阵列，具有多个反射镜元件， i.所述多个反射镜元件各具有至少一个位移自由度，以及 ii.所述多个反射镜元件各连接至用于位移的至少一个致动器， b.承载结构，其机械地连接至所述反射镜阵列， c.用于所述致动器到外部的信号传输连接的多个信号线，用于预定单独反射镜元 件的绝对位置的全局控制/调节装置，以及 d.调节所述反射镜元件的定位的多个本地调节装置， e.其中，所述调节装置在各个情况中均集成在所述部件中。 根据权利要求2,各个反射镜元件优选分配给相应分离的调节装置。这使得可确 保，可独立于其它反射镜元件的位置调节各个反射镜元件的位置。 本地调节装置尤其用于相对于反射镜元件的全局定位抑制反射镜元件的振动和/ 或精确定位反射镜元件，反射镜元件的全局定位可利用外部控制/调节装置来预定。 根据权利要求3,本地调节装置在各情况中完全布置在由关联的反射镜元件的平 行投影限定的体积中。因此实现的是，反射镜阵列原则上可具有任意数量的反射镜元件。而 且，多个反射镜阵列可基本上没有任何间隙地并别。 特别地，由于以下事实：根据权利要求4,事实本地调节装置各具有至少一个电子 电路，本地调节装置的小结构空间是可能的。本地调节装置可包含尤其至少两个、尤其至少 三个电子电路。调节装置还可构造为电子电路。 根据权利要求5,电子电路尤其实施为所谓的专用集成电路（ASIC)的一部分。专 用集成电路可集成在承载结构中，即，布置在承载结构中。可有成本效益地制造这种电子位 移电路（ASIC)。而且，其可非常灵活地适合于各个要求。 根据权利要求6,本地调节装置在各情况中实施为主动制动振动的主动阻尼装置。 本地调节装置具有至少1Hz，尤其至少10Hz，尤其至少IOOHz的较低极限频率（limiting frequency)。这里将较低极限频率理解为表示在该较低极限频率之上，振动的振幅减少至 多70%，尤其至多50%。本地调节装置还可用于定位、尤其用于精确定位反射镜元件。本 地调节装置包含至少一个、尤其至少两个、尤其至少三个、尤其至少四个致动器。 根据权利要求6,该部件优选包含用于信号线到外部全局控制/调节装置的信号 传输连接的接口。这使得可将全局控制/调节装置与本地调节装置分离。而且，因此确保 该部件的模块式结构（modularconstruction)。该接口尤其包含在各个情况中从光学部件 的各个反射镜元件到至少一个致动器的信号线。原则上，还可为每个部件提供多个接口。 本专利技术的另一目的是改进反射镜系统。 该目的通过权利要求8的特征来实现。 反射镜系统的优点对应于上述的那些优点。在根据本专利技术的至少一个部件旁边， 反射镜系统包含全局控制/调节装置，以移动反射镜元件。在该情况中，全局控制/调节装 置用于预定反射镜阵列的多个反射镜元件，尤其是阵列的所有反射镜元件的绝对位置。特 别地，这使得可检测和/或控制和/或调节大数量的反射镜元件。可利用全局控制/调节 装置定位的反射镜元件的数量尤其为至少1000,尤其至少为10000,尤其至少为100000,尤 其至少为1000000。 全局控制/调节装置可实施为位置调节器，其具有尤其至多IOHz的低带 宽。全局控制/调节装置还可实施为纯致动元件，尤其具有定期的重新校准（regular recalibration)〇 根据权利要求9,全局控制/调节装置和本地调节装置尤其具有比例为至多1:10， 尤其至多1:100,尤其至多1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学部件(40；40a)，包含：a.反射镜阵列(22)，具有多个反射镜元件(23)，i.所述多个反射镜元件各具有至少一个位移自由度，以及ii.所述多个反射镜元件各连接至用于位移的至少一个致动器(131)，b.承载结构(43)，其机械地连接至所述反射镜阵列(22)，c.多个信号线(47)，用于所述致动器(131)与外部全局控制/调节装置(134)的信号传输连接，所述外部全局控制/调节装置(134)用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置，以及d.用于调节所述反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136)，e.其中，全体所述反射镜元件(23)形成所述反射镜阵列(22)的总反射表面的拼接，f.其中，所述反射镜阵列(22)具有垂直于表面法线(41)延伸的总表面，g.其中，所述承载结构(43)在垂直于所述表面法线(41)的方向上突出所述反射镜阵列(22)的总表面之外至多5mm，以及h.其中，所述调节装置(136)分别完全集成在所述部件(40；40a)中。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.02.17 DE 102012202501.4;2012.02.17 US 61/600,I. 一种光学部件（40 ;40a)，包含： a. 反射镜阵列（22)，具有多个反射镜元件（23)，1. 所述多个反射镜元件各具有至少一个位移自由度，以及 ii.所述多个反射镜元件各连接至用于位移的至少一个致动器（131)， b. 承载结构（43)，其机械地连接至所述反射镜阵列（22)， c. 多个信号线（47)，用于所述致动器（131)与外部全局控制/调节装置（134)的信 号传输连接，所述外部全局控制/调节装置（134)用于预定单独反射镜元件（23)的绝对位 置，以及 d. 用于调节所述反射镜元件（23)的定位的多个本地调节装置（136)， e. 其中，全体所述反射镜元件（23)形成所述反射镜阵列（22)的总反射表面的拼接， f. 其中，所述反射镜阵列（22)具有垂直于表面法线（41)延伸的总表面， g. 其中，所述承载结构（43)在垂直于所述表面法线（41)的方向上突出所述反射镜阵 列（22)的总表面之外至多5_，以及 h. 其中，所述调节装置（136)分别完全集成在所述部件（40 ;40a)中。2. 根据权利要求1所述的部件（40 ;40a)，其特征在于，所述反射镜元件（23)中的每一 个被分配所述本地调节装置（136)中相应的一个。3. 根据权利要求2所述的部件（40 ;40a)，其特征在于，所述本地调节装置（136)在分 别完全布置在由所关联的反射镜元件（23)的平行投影所限定的体积中。4. 根据上述权利要求中任一项所述的部件（40 ;40a)，其特征在于，所述本地调节装置 (136)各具有至少一个电子电路（137)。5. 根据权利要求4所述的部件（40 ;40a)，其特征在于，所述电子电路（137)布置在所 述承载结构（43)中。6. 根据权利要求1至5中任一项所述的部件（40 ;40a)，其特征在于，所述本地调节装 置（136)分别被实施为主动阻尼装置，用于所述反射镜元件（23)的精确定位和/或振动的 主动抑止。7. 根据上述权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：S沃尔迪斯，M奥思，RM博斯托克，J邓，S拉尼，B克瑙夫，C肯普特，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE