【技术实现步骤摘要】
硅片匀胶烘干操作台
本专利技术涉及一种硅片匀胶烘干操作台。
技术介绍
在硅片制作工艺中,匀胶是利用高速旋转的离心力将光刻胶涂平,匀胶后会高温处理,蒸发掉其中水分,定型。目前,硅片利用匀胶机处理后,需要把匀胶后的硅片放到烘干箱内烘干,由于匀胶机一次只能处理一片硅片,处理完后操作人员需要将单片硅片放入烘干箱内,需要频繁起身,操作不方便。
技术实现思路
为了克服现在硅片匀胶烘干操作不方便的问题,本专利技术的目的在于提供一种操作方便,操作人员不需要频繁起身的硅片匀胶烘干操作台。 为了解决上述问题,本专利技术采用以下技术方案:一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。 进一步的,在所述操作台本体上设置有棚罩,棚罩的顶端呈三角形。 优选的,所述匀胶机开关为脚踏式开关。 本专利技术的有益效果是:它将匀胶机和烘干装置巧妙的设计在操作台上,实现了匀胶和烘干在同一操作台操作;烘干板上等间距设置的凸筋方便硅片的取放;匀胶机采用脚踏式开关,设计合理,操作方便;三角形棚罩可防止蒸汽凝结后落到硅片上。 【附图说明】 下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明: 图1为本专利技术的整体结构示意图; 图2为本专利技术的烘干板侧视图。 图中,1本体、12棚罩、2匀胶机、21脚踏式开关、3烘干装置、31开关、 ...
【技术保护点】
一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干板下方,所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋。
【技术特征摘要】
1.一种硅片匀胶烘干操作台,其特征在于:包括操作台本体、匀胶机和烘干装置,在所述操作台本体桌面上设置有通孔,所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中;所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板,所述开关设置在操作台本体的桌面一侧,所述加热丝位于烘干...
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